化学品供应工程规范.docx

化学品供应工程规范.docx

《化学品供应工程规范.docx》由会员分享，可在线阅读，更多相关《化学品供应工程规范.docx（22页珍藏版）》请在冰豆网上搜索。

化学品供应工程规范

目錄

頁次

第一章一般規定

1.工程名稱1

2.工程概述1

3.除外工程1

4.設備標準2

5.設備與器材2

6.圖面及資料審查3

7.檢驗4

8.測試項目7

第二章技術規範

1.設計條件6

2.補充單元.7

3.稀釋單元及供應單元9

4.供應管、三通箱及閥箱10

5.監控系統11

6.管路吊架及電纜架12

7.管路設備標示13

8.特殊工具13

9.清潔13

10.保證13

附錄C管路設備標示16

附錄D截火材料22

附件E圖面

第1章一般規定

1.工程名稱

2.工程概述

2.1工程範圍包括化學品供應室及製程區閥箱間之化學藥品的儲存、稀釋、供應及各系統之運轉監控。

2.2本工程採統包發包，包含詳細設計、採購、製造、安裝、調整及試運轉化學品供應工程一切設備及全部配件，期能提供安全可靠運轉，並負責搬運至工程地點安裝、試驗、調整、檢驗至驗收合格為止。

3.除外工程

下列相關之設施不屬於本工程範圍，而由其他工程承包商負責供應及施工。

3.1結構堅牢之土木結構及管道間施工。

3.2提供接地點供承商接地用。

3.3供應UPW至化學品供應室內1米供引接，超純水水質為25℃之電阻率大於16mΩ-cm，TOC小於50ppb，引接管採用CPVC。

3.4供應N2至化學品供應室內1米供引接，供應之壓力大於5kg/cm2G，引接管採用SUS316BA。

3.5供應AC、3φ、4w、380/220V、50Hz正常、緊急電源或UPS電源至桶槽區及化學品供應室，其後開始由本工程承包商負責引接，引接電源所需斷路器、不銹鋼質配電盤（Solvent區需採用防爆型）及管線全部包括在本工程範圍內。

3.6供應排氣管至化學品供應室內1米供引接。

3.7供應自來水管至化學品供應室內1米供引接。

3.8供應CDA至化學品供應室內1米供引接，引接管採用SUS304L。

4.設備標準

本工程之設計、品質、安裝及檢驗，悉按本規範書及GB（中華人民共和國國家標准）標準規定，且需遵照我國各項法令規章，於上述規範、標準與法規未列明部份，則可引據下列標準（或其他經業主認可之標準）之適用條款︰

4.1日本工業標準（JIS）。

4.2美國國家標準協會標準（ANSI）。

4.3美國材料試驗協會（ASTM）。

4.4德國工業規格（DIN）。

4.5美國儀器學會（ISA）

4.6管路製造協會（PFI）

4.7國際電工委員會（IEC）

4.8國際標準組織（ISO）

4.9美國國家消防協會（NFPA）

4.10美國機械工程師協會（ASME）

4.11美國工廠共同工程公司（FM）

5.設備與器材

5.1設備器材需採用國外產品均可，所用之材料，設備須為符合國家標準之質優新品，且必須堅固耐用而不會與所輸送、儲存之化學品起反應、並能保證化學品供應正常運轉為原則。

5.2國外器材之進口事宜均須由承包商辦理，運抵現場時應報請業主及工程師查核。

5.3本工程中之各項設備與器材均應為全新品。

5.4所有材料及設備之選用應考慮所使用之條件及可能之操作溫度及壓力變化範圍，均不致產生腐蝕、變形、減少使用壽命或疲勞等，同時任何部份亦不得發生過度之應力及應變以致影響全廠之效率及可靠性。

6.圖面及資料審查

6.1承包商於技術規格審查書（Proposal），應配合本工程及相關土建工程之進度完成設計並提出全部詳細設計資料及施工圖面（須按正規之繪圖方式繪製）連同設計計算書，送請業主審查認可。

