E3000 operation manual V10cn.docx
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E3000operationmanualV10cn
技术手册
软件版本
通用检漏仪
产品号
1
一般信息
1-1
1.1
前言
1-1
1.1.1
用途
1-1
1.1.2
技术参数
1-2
1.2
INFICON支持
1-2
1.2.1
维修中心
1-4
1.3
开箱
1-5
1.3.1
供件
1-5
1.3.2
附件
1-6
1.4
使用本手册注意事项
1-6
1.4.1
真空技术符号
1-7
1.4.2
术语定义
1-8
1.5
EcotecE3000仪器外观
1-9
1.6
安装
1-9
1.6.1
设置
1-9
1.6.2
机械连接件
1-10
1.6.3
电气连接件
1-11
1.6.4
RS232接口
1-11
1.6.5
I/O端口
1-11
2
仪器如何工作
2-1
2.1
功能说明
2-1
2.2
组件说明
2-2
2.2.1
前级泵
2-2
2.2.2
涡轮分子泵（TMP）
2-2
2.2.3
质谱仪
2-2
2.2.4
四极质谱仪电源
2-2
2.2.5
控制器
2-2
2.3
显示器和用户界面说明
2-3
2.3.1
主显示单元
2-3
2.3.2
带探头显示的吸枪管线
2-3
2.3.3
内置ECO-Check参考漏孔
2-5
3
EcotecE3000的运行
3-1
3.1
启动
3-1
3.2
主显示单元上的控制器
3-2
3.3
带探头显示单元上的控制器
3-4
3.4
性能测量
3-5
3.4.1
标准工作模式
3-5
3.4.2
IGuide工作模式
3-7
3.4.2.1
启动IGuide模式
3-7
3.4.2.2
选择IGuide程序
3-7
3.4.2.3
使用IGuide程序
3-8
3.4.3
信息页
3-10
3.5
校准和本机测试
3-11
3.5.1
校准验证（验证功能）
3-12
3.5.2
内部校准
3-13
3.5.3
外部校准
3-13
3.6
设备设置（菜单结构）
3-16
3.6.1
休眠模式
3-18
3.6.2
服务菜单
3-18
3.6.3
选择气体和设定气体触发值
3-18
3.6.3.1
编制气体参数
3-19
3.6.3.2
移除/添加工作气体
3-19
3.6.3.3
选择触发值和单位
3-20
3.6.3.4
选择低显示限值
3-21
3.6.3.5
启用/停用内部校准
3-22
3.6.3.6
选择一个交替质量位置
3-22
3.6.4
设定子菜单
3-22
3.6.4.1
真空进入菜单
3-23
3.6.4.2
音频功能
3-25
3.6.4.3
显示器设定
3-26
3.6.4.4
设置/编制IGuide程序
3-28
3.6.4.5
杂项设定
3-31
3.6.5
接口
3-32
3.6.5.1
控制位置
3-32
3.6.5.2
记录仪输出
3-32
3.6.5.3
RS232协议
3-34
3.6.5.4
波特率和终止符
3-35
3.6.6
信息菜单
3-35
3.6.7
历史清单
3-38
3.6.8
监测灵敏度
3-39
3.7
停机
3-39
4
仪器信息
4-1
4.1
误差信息和警告
4-1
5
设备连接件
5-1
5.1
控制器输入和输出（I/O接口）
5-1
5.1.1
RS232接口
5-2
6
维护
6-1
6.1
维护日程表
6-1
6.2
更换空气过滤器
6-3
6.3
更换润滑液贮存器
6-5
6.4
更换外保险丝
6-7
6.5
更换吸枪管线中的过滤器
6-7
6.5.1
更换毛细管过滤器的毡碟
6-8
6.5.2
检查/更换烧结物过滤器
6-8
7
附录
7-1
7.1
用户库
7-1
1
一般信息
EcotecE3000冷媒检漏仪供货时处于待用状态。
为确保仪器一开始就处于最佳工作状态，我们建议您仔细阅读本技术手册。
本手册内包含EcotecE3000的功能,安装,启动和运行等重要内容。
1.1
前言
1.1.1
用途
EcotecE3000是一台冷媒检漏仪用于吸枪模式。
本仪器使用吸枪探头在试件外（吸枪方法）测试漏孔的位置和漏量，只要在试件中充有正压的冷媒。
正常运行必须使用这吸枪探头，它作为辅件供货（件号525-001至525-003）.
