E3000 operation manual V10cn.docx

1、E3000 operation manual V10cn技术手册 软件版本 通用检漏仪 产品号 1一般信息1-1 1.1 前言 1-1 1.1.1 用途 1-1 1.1.2 技术参数1-2 1.2 INFICON支持1-2 1.2.1 维修中心 1-4 1.3 开箱 1-5 1.3.1 供件 1-5 1.3.2 附件1-6 1.4 使用本手册注意事项1-6 1.4.1 真空技术符号 1-7 1.4.2 术语定义 1-8 1.5 Ecotec E3000仪器外观1-9 1.6 安装1-9 1.6.1 设置1-9 1.6.2 机械连接件1-10 1.6.3 电气连接件1-11 1.6.4 RS23

2、2接口1-11 1.6.5 I/O端口1-11 2仪器如何工作 2-1 2.1 功能说明 2-1 2.2 组件说明 2-2 2.2.1 前级泵 2-2 2.2.2涡轮分子泵（TMP）2-22.2.3质谱仪2-22.2.4四极质谱仪电源2-22.2.5控制器2-22.3 显示器和用户界面说明2-3 2.3.1 主显示单元2-3 2.3.2 带探头显示的吸枪管线2-3 2.3.3 内置ECO-Check参考漏孔2-5 3 Ecotec E3000 的运行 3-1 3.1 启动 3-1 3.2 主显示单元上的控制器3-2 3.3 带探头显示单元上的控制器3-4 3.4 性能测量 3-5 3.4.1标

3、准工作模式3-5 3.4.2 IGuide工作模式3-7 3.4.2.1 启动IGuide模式3-7 3.4.2.2 选择IGuide程序3-7 3.4.2.3使用IGuide程序3-8 3.4.3信息页3-10 3.5 校准和本机测试3-11 3.5.1校准验证（验证功能）3-12 3.5.2 内部校准3-13 3.5.3 外部校准3-13 3.6 设备设置（菜单结构）3-16 3.6.1 休眠模式 3-18 3.6.2 服务菜单 3-18 3.6.3 选择气体和设定气体触发值 3-18 3.6.3.1 编制气体参数3-19 3.6.3.2移除/添加工作气体3-193.6.3.3选择触发值和

4、单位3-203.6.3.4选择低显示限值3-213.6.3.5启用/停用内部校准3-223.6.3.6选择一个交替质量位置3-223.6.4设定子菜单3-223.6.4.1真空进入菜单3-233.6.4.2音频功能3-253.6.4.3显示器设定3-263.6.4.4设置/编制IGuide程序3-283.6.4.5杂项设定3-313.6.5接口3-323.6.5.1控制位置3-323.6.5.2记录仪输出3-323.6.5.3RS232协议3-343.6.5.4波特率和终止符3-353.6.6信息菜单3-353.6.7历史清单3-383.6.8监测灵敏度3-393.7停机3-394 仪器信息4

5、-1 4.1 误差信息和警告 4-1 5设备连接件5-15.1控制器输入和输出 (I/O接口)5-15.1.1RS232接口5-26 维护6-1 6.1 维护日程表6-1 6.2 更换空气过滤器6-3 6.3更换润滑液贮存器6-56.4更换外保险丝6-76.5更换吸枪管线中的过滤器6-76.5.1更换毛细管过滤器的毡碟6-86.5.2检查/更换烧结物过滤器6-87 附录7-1 7.1 用户库 7-1 1 一般信息 Ecotec E3000冷媒检漏仪供货时处于待用状态。为确保仪器一开始就处于最佳工作状态，我们建议您仔细阅读本技术手册。本手册内包含Ecotec E3000的功能,安装,启动和运行等