其中應送審之圖面及資料至少如下所示︰

（1）系統流程圖（P&ID）、管線流程圖、設計基準、計算書、設備配置圖、設備清單、設備及泵及桶槽資料書（DataSheet）、設備及泵及桶槽規範書（Specification需含應力計算）、閥箱外型圖、泵馬力計算書、現場控制盤盤面圖、PLC資料書、SCADA資料書、監控圖面、各使用點流量及壓力計算書、Solvent類之CO2滅火器計算書、設備各材質及廠牌詳細清單、設備主要品名及數量、Tank、Pump、Filter、Valve、化學品濃度分析儀等各主要Parts之型錄（LiningTank須註明Lining厚度）。

（2）配合土木進度提供設備載重、基座、管溝、防漏堤、防爆等級、消防、空調、中和池、Solvent類儲存槽等相關資料供土建施做。

（3）提供所有設備和框架所需之控制器、儀錶、管線及監測元件。

（4）控制線路圖。

（5）建造及維修所需之特殊工具清單。

（6）完成管線安裝、清潔、測試及系統啟動資料。

（7）化學品供應系統之MTTR與MTBF之值。

（8）6年Costofownership分析表（表格格式由業主提供，內容由承包商填寫）

6.4送審之圖面及資料均需壹式參份，業主／工程師審查後將「認可」、「修正後認可」或「退回修正」等審查意見退回承包商壹份。

承包商可依「認可」之圖面資料製造施工，註明「修正後認可」者，承包商依據工程師審查意見修正後即可進行製造工作，惟須再檢送參份修正本依上述程序送請業主／工程師審定。

承包商收到「退回修正」之圖面資料時，須依所註示之修正意見妥為修改，並再檢送該批修正後之圖面資料壹式參份供業主／工程師審查。

業主／工程師將於收到送審之圖面資料七日內（例假日除外）審查完畢。

6.5承包商如一次將所有的圖面資料送審有困難時，可按工程進度分批次檢送，惟不得藉審圖時間要求延長工期。

6.6承包商檢送之圖面資料所具之性能品質，必須符合本規範書之要求，且承包商並不因審查「認可」而免除其對本工程之設計、製造及施工安裝所負之責任。

6.7全部圖面資料經審查認可完成後，承包商須於試車使用前另送經認可之操作維修手冊壹式陸份至業主，以便使用。

7.檢驗

7.1各機件設備均須依照業主／工程師認可之圖面資料及本規範書規定製造裝配。

製造部份承包商應審慎檢驗，必要時業主／工程師將派員會同檢驗，承包商不得藉詞拒絕。

同時承包商應責成製造廠嚴密檢驗，並檢附相關之記錄或資料備查。

8.測試項目

承包商至少應實施下列各項測試，並洽請業主／工程師會同認證。

8.1運轉試驗︰系統流程之管路、泵浦、桶槽、設備等不能有任何滴漏現象。

8.2自/手動及遙控運轉試驗。

8.3控制迴路試驗。

8.4壓力試驗（PFA管路應以4kg/cm2壓力測試4小時而不洩漏，SUS管路應以7kg/cm2壓力測試24小時而不洩漏）。

8.5電氣設備之絕緣測量。

8.6第二章第10節各項保證項目之驗證。

8.7Solvent類須有防靜電接地電阻值檢測。

8.8其他一般機械與電氣設備之檢驗。

第2章

技術規範

1.設計條件

1.1本工程供應系統流程詳附錄A。

1.2化學品供應室之各式桶槽大小應配合化學藥品日用量妥為設計，除KOH其余儲存桶需具1天份用量。

1.3直接接觸化學藥品之桶槽、管路、閥、泵等設備及其配件不得與所儲存、輸送之化學藥品起化學反應、腐蝕等情況發生。

1.4水平地震加速度:

0.23g。

1.5系統中之若採泵送，則泵採並聯設計，其中至少有一台為備用。

並於管路系統中提供脈衝調節閘（Pulsationdamper）以避免產生脈衝。

並須考慮泵送之化學品流量及壓力須符合各使用點需求。

1.6化學品供應室至閥箱之化學品輸送應若採氮氣壓送，並須設有氮氣壓力調節閥、壓力監控及緊急切斷裝置。

1.7化學品供應室至閥箱之化學品輸送出口端應設有自動及手動閥，自動閥並須連接監控系統，並有強制手動機構。

1.8每個系統應設過流量計，當系統流量過大或不合理，系統應自動停機。

1.9所有的電力線、控制線及訊號線均採用低煙無毒之LSNH電纜。

1.10承商應確保所供應之各化學品，大於0.2μm的顆粒（Particle）不得多於20pcs/ml。

1.11洩漏偵測器必須安裝於每個單元箱（Cabinet）內，當洩漏時應有警報。

1.12Al-Etching供應系統須能接收Al-Etching機台之濃度分析儀之訊號及由CCSS之HNO3與CH3COOH補充單酸至設備反應槽。

1.13Solvent區空間排氣須引接至房間之較低點。

1.14每一化學室各應提供沖身洗臉器。

1.15每一系統應提供一緊急停止按鈕，以利緊急時關閉系統用，當使用緊急停止按鈕時應同時有警報聲及紅色閃光燈。

1.16Solvent區的設備、元件、繞線等應採用符合IEC防爆標準（Zone2，GasgroupIIA，TemperatureclassT3）。

1.17Solvent區的各箱櫃應有熱感應及火燄偵測器，當兩者同時作動時應能啟動CO2滅火，並同時關閉排氣風門。

1.18所有的墊圈應採用適合所輸送之化學品材質。

1.19所有化學供應單元、混酸單元、稀釋單元、取樣單元等各公用管路應能以閥將單元與系統分開、獨立以方便維修。

1.20所有排液連接口應採用U形管以避免化學蒸氣回至排氣系統。

1.21承商應於化學室內提供一管理與控制系統，此管理與控制系統包含SCADA系統以監視各化學品供應狀態。

而且各系統之PLC能將每一供應單元、稀釋單元、集中資料、現場漏液之I/O控制、條碼機及各獨立系統之通訊網路連接並將狀態傳至CMS。

1.22應提供各式感測器以保證安全運轉（例如排氣偵測、溶劑室的溫度偵測、單元箱的漏液偵測、過濾器上游的壓力偵測、隔膜泵的漏液偵測等），早期發現問題以利維修及緊急處理。

當警報發生時應有警報聲及閃光燈以提醒操作者。

1.23所有泵應設感應器以防止泵空轉。

2.補充單元

2.1化學桶槽

（1）化學桶槽採用安定性（不與化學品起反應）材質製成（例如FRP桶內襯PTFE或PFA（≧200l），PE桶內襯PTFE或PFA（≦200l），SUS桶內襯PTFE或PFA），並附必要之檢修蓋、通氣管、防蟲網及檢修用不銹鋼質爬梯及護籠。

