VAS作业指导书.doc

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文件编号:

版号:

1.0第9页共9页

VAS作业指导书

NO

版次

修订内容

生效日期

修订人

1

1.0

首次发行。

2014-11-

王晓玲

拟制/

面板厂

王晓玲

审核

批准

会签

1目的

指导和规范真空贴合机台生产作业，以保证生产的顺利进行。

2适用范围

适用于上海天马制造中心面板厂ODFVAS岗位员工

3定义

（1）VAS；真空贴合系统VacuumAssemblySystem的简写

（2）EMO：

紧急停止.

（3）RUN：

启动键.

（4）Alarm：

警报.

（5）System：

系统.

（6）T/P：

TouchPanel，触摸式操作屏.

（7）Recipe：

程序。

4、操作步骤：

操作步骤

具体说明

注意事项

1操作前准备

2操作步骤

3操作完成后

1.1Recipe选择

1.1.1点击PC软件画面右上角的“ShowMenu”如图1-1红框所示。

图1-1

1.1.2选择RecipeSetting，如图1-2红圈所示。

图1-2

1.1.3在弹出对话框中输入密码，根据工艺

卡选择对应得Recipe，如图1-3所示。

图1-3

1.1.4点击ChangeRecipe，在界面右上角中确认

当前Recipe是否已更改正确，确认无误后点击EXIT退出。

图1-4

1.1.6设备日常点检

对设备各参数进行点检，点检记录填写到《设备维护保养记录表（日）》，若数值不在点检范围内，通知工程师处理。

2.1原点复归

2.1.1在TouchPanel根目录中点击“Run”。

如图2-1红圈所示：

图2-1

2.1.2选择“Init”选项。

进入如下2-2界面。

图2-2

2.1.3点击“Mode”按钮，选择Auto模式，按“Origin”，使机台完成原点复归。

2..2机台自动运转

2.2.1如图2-3所示选择“AutoMonitor”选项。

图2-3

2.2.2点击TouchPanel下方的START按钮，机台左上角显示为“RunProcess”。

3.1设备停止

3.1.1设备中有基板时，按下TouchPanel下方的stop，设备做完当前动作后停止。

3.1.2设备中有基板时，按下TouchPanel上的Cyclestop，设备做完当片基板制程并排出后即停止，不再接收新的基板。

3.1.2设备中无基板时，按下TouchPanel下方的stop或TouchPanel上的Cyclestop设备均会停止自动运行。

Origin闪烁说明在动作中，稳定在黄色后说明动作已完成

只有在AutoMonitor界面下设备才能进入自动运行状态。

只有在Press前Cyclestop才有效

设备内不能有安全支柱，Cleaning棒等物品

5异常处理：

5.1报警常规处理流程：

5.1.1报警处理流程图

参考1.2

参考1.3

图5-1

5.1.2查看报警内容

5.1.2.1VAS自动运转步骤如下图，当某一步骤条件不满足时，Alarm发生

图5-2

5.1.2.2Alarm发生后设备会发出报警音乐提醒操作者注意，同时设备状态指示灯变成红色，TouchPanel画面会弹出对话框，显示报警内容。

图5-3

5.1.2.3也可以在根目录下点击Error查看报警记录，操作人员发现报警以后，要仔细阅读报警内容，以明确报警原因。

图5-4

5.1.3观察设备状态

5.1.3.1确认机台内基板的状态。

5.1.3.2Robot手臂的位置，设备之间通信状况等。

5.1.3.3确认此时操作是否安全。

5.1.4解除Alarm

5.1.4.1根据具体的原因采取对应的操作，使不满足的条件得到满足，让机台正常完成动

作。

注意：

对不知如何处理以及操作后不知会有何种后果的情况，一律不许操作，需立即与当班工程师联络询问处理方法。

5.2对位异常处理流程

5.2.1“粗Mark检出ERR”、“微Mark检出ERR”、“判定Mark检出ERR”的处置流程图如下:

图5-5

5.2.2对位报警时TouchPanel会弹出如下对话框

图5-6

按下此键后，不论实际

手动对位的结果如何，

设备都认为是

OK

的

其中，①ManualAlign:

在Inching下对mark的位置进行手动对位。

对好后再进行ManualAlignOKRetry操作，如下图。

按下此键后，将对位步骤

跳过，不做对位直接照射

手动调节至

Mark

清晰显

示后按下此键，设备会

再做一次自动对位确认

图5-7

②MarkSave:

在PC上对Mark进行登录处理。

③Retry:

重新再做一次对位动作。

④Stop:

退出自动运转

注意：

手动对位禁止触按“AlignInvalid”与“ManualAlignOK”按键，只允许按下“Manual

AlignOKRetry”按键

5.3Unmatch报警处理流程

5.3.1Unmatch报警处理流程图

图5-8

5.4机台发生掉片或破片的处理流程

5.4.1要立即将机台停止，通知设备担当工程师处理。

5.5基板排出超时处理

5.5.1基板排出超时处理流程图

图5-9

5.6其它异常的处理

5.6.1机台动作异常

5.6.1.1机台运行过程中如果出现异常动作，可能对人员，产品或设备造成损害时，要立即按下EMO将机台停止.

5.6.2制品发生不合格时

5.6.2.1停止机台，通知工程师，询问在制品的处理方法。

详细记录基板ID、发生时间、

所发生异常的信息。

注意：

在解决问题的同时要注意找到问题发生的根本原因，例如当制品因机台内有异物而造成不良时，要仔细确认异物的成分，以确认其发生源。

基板在此工序停滞时间稍长便会造成大量不良，所以发生不知如何解决的问题时要立即联

系工程师询问对策。

6安全环境注意事项

6.1无特殊情况，Pump应始终处于ON的状态，设备出故障需要重新启动时，要先将Pump

关闭，再切断电源。

6.2禁止触碰带电元件，否则可能会发生触电。

6.3安全支柱比较重，在使用时要注意安全，防止在转移时从手脱落对人或对设备造成损

伤。

另外安全支柱是专门用于对真空贴合设备进行定盘清扫和维护的安全保障工具，不具

备任何其他功能，不能在任何其他场合使用。

6.4Cleaning棒是专门用于对真空贴合设备定盘清扫的工具，不具备任何其他功能，不能在任何其他场合使用。

6.5设备的Interlock取消操作非常危险，取消之后设备本身的安全限制将全部失效，有

可能对人员及机台造成严重伤害。

只有设备担当工程师在有维护保养的时候才能进行此操

作，其他任何人员不可进行Interlock取消操作；若有保护作用的Sensor失效、带电部件

损坏或线路老化时及时通知工程师进行更换。

6.6禁止酒后上班、疲劳作业、带病工作，按规定进行着装穿戴以免引发伤害。

6.7对设备状况不了解时禁止随意进行相关操作以免引发伤害。

6.8禁止触按机台发热部分。

6.10清理玻璃碎片时要佩带乳胶手套，以防手部被划伤；用吸尘器吸取碎渣时要带上护目眼睛，防止碎渣贱入眼内。

7相关表格：

7.1《设备维护保养记录表（日）》

8参考文件：

无

9相关附件：

无