6、重要内容。 1.1 前言 1.1.1 用途 Ecotec E3000是一台冷媒检漏仪用于吸枪模式。本仪器使用吸枪探头在试件外(吸枪方法) 测试漏孔的位置和漏量，只要在试件中充有正压的冷媒。正常运行必须使用这吸枪探头，它作为辅件供货 (件号525-001至525-003). Ecotec E3000不能用于水中或滴水中,也不能用于其他液体中.本仪器仅在室内使用. Ecotec E3000避免与碱,酸或溶剂接触,也不宜用于极为恶劣的气候条件下. 确保提供足够的空冷条件(见1.1.2节). 1-11.1.2 技术参数物理参数 最低可检漏率 0.05 克/年 冷媒 (吸枪模式) 0.002盎司/年 冷

7、媒 1x10-6毫巴升/秒 (氦) 测量范围 6个量级可检质量数2 - 200 amu 质谱仪 四极质谱仪离子源两个镀氧化钇铱阴极漏率信号的时间常数 1秒通过毛细管的气体流量160标准大气压毫升/分达到运行状态所需时间 2分钟电气参数 电源电压和频率90 -127 V, 50 / 60 Hz (固定的) 115 -140 V, 60 Hz 187 -265 V, 50 / 60 Hz 功率消耗 350伏安保护类型 IP 30 过压等级 II 电源电缆2.5米噪音水平 54 dBA其它参数 尺寸 (宽 x 高x 深)毫米 610 x 370 x 265重量34公斤运行时允许环境温度10 C至45

8、 C储存时允许温度-40 C至60 C最大相对湿度80%无凝聚水污染水平2最大海拔高度 2000米1.2 INFICON支持INFICON服务 1-2如将设备返回INFICON公司或INFICON授权代理商,请说明该设备无危及健康的物质或已污染.如已污染请说明危害的性质.没有污染申报的任何设备INFICON将按发送地址退回.污染申报表附于下页.附注 我们保留本手册设计与任何参数的修改权.图表是无约束的. 污染申报表检修和/或服务的提供仅适用于已提交正确完整申报表的真空设备和元件。手续不完整的将导致延迟。本申报表必须由经过授权和有资格的人员填写和签署。1 产品说明型号编号出厂号2 返修原因3 使

9、用的工作液体4 产品的污染过程：毒性 否 是 腐蚀性 否 是 生物危害性 否 是 *）易爆性 否 是 *）放射性 否 是 *）其它有害性物质 否 是 *）已污染的真空产品如无书的污染资料是不能接受的！5 有害的物质、气体和/或副产品 请列出与设备接触过的物质、气体和副产品：商标 / 产品名称制造厂化学名称（或符号）危险性材料等级如泄漏应采取的措施人体接触的急救方法 6 有法律约束的申报：我申明本申报表中的信息是完整和正确的。污染的产品将按相应的危险性物质包装、运输和标志的规定发运。公司或机构的名称：地址： 邮编：电话： 电传：电子邮件： 姓名： 公司盖章：日期和有法律约束的签名： 图1-1 污

10、染申报表 1-31.2.1 维修中心 国家 公司 城市 电话 传真E-Mail Austria L+H Vakuumtechnik Vienna +43.1.611.0270 +43.1.616.0466 lhvakuumeunet.at Brazil PV Prest Vcuo Ltda. Santana de Parnaba +55.11.870.2665 +55.11.870.2665 pv.br Canada LEYBOLD CANANDA INC. Ontario +905.672.7704 +905.672.2249 reachusleybold.on.ca Central Ame

11、rica MEISA S.a. de C.V. Mexico +52.442.212.3615 +52.442.212.1940 infomx Hongkong +852.2520.2880 +852.2865.6883 reach.china China INFICON LTD Beijing +86.10.6590.0164 +86.10.6590.0521 Guangzhou +86.20.8723.6889 +86.20.8723.6003 Shanghai +86.21.6209.3094 +86.21.6295.2852 Denmark AGramkow Sonderborg +4

12、5 74 12 35 40 +45 74 43 36 46 jhjagramkow.dk Finland AGramkow Sonderborg +45 74 12 35 40 +45 74 43 36 46 jhjagramkow.dk France INFICON Vif +33.4.7672.5215 +33.4.7672.5235 leakdetection.service Germany INFICON GmbH Cologne +49.221.3474.2222 +49.221.3474.2221 leakdetection.service Hungary Kontrade Bud