EcotecE3000不能用于水中或滴水中,也不能用于其他液体中.
本仪器仅在室内使用.
EcotecE3000避免与碱,酸或溶剂接触,也不宜用于极为恶劣的气候条件下.
确保提供足够的空冷条件（见1.1.2节）.
1-1
1.1.2
技术参数
物理参数
最低可检漏率
0.05克/年冷媒
（吸枪模式）
0.002盎司/年冷媒
<1x10-6毫巴升/秒（氦）
测量范围
6个量级
可检质量数
2-200amu
质谱仪
四极质谱仪
离子源
两个镀氧化钇铱阴极
漏率信号的时间常数
<1秒
通过毛细管的气体流量
160标准大气压毫升/分
达到运行状态所需时间
<2分钟
电气参数
电源电压和频率
90-127V,50/60Hz
（固定的）
115-140V,60Hz
187-265V,50/60Hz
功率消耗
≤350伏安
保护类型
IP30
过压等级
II
电源电缆
2.5米
噪音水平
<54dBA
其它参数
尺寸（宽x高x深）毫米
610x370x265
重量
34公斤
运行时允许环境温度
10°C至45°C
储存时允许温度
-40°C至60°C
最大相对湿度
80%无凝聚水
污染水平
2
最大海拔高度
2000米
1.2INFICON支持
INFICON服务
1-2
如将设备返回INFICON公司或INFICON授权代理商,请说明该设备无危及健康的物质或已污染.如已污染请说明危害的性质.没有污染申报的任何设备INFICON将按发送地址退回.污染申报表附于下页.
附注
我们保留本手册设计与任何参数的修改权.
图表是无约束的.
污染申报表
检修和/或服务的提供仅适用于已提交正确完整申报表的真空设备和元件。
手续不完整的将导致延迟。
本申报表必须由经过授权和有资格的人员填写和签署。
1产品说明
型号
编号
出厂号
2返修原因
3使用的工作液体
4产品的污染过程：
毒性否□是□
腐蚀性否□是□
生物危害性否□是□*）
易爆性否□是□*）
放射性否□是□*）
其它有害性物质否□是□
*）已污染的真空产品如无书的
污染资料是不能接受的！
5有害的物质、气体和/或副产品
请列出与设备接触过的物质、气体和副产品：
商标/
产品名称
制造厂
化学名称
（或符号）
危险性材料
等级
如泄漏应采取
的措施
人体接触的
急救方法
6有法律约束的申报：
我申明本申报表中的信息是完整和正确的。
污染的产品将按相应的危险性物质包装、运输和标志的规定发运。
公司或机构的名称：
地址：
邮编：
电话：
电传：
电子邮件：
姓名：
公司盖章：
日期和有法律约束的签名：
图1-1污染申报表
1-3
1.2.1维修中心
国家
公司
城市
电话
传真
E-Mail
Austria
L+HVakuumtechnik
Vienna
+43.1.611.0270
+43.1.616.0466
lhvakuum@eunet.at
Brazil
PVPrestVácuoLtda.
SantanadeParnaíba
+55.11.870.2665
+55.11.870.2665
pv@.br
Canada
LEYBOLDCANANDAINC.
Ontario
+905.672.7704
+905.672.2249
reachus@leybold.on.ca
CentralAmerica
MEISAS.a.deC.V.
Mexico
+52.442.212.3615
+52.442.212.1940
infomx@
Hongkong
+852.2520.2880
+852.2865.6883
reach.china@
China
INFICONLTD
Beijing
+86.10.6590.0164
+86.10.6590.0521
Guangzhou
+86.20.8723.6889
+86.20.8723.6003
Shanghai
+86.21.6209.3094
+86.21.6295.2852
Denmark
A’Gramkow
Sonderborg
+4574123540
+4574433646
jhj@agramkow.dk
Finland
A’Gramkow
Sonderborg
+4574123540
+4574433646
jhj@agramkow.dk
France
INFICON
Vif
+33.4.7672.5215
+33.4.7672.5235
leakdetection.service@
Germany
INFICONGmbH
Cologne
+49.221.3474.2222
+49.221.3474.2221
leakdetection.service@
Hungary
Kontrade
Budaörs
+360623503880
+360623503896
Lovics@Matavnet.hu
Ireland
INFICONLtd.