（2）CCB應具空氣濾清器（Airfilter），並能以N2洗滌（Purging）UPW沖洗（Flushing），以避免充填時污染。

（3）需附可目視之液位計，並將高高、高、低、低低液位警報傳遞至化學品供應室之PLC供中央監控引接。

（4）預留必要之管路出入口，並設排放口及排放閥。

（5）桶槽的設計應能承受地震負荷。

（6）桶槽外部明顯處應以透明底黑色大字標示桶槽編號及內含之藥品名稱，字體高度不小於40公分。

2.2防漏堤

（1）承商應於細設時提出設置防漏堤、邊溝及管溝位置供土建承商施做，防漏堤之有效容積至少為堤內最大桶槽有效容積之1.1倍。

（2）防漏堤內部四周應留設溝槽，並留洩水坡，防漏堤應披附FRP。

（3）防漏堤內部若設有廢液回收坑，則該坑應做必要之防落裝置，以防維修人員掉落。

2.3接收區

（1）承商應於細設時提出接收區邊溝位置供土建承商施做。

（2）酸鹼類管路中各式的閥封，均採用鐵氟龍（Teflon）材質，Solvent類管路中各式的閥封應用不與Solvent反應之材質。

2.4補充箱（DrumCabinet）

（1）小包裝化學藥品補充箱，補充箱應附快速接頭，以避免錯接，另具台車附滾筒輸送台，以利小桶槽之移動，（2.）DIgun與N2gun以利化學品漏液時清洗。

（2）酸鹼類補充箱材質應採用PP配合C-PVC製成，Solvent類用SUS316L製成（防爆），並留洩放口及洩放閥。

（3）補充箱應留設排氣口（裝設HEPAfilter），並設光學防漏偵測器，箱門應設安全連鎖裝置。

（4）所有的焊縫應為水密。

（5）補充箱應附條碼讀碼機（Barcodereader），以確認化學品種類、容量、補充日期等。

3.稀釋單元及供應單元

3.1酸鹼類稀釋單元及供應單元應各置於箱櫃（Booth）內，箱櫃材質應採用PP配合C-PVC製成。

3.2箱櫃應留設排氣口（裝設HEPAfilter），並設光學防漏偵測器，箱門應設安全連鎖裝置。

3.3每一單元之主管線應設流量計，且每一單元之主管線末端應設取樣點。

3.4稀釋用超純水由其他承包商提供至化學品供應室內1米，再由本工程承包商負責引接。

3.5承包商若採泵送則每一種泵均採二組並聯設計（其中一組為備用）。

若採氮送亦需設計兩個壓力桶互為備份，以確保化學品穩定供應。

3.6酸、鹼的桶槽材質均採用SUS304內披覆PTFE或PFA製成或經業主認可之材質，外部須噴漆處理。

Solvent的桶槽材質均採用SUS316L，須根據業主需求，照不同種類之Solvent桶槽作拋光處理。

3.7過濾器應為標準品，酸、鹼的膜片材質應採用PFA或PTFE。

3.8承商應提供雙導電度計（Dualconductivitymeasurement）以確認稀釋的品質，雙導電度計應為溫度積分式。

3.9為了避免污染，所有桶槽或容器需有氮封。

3.10應提供內循環，以確保稀釋桶及供應桶內濃度均一。

4.供應管、三通箱（Teebox）及閥箱（VMB）

4.1潔淨室及RAP內所用材質皆須符合FM認證之規定，所有箱體用板厚不得低於1/2”。

4.2酸、鹼的主供應管路均採內管為25A之PFA450，外管為50A之C-PVC雙套管，隔膜閥採PFA450。

非腐蝕性Solvent的主供應管路採SUS316LBA管或依業主之規定，腐蝕性Solvent（醋酸）的主供應管路採SUS管內襯PFA450或依業主之規定，隔膜閥採SUS316L。

4.3雙套管之外管於端部應設小型排放口及排放閥，當內管滲漏時得以排除積存於內外管間之化學藥品。

4.4閥箱設計除現有供應量外，另需預留25%的管接頭，以供擴充引接用。

4.5閥箱的前壁板應採用透明的PVC製成，厚度不得低於3/8”。

4.6閥箱的滲漏偵測器應能引起警報，當監控系統發現有滲漏警報時應/或能關閉化學供應系統。

4.7所有的閥箱應提供適當排氣連接口，以排除漏液蒸氣。

4.8閥箱應具有下列功能:

（1）閥箱內部應含光學滲漏偵測器。

（2）需留排氣連接口。

（3）需留N2沖洗（purge）閥連接口。

（4）包含自動操作閥（Autovalve）、手動閥（Manualvalve）及N2沖洗（purge）閥、Bellowvalve。

（5）洩漏或維修時之排放閥。

（6）箱門鎖開關。

（7）箱蓋應採易開式彈簧扣環設計。

（8）所有之接縫應具水密性。

（9）閥箱至少能承受1psig的壓力。

（10）取樣閥口。

（11）氣動操作閥（AOV）

4.9三通箱應具有下列功能:

（1）內部應含光學滲漏偵測器。

（2）內含手動閥（Manualvalve）、膨漲閥（Expansionvalve）。

（3）洩漏或維修時之排放管。

（4）材質同閥箱。

5.監控系統

5.1承包商必須提供必要的設備以使監控系統能監視化學品供應狀態且能遙控控制。

5.2監控系統應提供一主PLC（ProgrammableLogicController）及二台工業級個人電腦以為SCADA（SupervisoryControlandDataAcquisition）的操作介面，並具圖像顯示、警報流程、記錄、監控等，系統並應配備印表機，以為警報、突發事件記錄用。

5.3此二組SCADA電腦應設於化學品供應室及中控室內，並包含CPU、RAM、I/Ocards、HD、軟碟等必要的配備。

5.4SCADA電腦至少應具下列功能:

（1）每一化學系統狀態圖（須包含各點之壓力、液位高度、閥開關及Pump作動）。

（2）洩漏圖及設備位置圖。

（3）補充/供應/起動/完成的時間記錄。

（4）每一化學品每日/每週/每月的使用量

（5）歷史趨勢記錄（能以隨身碟下載）。

（6）所有供應/稀釋流程的分析記錄（含稀釋/供應之時間記錄、PH值、比重、濃度百分比（%）值等）。

（7）警報摘要。

（8）彩色雷射印表機（適用A3及A4圖紙）。

（9）過濾器/泵的歷史維修記錄。

（10）酸、鹼及Solvent的排氣監視。

（11）各桶槽液位監視。

（12）顯示使用設備及化學系統介面狀態，包含系統狀態、設備的緊急停止運轉、化學品供應系統偵錯（包含桶槽已空）、化學品供應系統就緒之資訊。

（13）供應系統出口閥與VMB各Stick之出口閥每日開關次數與時間。

（14）Pump作動次數

（15）過濾器之前後壓差值。

（16）Al-Etch之SCADA須能接收設備之濃度調整系統訊號及濃度分析報表。

（17）化學品用量趨勢圖表。

5.5所有的狀態改變包含所有的系統警報，必須將事件的時間、日期、位置記錄到SCADA電腦內。

5.6各化學品供應系統應具有現場控制盤，能將控制模組連至設備流程上，至少包含系統狀態、設備的緊急停止運轉、化學品供應系統偵錯（包含桶槽已空）、化學品供應系統就緒之資訊。

5.7監控系統圖面須能監視液位高度（以百分比方式圖示）。

6.管路吊架及電纜架

6.1設備若非直接架設於基礎上者，則承包商應提供管路吊架及電纜架等，以便將負載傳送至結構物。

6.2管路吊架及電纜架需採用防蝕材料，並採用象牙色塗裝。

6.3基礎螺栓、螺帽均採用不銹鋼質。

6.4管路吊架須考慮地震之避震吊桿系統。

7.管路設備標示

管路設備標示詳附錄B。

8.特殊工具

承包商如有組裝及分解本工程之特殊工具等，應備置壹套交業主備用。

9.清潔

9.1設備系統裝運前，承包商應先以超純水或化學藥劑將設備灰塵、油脂、潤滑油、金屬殘渣等，予以清潔乾淨後再用塑膠袋或C-PVC包裝後再裝箱，以利運輸、儲存。

9.2設備系統安裝完成後，承包商應再以N2或超純水將系統管線、桶槽等清潔乾淨，經檢驗合格後再行試車。

10.保證

承包商應對系統運轉提出下列保證，並提供下列各項應有之分析、檢驗儀器:

10.1流量（應符合業主規定）。

10.2顆粒（0.2micron＜20pcs/ml），並詳填下表。

10.3稀釋濃度（應符合業主規定2%±0.1%）。

10.4金屬雜質（≦0.5ppb，各系統流程中不得有金屬雜質的污染，基本上系統應能分析Na/Mg/Al/K/Ca/Cr/Fe/Ni/Zn/Pb/Cu/Mn/Co等13種金屬雜質）。

附錄A：

化學品供應系統流程圖

附錄B

管路設備標示

1.通則：

1.1說明：

本章規定所有管路、儀器及設備標示，以達到整齊一致，人員一目了然，並符合GB及中華人民共和安全生產法規定。

1.2依據：

1.2.1主管機關之法令與規章。

1.2.2中華人民共和國國家標準（GB）

a.化學品安全標簽編寫規定（GB15258-1999）。

b.常用危險化學品的分類和標志（GB13690-92）。

c.工業管道基本認別色、認別符號和安全標識（GB7231-2003）

1.3於上述規範、標準與法規未列明部份，則可引據其他經業主認可之標準之適用條款。

2施工：

2.1標示數量：

管徑2"（含）以下管線每2m一個標示，管徑2"以上管線每4m一個標示，且應依現場狀況標示管線之一側或兩側，使不同方向之人員皆可清楚看到標示；設備密集區域內，任兩個設備間少於2m之管線至少應有一個標示。