13、ars +36 06 23 50 38 80 +36 06 23 50 38 96 LovicsMatavnet.hu IrelandINFICON Ltd.Bolton+44 1204 46 9930+44.120.469.0710reach.unitedkingdominfico Israel Mark Technologies Ltd. Kiriat Ono +972.3.534.6822 +972.3.534.2589 urimarimarktec.co.il Japan INFICON Co. Ltd. Ibariki-ken +81.298.89.2741 +81.298.89.2

14、838 reach.japan Korea INFICON Ltd. Seoul +82.31.206.0237 +82.31.206.0239 reach.korea Mexico MEISA S.a. de C.V. Mexico +52.442.212.3615 +52.442.212.1940 infomx Norway AGramkow Sonderborg +45 74 12 35 40 +45 74 43 36 46 jhjagramkow.dk Portugal Sociedade Zickermann S.A.R.L Lissabon +351.213.224.160 +35

15、1.213.224.169 zickermann.lis mail.telepac.pt Republic of South Africa E.V.J. Krisch Engineering Company (PTY) Ltd Ranburg +27 11 79 36 83 15 +27 11 79 37 17 2 mailcenterkrisch.co.za Singapore INFICON PTE LTD. Singapore +65.890.6250 +65.890.6266 reach.singapore Spain Leybold Optics Ibrica Barcelona +

16、34.93.666.0778 +34.93.666.4612 jose.munoz leyboldoptics. com South America except Brazil MEISA S.a. de C.V. Mexico +52.442.212.3615 +52.442.212.1940 infomx Sweden AGramkow Sonderborg +45 74 12 35 40 +45 74 43 36 46 jhjagramkow.dk Syria AGramkow Sonderborg +45 74 12 35 40 +45 74 43 36 46 jhjagramkow.

17、dk Taiwan INFICON Company Limited Chubei City, Hsinchu +886.3.553.3797 +886.3.553.3794 reach.taiwan Tunesia Dhaouadi Anis Tunisie + 216 1 434848 +216 1 432450 DhaouadiA United Arabic Emirates Sel Trade Trading Est. Dubai +971.4.266.0315 +971.4.2628.140 Seltrade.ae United Kingdom INFICON Ltd. Bolton

18、+44 1204 46 9930 +44.120.469.0710 reach.unitedkingdominfico East Syracuse, +1.315.434.1167 +1.315.434.2551 USA Inficon Inc. NY service.usa San Jose, CA +1.408.361.1200 +1.408.362.1556 Austin, TX +1.512.448.0488 +1.512.448.0398 1-41.3 开箱Ecotec E3000检漏仪到货后应立即开箱，即使暂时不用。 检查包装箱是否有外伤.取出全部包装材料。注 保留包装箱和包装材料

19、以便任何有关损坏的申诉。 检查Ecotec E3000检漏仪是否完整齐备(见1.3.1节)并仔细进行目测检查。 如发现任何损坏请立即通知运输公司和保险公司，如需要更换损坏的部件，请与我公司订货部门联系。 1.3.1 供件 Ecotec E3000检漏仪供货时处于准备使用状态。在安装前请阅读第1.5节。下列各项包含在检漏仪供货中: Ecotec E3000 (主单元) 电源电缆,3米长 成套保险丝(3 x 10件.) 备用空气过滤器 8毫米六角板手 19毫米固定板手 文件 使用说明书（kima22） Ecotec E3000 技术手册（kina22e1） Ecotec E3000 备件清单（ki

20、ua22d2）注 具备不同配置的吸枪管线，可按需用长度单独订购。吸枪管线不在仪器的供货范围内（见1.3.2节附件）注 ECO Check参考漏孔需单独订购（见1.3.2节附件） 1-51.3.2 附件 件号 / 订货号 Ecotec E3000的吸枪管线 SL 3000-3, 3米长 525-001SL 3000-5, 5 米长525-002 SL 3000-10, 10米长 525-003吸枪探尖 ST 312, 120毫米长,刚性 122 13 FT 312, 120毫米长,柔性 122 14 FT 200, 200毫米长,刚性 122 18 FT 250, 250毫米长,柔性122 66

