振镜延时的调节和现象文档格式.docx

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示意图

图1开光延时

这个值可以设为负值当设置为负值表示当振镜到达指定位置后先出光LOnD后再开始Mark运动

b.设置值的单位

这个值在Scanlab和Raylase单位都为微妙（us）

但是在Raylase中此值的绝对值不能低于50,

在Scanlab无此限制

c.设置过大或者过小时的情形

设置LOnD过小时可以看到开光处产生了爆点（产生此情形的原因是由于振镜开始运动速度低而LOnD又过小这时候出光导致激光在开始处聚集导致爆点）

图2开光延时太小

设置LOnD过大时可以看到开光处有一部分少刻了（产生此情形的原因是由于振镜开始运动而LOnD过大过了很久再出光导致激光刻蚀时已经离开开始点很远导致有一部分少刻了）

图3开光延时太大

LOnD设置一般和激光的开光状态相关一般如果激光开光状态能量较强则LOnD设置也需要相应的增大一些

2．LaserOffDelay（关光延时）下面称LOffD

a.LOffD的作用原理和发生时间

LOffD发生在关光时

当振镜刻蚀到达指定位置后要结束Mark运动，但并不同时关光而是延时LOffD后关光

图4关光延时

这个值可以设为负值当设置为负值表示当振镜还未到达指定位置前LOffD的时候已经将光关闭即提前关光

设置LOffD过小时可以看到关光处少刻了一段（产生此情形的原因是由于振镜结束运动时由于指令和运动有时间差,即指令认为已经到位但实际还未到到位,而LOffD又过小这时候关光导致激光在结束处少刻一段）

图5关光延时太小

设置LOffD过大时可以看到关光处产生爆点（产生此情形的原因是由于振镜结束运动时,振镜已经到位,而LOffD又过大这时候还未关光导致激光在结束处产生爆点）

图6关光延时太大

LOffD的设置一般和扫描速度相关一般扫描速度越大则LOffD也需要越大

3．JumpDelay（跳转延时,快跳延时）下面称JumpD

a.JumpD的作用原理和发生时间

JumpD发生在振镜跳转后

当振镜跳转到指定位置后延时JumpD的时间再开始别的运动

图7跳转延时

这个值不可以设为负值

这个值在Scanlab中单位为10微妙（10us）即设置1代表10us最小可设0

在Raylase中单位为微妙（us）即设置1代表1us但是最小值是50

c.设置过大或者过小时的情形

设置JumpD过小时可以看到在Jump后的下一段运动开头时有不稳定的现象产生（产生此情形的原因是由于振镜结束Jump运动时,振镜电机还未稳定,而JumpD又过小这时候下一段运动时振镜还在不稳定状态导致此现象发生）

图8跳转延时太小

设置JumpD过大时不会有不稳定的现象产生但是会影响效率

JumpD的设置一般和振镜快跳速度相关一般的如果振镜跳转速度越大则JumpD也需要越大

4．MarkDelay（扫描延时）下面称MarkD

a.MarkD的作用原理和发生时间

MarkD发生的条件是:

在Mark指令后下一条是Jump指令它在Mark指令后会产生MarkD,即振镜刻蚀到指定位置后延时MarkD的时间再开始跳转指令连续的Mark指令之间不会产生MarkD

图9扫描延时

这个值不可以设为负值

设置MarkD太小时可以看到还没到刻蚀的终点位置就直接开始下一段Jump运动了导致关光处出现拐角（产生此情形的原因是由于振镜理论位置和实际位置存在时间差,理论上运动已经到位但实际还未到位,而MarkD又过小这时候下一段Jump运动已经开始导致此现象发生）

图10扫描延时太小

设置MarkD过大时不会有不稳定的现象产生但是会影响效率

MarkD的设置一般和振镜扫描速度相关一般的如果振镜扫描速度越大则MarkD也需要越大

5.PolyDelay（拐角延时,转角延时,曲线延时）下面称PolyD

a.PolyD的作用原理和发生时间

PolyD发生连续Mark指令之间即上一条Mark运动执行完毕后等待PolyD的时间再执行下一个Mark运动,期间激光不会关闭

图11曲线延时

这个值不可以设为负值

这个值

在Scanlab中单位为10微妙（10us）即设置1代表10us最小可设0

在Raylase中单位为微妙（us）即设置1代表1us可设0,但是设置比0大的值必须从50开始

设置PolyD过小时可以看到在两段连续的Mark运动之间拐角处有圆弧过渡导致和实际需求图形不符（产生此情形的原因是由于前一段Mark结束振镜电机还未到位,而MarkD又过小这时候下一段Mark时振镜只能从走捷径路径导致此现象发生）

图12PolyD太小

设置PolyD过大时可以看到在两段连续的Mark运动之间拐角处有爆点（产生此情形的原因是由于前一段Mark结束振镜电机已经到位,而PolyD又过大,这时候下一段Mark还未开始但是激光仍然在出导致爆点产生）

图12PolyD太大

PolyD的设置一般和振镜扫描速度和拐角大小相关一般的如果振镜扫描速度越大拐角越大则PolyD也需要越大

综合上述分析和原理我们可以得出如下延时设置必须遵循的规则

1.LOffD>

LOnD（关光延时必须大于开光延时,否则在刻蚀短线段时会产生问题）

2.MarkD>

LOffD–LOnD（扫描延时必须大于关光延时和开光延时的差,否则在进行短距离跳转时再刻蚀时会出现问题）

延时的设置要根据激光的特性（频率,能量,首脉冲等）,扫描速度和快跳的速度,再结合上述延时设置不当时出现的典型情形,综合考虑力求达到既能满足刻蚀图形不变形,效率又高的最佳状态.

3.