2.2標示位置：

2.2.1標示之設置場所，應於閥、接頭、轉彎及隔牆旁30cm處設置。

2.2.1標示牌除閥、接頭、隔牆標示外，標示牌與標示牌二者之間間距為八公尺。

2.2.2當管路高度低於1.6米時，標示位置應改為管路外側，且顯而易見之位置。

2.2.3在同排管路中管徑不一時，依管徑大小選擇標示牌尺寸，但小的標示需對齊大標示牌上緣。

2.2.4設立位置應求醒目，其材質應堅信耐久，安全必需考慮；所有尖角銳邊，應於以適當處理，以免發生危險。

2.2.5相鄰管路其標示位置須一致，以力求整齊。

2.3須在設備及管線油漆、清潔與絕緣完成後，才能黏貼上標示。

附錄C

截火材料

1.通則

1.1說明

1.1.1本章說明水電、機械、環控工程配合電纜架/槽、導管、水管、風管穿越防火區劃之截火材料供料與施作要求，其施工範圍除另有指定外如下：

（1）穿越防火區劃內、外牆及隔間板含防火（捲）門之處。

（2）穿越防火區劃與屋頂和樓地版之處。

（3）穿越防火區劃至管道間及樓梯間之牆版處。

（4）穿越防火區劃至走廊區之牆版處

（5）契約圖說上所標示之位置或規範中其他章節列舉之位置。

1.2品質管制

1.2.1UL防火等級：

所供應之材料應於UL1479最新表列防火等級「填充、開口或間隙材料」（FillVoidorCavityMaterials）及「貫穿部位截火材料」（ThroughPenetrationSystem）之內者。

1.2.2燃燒試驗：

孔口處填塞所供應之截火材料應通過為ASTME814「貫穿式截火材料之防火性能試驗法」或UL1479「貫穿式截火材料之防火測試標準」之「T」級。

接縫處填塞所供應之阻火材料應為UL2079「建築物連接系統之防火測試標準」之"AssemblyRating"級產品。

1.2.3樣品：

將擬使用之材料樣品塗布於業主指定之地點，本工程即以核可之樣品品質作為驗收之標準。

1.2.4所有之截火材料應由單一廠商製造提供。

1.3提送資料

1.3.1依循第01330章及本章外加需求送審附加的相關條件。

（1）廠商資料，包括產品、說明、技術資料、最近UL登錄之影本或符合引用標準規範之證明及施工說明書等均需符合特定需求。

（2）施工製造圖說明擬採用材料、補強、錨定、固定及施工方式等。

（3）書面証明截火產品不含石棉。

1.4引用標準

1.4.1美國材料及試驗協會（ASTM）

（1）ASTME814貫穿式截火材料之防火性能試驗法

（2）ASTMC920彈性封縫劑

1.4.2美國保險業實驗室（UL）

（1）UL1479貫穿式截火材料之防火測試標準

（2）UL2079建築物連接系統之防火測試標準

1.5運送、儲存及裝卸

1.5.1截火材料之裝運應儲裝於原廠未啟封全新之容器內，容器上需標明廠商之名稱及內裝名稱。

1.6施工條件

1.6.1未經攪拌之材料應儲裝於原封容器內，施工前儲存環境溫度應依照製造商之建議或儲存於溫度17℃至25℃之間，最少十二小時。

1.6.2若施工處空間小於0.05m而必須用到1kg發泡材料時，則應使用機械式通風設備，以去除起泡時所產生之氫氣。

2.產品

2.1總則

2.1.1所採用之截火材料；應依防火需求，選用UL最新表列防火等級者，須能延展以填滿空隙，粘著於底層，在底層可預期的正常移動範圍，仍維持密封狀態。

2.1.2防火時效等級：

孔口處所供應之材料應為UL1479"T"級且達圖示防火區間之防火時效，接縫處所供應之材料應為UL2079"AssemblyRating"之防火等級，且達圖示防火區間之防火時效。

2.1.3不得採用含石棉之材料。

2.2防火填縫劑

2.2.1供應即用型矽樹脂作為開口及孔隙封材，其功能應能阻擋火、煙、水等穿透，符合規定的防火時效；能於大氣水份中養治，形成耐久而具伸長性的封填材料並能與一般常見建材如水泥、磚、鋼鉛、石膏牆板等之組合形成氣密及