Bolton
+441204469930
+44.120.469.0710
reach.unitedkingdom@infico
Israel
MarkTechnologiesLtd.
KiriatOno
+972.3.534.6822
+972.3.534.2589
urimari@marktec.co.il
Japan
INFICONCo.Ltd.
Ibariki-ken
+81.298.89.2741
+81.298.89.2838
reach.japan@
Korea
INFICONLtd.
Seoul
+82.31.206.0237
+82.31.206.0239
reach.korea@
Mexico
MEISAS.a.deC.V.
Mexico
+52.442.212.3615
+52.442.212.1940
infomx@
Norway
A’Gramkow
Sonderborg
+4574123540
+4574433646
jhj@agramkow.dk
Portugal
SociedadeZickermannS.A.R.L
Lissabon
+351.213.224.160
+351.213.224.169
zickermann.lis@mail.telepac.pt
RepublicofSouthAfrica
E.V.J.KrischEngineeringCompany（PTY）Ltd
Ranburg
+271179368315
+27117937172
mailcenter@krisch.co.za
Singapore
INFICONPTELTD.
Singapore
+65.890.6250
+65.890.6266
reach.singapore@
Spain
LeyboldOpticsIbérica
Barcelona
+34.93.666.0778
+34.93.666.4612
jose.munoz@leyboldoptics.com
SouthAmericaexceptBrazil
MEISAS.a.deC.V.
Mexico
+52.442.212.3615
+52.442.212.1940
infomx@
Sweden
A’Gramkow
Sonderborg
+4574123540
+4574433646
jhj@agramkow.dk
Syria
A’Gramkow
Sonderborg
+4574123540
+4574433646
jhj@agramkow.dk
Taiwan
INFICONCompanyLimited
ChubeiCity,Hsinchu
+886.3.553.3797
+886.3.553.3794
reach.taiwan@
Tunesia
DhaouadiAnis
Tunisie
+2161434848
+2161432450
DhaouadiA@
UnitedArabicEmirates
SelTradeTradingEst.
Dubai
+971.4.266.0315
+971.4.2628.140
Seltrade@.ae
UnitedKingdom
INFICONLtd.
Bolton
+441204469930
+44.120.469.0710
reach.unitedkingdom@infico
East
Syracuse,
+1.315.434.1167
+1.315.434.2551
USA
InficonInc.
NY
service.usa@
SanJose,CA
+1.408.361.1200
+1.408.362.1556
Austin,TX
+1.512.448.0488
+1.512.448.0398
1-4
1.3开箱
EcotecE3000检漏仪到货后应立即开箱，即使暂时不用。
检查包装箱是否有外伤.取出全部包装材料。
注保留包装箱和包装材料以便任何有关损坏的申诉。
检查EcotecE3000检漏仪是否完整齐备（见1.3.1节）并仔细进行目测检查。
如发现任何损坏请立即通知运输公司和保险公司，如需要更换损坏的部件，请与我公司订货部门联系。
1.3.1供件
EcotecE3000检漏仪供货时处于准备使用状态。
在安装前请阅读第1.5节。
下列各项包含在检漏仪供货中:
EcotecE3000（主单元）
电源电缆,3米长
成套保险丝（3x10件.）
备用空气过滤器
8毫米六角板手
19毫米固定板手
文件
—使用说明书（kima22）
—EcotecE3000技术手册（kina22e1）
—EcotecE3000备件清单（kiua22d2）
注具备不同配置的吸枪管线，可按需用长度单独订购。
吸枪管线不在仪器的供货范围内（见1.3.2节附件）
注ECO–Check参考漏孔需单独订购（见1.3.2节附件）
1-5
1.3.2附件
件号/订货号
EcotecE3000的吸枪管线
SL3000-3,3米长
525-001
SL3000-5,5米长
525-002
SL3000-10,10米长
525-003
吸枪探尖
ST312,120毫米长,刚性
12213
FT312,120毫米长,柔性
12214
FT200,200毫米长,刚性
12218
FT250,250毫米长,柔性
12266
ST385,385毫米长,刚性
12215
FT385,385毫米长,柔性
12216
FT600,600毫米长,柔性
12209
吸枪的防水探尖
12246
ECO–Check参考漏孔,R134a531-001
单冷媒吸枪校准漏孔2-5克/年（可供应16克/年的）
R134a12220
R600a12221
R404a12222R1212224R2212225R152a12227R407c12228R410A12229
R401A12230
R29012231
R744（CO2）12232
氦吸枪校准漏孔
S-TL4,约1x10-4毫巴升/秒12237
S-TL5,范围10-5毫巴升/秒12238
S-TL6,范围10-6毫巴升/秒12239
其它冷媒标准漏孔请提要求
1.4使用本手册注意事项
有关操作安全和保护的重要标志如下:
注表示用户必须遵守的特殊要求。
1-6
表示为防止人身伤害必须严格遵守的步骤.
