无尘室各项管理规范.docx

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无尘室各项管理规范

文件类别：

管理规范

文件名称：

无尘室各项管理规范

制/修订单位：

品质保证部

核

准

审

查

制

订

0:

目录

1:

更衣室管理规范

2:

淋尘室管理规范

3:

工作桌管理规范

4:

滚轮清洁机管理规范

5-1:

无尘室清扫频度管理规范

5-2:

无尘室清扫频度管理规范

6:

黏尘棒管理规范

7:

无尘室物品管理规范

8:

溶剂使用管理规范

9:

工作区域整理整顿管理规范

10:

手套,手指套管理规范

11-1:

无尘衣,无尘鞋,手套穿着更换管理规范

11-2:

无尘衣,无尘鞋,手套穿着更换管理规范

11-3:

无尘衣,无尘鞋,手套穿着更换管理规范

12:

无尘室动作管理规范

13:

无尘室纸张管理规范

毛发不外露

长裤下端置入长统鞋内

拉炼拉至定位

鼻孔不外露

魔鬼毡黏牢

拉炼拉至定位

袖口完全包覆

注意事项

1.穿着时需站立，不可跪坐于地面穿着

2.避免袖口污染，也不可接触地面及其它物品

3.穿戴手套时需将手套口塞入袖口内

4.头罩穿戴时须将头发全部收纳于头套里面不可露出

5.鼻孔不可外露

6.魔鬼毡黏牢、拉炼拉至定位

7.长裤下端置入长统鞋内

8.更衣室内不可吊挂私人衣物

9.无尘衣颜色须一致

无尘室管理—001

规定位置：

1人2人

拍打无尘服踩踏脚踏黏垫拍打无尘服

3

注意事项

1.入口和出口的门不可同时打开

2.空气吹出未停止时，避免将淋尘室侧边的门打开

3.在进入无尘室时，依风淋室的最大容纳人规定进入，出来时限制10以下

4.在风淋室内，须就规定位置站立（规定如上图）

5.空气沐浴时，须转动身体、拍打无尘服，以利灰尘吹除

6.空气沐浴时，双脚须多次踩踏脚踏黏垫，以利清除鞋底灰尘、异物

7.空气沐浴时，无尘服不可接触墙壁、地板

8.AirShower吹除时间为20Sec/次

9.严禁触动出风口（厂务须定期作确认并记录出风口位置是否正确）

10.回风口过滤网更换频率1季/次（破损或脏污时立即更换）

（更换时通知厂务处理并记录于淋尘室点检表内）

无尘室管理—002

静电排除针严禁接触液态物质

更换频度3年/次（破损或脏污时立即更换）

更换频度1年/次（破损或脏污时立即更换）

注意事项:

1.每班上线前,清洁工作台面

2.下班前清洁工作台面,包括棚架最上层,所有物品归定位

3.易力管及静电排除针每周清洁一次（使用酒精）

4.过滤网每月检查一次,破损或灰尘立即更换

（如有异常通知制程工程师处理与生技单位进行协助）

5.高效率过滤网每三年更换一次

（经由清净度测定机量测异常时通知制程工程师处理与生技单位协助）

6.以上点检后纪录于Cleanbench（日）、（台）点检表

无尘室管理—003

使用滚轮清洁液擦拭

集尘滚筒轴承

静电排除针

使用滚轮清洁液擦拭

控制钮勿随意转动

注意事项:

1.作业前各做集尘滚筒清洁

2.作业中若需清洁,可先清洁上集尘滚筒

3.输送带要确实装入,以免膜片受损

4.静电排除针每周清洁一次（需先关机再行擦拭）

5.清洁时集尘滚筒轴承需确实清洁

6.橡皮筋应注意勿磨损，如有断裂或磨损时应立即通知生技课人员处理

7.以上纪录于滚轮清洁机点检表内

无尘室管理—004

室内

场所

名细

清扫方式

频度

负责人

备注

日

周

月

年

其它

机台支撑架

棚架最上层面

水擦拭

◎

班长

电源要先关闭再擦拭

下部支架

水擦拭

◎

班长

电源线处

水擦拭

◎

班长

棚架台车

棚板部

水擦拭

◎

班长

支撑架

水擦拭

◎

组长

车轮

吸尘器

◎

组长

无尘作业台

内,外壁

水擦拭

◎

班长

天井内外测

水擦拭

◎

班长

日光灯

水擦拭

◎

班长

导电垫

表面

吸尘器

◎

班长

手推车

棚板部

水擦拭

◎

班长

支撑架

水擦拭

◎

班长

车轮

吸尘器

◎

班长

放置盒

内侧

水擦拭

◎

班长

外侧

水擦拭

◎

班长

墙壁

壁面

黏尘滚轮

◎

组长

导线外露处

水擦拭

◎

组长

配管处

水擦拭

◎

组长

天井

天井面

黏尘滚轮

◎

组长

HEPA出风口

黏尘滚轮

◎

组长

放置平台

置物平台

水擦拭

◎

班长

放置设备平台

水擦拭

◎

班长

支架处

水擦拭

◎

班长

治工具

表面

水擦拭

◎

班长

回风口

栅栏

水擦拭

◎

班长

设备

表面上方

干布擦拭

◎

班长

外露部分

干布擦拭

◎

班长

设备内部平台

AIR除尘

◎

班长

室外

场所

名细

清扫方式

频度

负责人

备注

日

周

月

年

其它

浴尘室

出风口

水擦拭

◎

班长

墙壁

水擦拭

◎

班长

地板

吸尘器

◎

班长

吊衣柜

内部

水擦拭

◎

班长

外部

水擦拭

◎

班长

前室

壁面

黏尘滚轮

◎

组长

天井

黏尘滚轮

◎

组长

HEPA出风口

黏尘滚轮

◎

组长

集尘器

表面

水擦拭

◎

班长

无尘室管理—005-2

手动滚轮,黏尘棒,黏尘垫使用滚轮清洁液清洁

脏污立即更换

每日更换

注意事项:

1.清除异物时,使用黏沾的方式,严禁使用擦拭方式

2.黏尘棒及手动滚轮作业中以黏尘垫清洁,作业完毕后以滚轮清洁液清洁之

3.严禁使用其它溶剂清洁

4.黏尘棒有脏污时立即更换

5.严禁黏尘棒接触其它物品

6.黏尘垫及手动滚轮于每班作业各做一次清洁

7.黏尘垫及手动滚轮如有脏污时应立即清洁

无尘室管理—006

7

3

4

4

3

5

4

7

9

6

9

8

8

6

7

3

注意事项

禁止携入之物品：

1.未经清洁过之器材、备品、测定器等各种物品

2.纸箱、普通未经过特别处理之记录或笔记用纸张

3.笔记用铅笔、橡皮擦、钢笔、墨水、自来水笔等

4.行动电话、BB.Call、香烟、洋火、打火机之类

5.饮食品、泡泡糖之类

6.宝石、装饰品、化妆品类

7.钱包、钥匙、手表类

8.卫生纸、手帕类

9.小日记手册或其它个人物品

无尘室管理—007

工作桌擦拭

滚轮清洁机,黏尘棒,手动滚轮及黏尘垫擦拭

导光板及各膜片擦拭

注意事项:

1.酒精:

使用在工作桌的擦拭

2.去渍油:

使用在导光板及各膜片上

3.滚轮清洁液:

使用在滚轮清洁机,黏尘棒,手动滚轮及黏尘垫的擦拭

4各溶剂请勿混用

5严禁饮用

无尘室管理—008

组立台桌检查台桌

膜片组包装治具

遮光胶带黏贴台桌

注意事项

1.各项治工具依制造单位规定位置整齐放置

2.休息.收线时，膜片及其它部品须以舒服多覆盖

3.休息.收线时,须将所有电源关闭再行离开

无尘室管理—009

脏污立即更换

破裂立即更换

破裂立即更换

注意事项:

1.手套:

每两个小时更换一次,若有破损或脏污立即更换

2.指套:

﹙1﹚脱掉后立即更换

﹙2﹚破损或脏污立即更换

﹙3﹚组立工程每两小时更换一次

﹙4﹚遮光胶带贴合工程每小时更换一次

﹙5﹚作

业中如遇手指套或手套破损及脏污时应立即

更换

无尘室管理—010

1无尘衣（含口罩）:

1.1种类:

1.1.1依颜色可分为白色,粉红色,绿色,蓝色

1.2使用人员:

1.2.1白色,粉红色:

无尘室现场人员

1.2.2绿色,蓝色:

来宾或施工厂商

1.3清洗方式:

1.3.1统一交由无尘衣清洗厂商清洗

1.4清洗时间:

1.4.1依季节及工作天数之情形,统一清洗

1.5更换方式:

1.5.1每周统一穿着同一颜色的无尘衣,并于清洗时再更换

另一颜色的无尘衣

1.5.2严禁该周穿着不同颜色的无尘衣进入无尘室

1.5.3严禁用刀片或剪刀开封新的无尘衣塑料套,以免伤害

无尘衣表面的纤维,造成无尘室的污染

1.6其它:

1.6.1新进人员于无尘衣送洗时请用塑料袋包好,并于塑料

袋外用麦克笔着明姓名及工号,以利厂商制作名牌

1.6.2衣服有破损或名牌绣错时应于清洗时用塑料袋包好,

并着明原因,以利厂商修改

无尘室管理—011-1

1无尘鞋:

1.1种类:

1.1.1依尺寸分

1.2使用人员:

1.2.1白色:

无尘室现场人员,来宾或施工厂商

1.3清洗方式:

1.3.1统一交由无尘衣清洗厂商清洗

1.4清洗时间:

1.4.1依季节及工作天数之情形统一清洗

1.5更换方式:

1.5.1每周无尘鞋穿着后,并于下周时再更换新的无尘鞋

1.5.2严禁该次穿着过的无尘鞋进入无尘室,造成无尘室的

污染

1.5.3严禁用刀片或剪刀开封新的无尘鞋塑料套,以免伤害无尘鞋表面的纤维,造成无尘室的污染

1.6其它:

1.6.1新进人员于无尘鞋送洗时请用塑料袋包好,并于塑料

袋外用麦克笔着明姓名及工号,以利厂商制作名牌

1.6.2无尘鞋有破损或名牌绣错时应于清洗时用塑料袋包好

并着明原因,以利厂商修改

无尘室管理—011-2

1手套:

1.1种类:

1.1.1依尺寸可分L.M.S

1.2使用人员:

1.2.1无尘室现场人员

1.2.2来宾（有触及现场成品或部品时）

1.3更换方式:

1.3.1严禁用刀片或剪刀开封新的手套外包装,以免伤害手

套表面的纤维,造成无尘室的污染

1.4其它:

1.4.1手套脏污或破损时即进行报废

无尘室管理—011-3

作业区HEPA工具、器具

3

加盖的箱子掉落于地板之物品

注意事项

1.在作业区HEPA的上流侧不要放置物品

2.不要做造成气流不稳定及容易发尘之动作

3.避免嬉闹、窃窃私语

4.为尽量抑制发尘量，安静地步行、作业

5.掉落于地板的物品，不可使用

6.不可让工具、器具、笔记用具发生污染般地任意使用

7.物品不使用时，尽量置于有盖子的箱子，保持其清洁状态

8.不可跑步（紧急状况除外）、坐于地面

9.袖口严禁往上拉,避免污染无尘室或造成部品的损坏

无尘室管理—012

普通纸类不可携入

无尘纸或装在塑料带内可带入

无尘纸勿切割

无尘纸勿打孔

注意事项:

1.使用特别加工,发尘量少之纸类

2.如需要带入一般纸类印刷之文件时需要放在透明之塑料袋中,或有防尘处理之纸类印刷者

3.记录时要用塑料做的原子笔,无尘纸或塑料纸类

4.无尘纸切忌勿打孔或切割,以免破坏其纤维组织

无尘室管理—013