21、 ST 385, 385毫米长,刚性 122 15 FT 385, 385毫米长,柔性 122 16 FT 600, 600毫米长,柔性122 09 吸枪的防水探尖122 46ECO Check参考漏孔, R134a 531-001 单冷媒吸枪校准漏孔2 - 5克/年 (可供应16克/年的) R134a 122 20 R600a 122 21 R404a 122 22 R12 122 24 R22 122 25 R152a 122 27 R407c 122 28 R 410A 122 29 R 401A 122 30 R 290 122 31R 744（CO2） 122 32氦吸枪校准漏孔 S

22、-TL 4,约1 x 10-4毫巴升/秒 122 37 S-TL 5,范围 10-5毫巴升/秒 122 38S-TL 6,范围 10-6毫巴升/秒 122 39 其它冷媒标准漏孔请提要求1.4 使用本手册注意事项有关操作安全和保护的重要标志如下: 注 表示用户必须遵守的特殊要求。 1-6 表示为防止人身伤害必须严格遵守的步骤. 表示为防止Ecotec E3000检漏仪损坏必须严格遵守的步骤.参阅图例,如(2-1/6),顺次表示第2章中第1图中的第6项（这里是电源开关）。 1.4.1 真空技术符号 在本手册中使用的真空技术主要符号如下: 真空泵 膜片泵 涡轮分子泵 真空计 1-71.4.2 术语

23、定义 主菜单 在按菜单按钮后，首先出现这个菜单。子菜单 包含可从主菜单进入的所有菜单。用口令可防止对这些子菜单XX的更改 (见3.6.3.1节)。 菜单项 单个菜单项目。缺省状态 Ecotec E3000的工厂供货状态。 服务菜单 包含在“服务”子菜单中的菜单项。可在主菜单中用导航按钮滚动进入服务菜单 (见3.2节)。 自动抑零 确定与补偿冷媒的本底。用这个功能确定漏率信号的内部零值，以避免读出内部冷媒本底而干扰正确的测量值。如果随后由于这个校准而产生负漏率，储存的偏离值会随着改变，使零值为最低值。仪器用这个方法自动适应下降的本底(适应性本底修正)。内部本底 测量系统中当前的分压。仪器始终测量

24、内部本底值，并从测量讯号中将它扣除。 IGuide模式 在IGuide模式中可予编程不同的测试方案。在测试过程中始终提示操作人员下一个步骤直到完成整个测试方案。测试单元 需要检漏的试件。显示限值 显示测量参数的限值，取决于测量单位和操作人员的设定值。 1-81.5 Ecotec E3000仪器的外观图1-2 Ecotec E3000仪器的外观1 主显示器 4 连接吸枪管线的Lemo接头2 携带仪器的把手 5 扬声器3 ECO Check参考漏孔1.6 安装1.6.1 设置 如何拧下固定螺丝: 1-9固定螺丝位于仪器底部，是黄色的旋钮螺丝。在启动仪器前请拧下这个螺丝。 Ecotec E3000供

25、货时处于准备运行状态。初始启动参见3.1节。 图1-3 在启动仪器前拧下固定螺丝安装前拧下固定螺丝.为确保Ecotec E3000的通风,两侧至少留出20厘米的空间,后面至少留10厘米.不要盖住Ecotec E3000两侧循环的通风缝口.在Ecotec E3000附近不要有热源.1.6.2 机械连接 使用Ecotec E3000时必须连接吸枪管线。吸枪管线的连接件位于仪器的前方ECO Check参考漏孔的左边。将带有红点的插头插入面板上带槽的开口中，直至完全插好。拔下插头时，松开耦接件，取下探头管线。 1-10 1.6.3 电气连接图1-4 电连接件1 耳机插口 4 标牌2 I/O端口 5 电源开关3 RS232接口 6 电源插座注 必须遵守当地的电气连接规程(在德国VDE 0100)。仪器的额定值可从电源开关左边的标牌上读出。Ecotec E3000的电源电压是固定的，