表示为防止EcotecE3000检漏仪损坏必须严格遵守的步骤.
参阅图例,如（2-1/6）,顺次表示第2章中第1图中的第6项（这里是电源开关）。
1.4.1真空技术符号
在本手册中使用的真空技术主要符号如下:
真空泵膜片泵
涡轮分子泵真空计
1-7
1.4.2术语定义
主菜单
在按菜单按钮后，首先出现这个菜单。
子菜单
包含可从主菜单进入的所有菜单。
用口令可防止对这些子菜单XX的更改（见3.6.3.1节）。
菜单项
单个菜单项目。
缺省状态
EcotecE3000的工厂供货状态。
服务菜单
包含在“服务”子菜单中的菜单项。
可在主菜单中用导航按钮滚动进入服务菜单（见3.2节）。
自动抑零
确定与补偿冷媒的本底。
用这个功能确定漏率信号的内部零值，以避免读出内
部冷媒本底而干扰正确的测量值。
如果随后由于这个校准而产生负漏率，储存的偏离值会随着改变，使零值为最低值。
仪器用这个方法自动适应下降的本底（适应性本底修正）。
内部本底
测量系统中当前的分压。
仪器始终测量内部本底值，并从测量讯号中将它扣除。
IGuide模式
在IGuide模式中可予编程不同的测试方案。
在测试过程中始终提示操作人员下一个步骤直到完成整个测试方案。
测试单元
需要检漏的试件。
显示限值
显示测量参数的限值，取决于测量单位和操作人员的设定值。
1-8
1.5EcotecE3000仪器的外观
图1-2EcotecE3000仪器的外观
1主显示器4连接吸枪管线的Lemo接头
2携带仪器的把手5扬声器
3ECO–Check参考漏孔
1.6安装
1.6.1设置
如何拧下固定螺丝:
1-9
固定螺丝位于仪器底部，是黄色的旋钮螺丝。
在启动仪器前请拧下这个螺丝。
EcotecE3000供货时处于准备运行状态。
初始启动参见3.1节。
图1-3在启动仪器前拧下固定螺丝
安装前拧下固定螺丝.
为确保EcotecE3000的通风,两侧至少留出20厘米的空间,后面至少留10厘米.不要盖住EcotecE3000两侧循环的通风缝口.在EcotecE3000附近不要有热源.
1.6.2机械连接
使用EcotecE3000时必须连接吸枪管线。
吸枪管线的连接件位于仪器的前方ECO–Check参考漏孔的左边。
将带有红点的插头插入面板上带槽的开口中，直至完全插好。
拔下插头时，松开耦接件，取下探头管线。
1-10
1.6.3电气连接
图1-4电连接件
1耳机插口4标牌
2I/O端口5电源开关
3RS232接口6电源插座
注必须遵守当地的电气连接规程（在德国VDE0100）。
仪器的额定值可从电源开关左边的标牌上读出。
EcotecE3000的电源电压是固定的，
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