光学镜片及镀膜.docx
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光学镜片及镀膜
1．光学镜片参数
类型
参数
激光输出镜
反射镜
聚焦镜（平凸
及双凸）
介质反射镜（对角度敏感，一般有45゜或0゜）
金属反射镜
材料
光学玻璃
JGS1、K9、Pyrex等
JGS1、K9、
Pyrex等
K9、熔融石英
膜层材料
激光介质膜
铝、铜、银、
金
曲率半径及尺
寸根据需要做
波长范围（nm）
325-1550
200-2000
尺寸（直径、厚度）（mm）
根据需要订
做
根据需要订做
根据需要订
做
反射率
17-90%
≥99%
面精度
λ/4
λ/4-λ/2
λ/4
平行度″
10″
<3′
<3′
损伤阈值
注：
参见附录1—常见镀膜类型
直径
10mm
波长范围
1064&532
焦距
10mm
镀膜
防反射膜（增透膜）
注：
平凸镜,直径为10mm,半径为2mm,焦距为96.5，材料K9平凹镜,直径为
10mm,半径为2mm,焦距为85mm,材料K
平凸镜,直径为8mm，厚度2.5mm,f=8.8mm
平凸镜,直径为8mm，厚度2.5mm,f=11.1mm
平凸镜,直径为8mm，厚度2.5mm,f=13.7mm
平凸镜,直径为8mm，厚度2.5mm,f=18.8
现公司使用聚焦镜主要在定焦治疗头上，一部分部分包含在导光臂里，由供应商全套提供，上面列出的的主要用在其它定焦治疗头上。
3.常见镀膜类型
（1）反射膜
类型
波长范围（nm）
反射率（%）
抗磨损能力
价
格
说明
紫外增强铝
膜
250-600
Ravg>85
中
等
低
通过氟化镁膜增强紫外
反射率
金属膜
铝膜
300-10000
Ravg>90
低
低
不可用常见方法擦
保护铝膜
400-700
700-10000
Ravg>88
Ravg>90
中
等
低
增强铝膜
可见光-红外线
Ravg>92
Ravg>96
中
等
低
多层介质膜增强可见和
近红外反射率
保护银膜
480-10000
Ravg>95
中
等
低
可见和红外反射能力强
于铝膜
金膜
650-20000
Ravg>96
中
等
中
等
不可用常用方法擦拭
保护金膜
650-20000
Ravg>96
中
等
中
等
近红外到红外反射能力
略强于保护银膜
介质膜
带宽介质膜
488-694
700-950
Rs,Rp>
98-99
高
高
在带宽范围内有非常高
的反射率
激光介质膜
325-1550
Rs,Rp>99
高
高
在窄带范围内有很高的
反射率
高能量准分子激光器反射膜
193-248、
308-352
Rs>99.7
Rp>99
高
高
对准分子激光有高反射
率和高损伤阈值
高能量Nd:
YAG激光介质膜
266-355、
532-1064
Rs,Rp>99
高
高
对Nd:
YAG激光有高的反射率与高损伤阈值
单层氟化镁
适用于折射率1.42-2.4的材料，为可见光最常用的镀膜材料，
防反射膜（AR膜）
防反射膜（增透膜）
对入射角不敏感
多层单波长
防反射膜
多用于激光应用中，主要针对窄带激光，可降低反射，最小可小于0.1%
多层宽带防
反射膜
提供窄带光谱范围的增透，一般说对入射角比较敏感
双波长防反射膜
两种波长下均可提供较高的透过率，例如Nd:
YAG的基频
1064nm和倍频532nm,均可提供较高的透过率
分束膜
激光偏振分束膜
第一波长激光应用中，对P偏振增透、而对S偏振高反
带宽偏振分束膜
带宽光谱范围，对P偏振增透、而对S偏振高反
二向色分束
膜
透过二向色中的一个波长，反射另一个波长
注：
金属膜反射镜的特点
a.金属膜反射镜一般反射特征曲线比较平坦，带宽，反射率高；
b.金属膜反射镜的反射率不太受波长和入射角度变化的影响；
c.金属膜反射镜膜表面的机械硬度不高，一般不可用通常方法擦拭，只能用包含有有机溶剂的棉棒擦拭；
d.金属膜反射镜不适用于强光，激光能量大于1J/cm2时，请选用介质膜反射镜。
介质膜反射镜的特点
a.介质膜反射镜是用交替重叠的多层膜的干涉原理制成；
b.介质膜的反射率比较高，可接近100%（表中可见），膜的机械硬度高，耐清洁；
c.介质膜反射镜与金属膜相比，其反射带宽窄，而且与入射角度密切相关；
2.光学镀膜材料的技术指标
序
号
分子式
规格
纯度
密度
熔点
蒸发温度
折射
率
透明波
段
使用说
明
氧
化
物
一氧化
硅
颗粒，
1~2.5,2.5~5,5~
10
99.9
9
2.1
1610
1200-1600
1.9
1.6~8
红外增
透膜。
保护膜
二氧化
硅
晶体颗粒，1~2.5,2.5~5,压片Φ10
99.9
9
2.2
2045
1600-2200
1.45
0.2~9
复合
膜。
保护膜
三氧化
二铝
晶体颗粒，1~2.5,2.5~5,
压片
Φ10
99.9
9
4
2700
2000-2200
1.60-1.65
0.17~9
复合增
透膜。
保护膜
二氧化
锆
晶体颗粒，1~2.5,2.5~5,
99.9
9
5.5
656
2500
1.95-2.05
0.25～
9
复合
膜，坚
硬耐用
的增透
压片
Φ10
膜
一氧化
钛
压片，
Φ10
99.9
4.93
1750
2200
2.2
2.3
0.3～
透紫外
膜
二氧化
钛
压片，
Φ10，
Φ30
99.9
9
4.29
1800
2200
2.3
激光装置，滤光片
五氧化
二钽
晶体颗粒，1~2.5,2.5~5,压片Φ
10
99.9
9
8.7
1800
1950
2.3
0.36～
9
增透膜
二氧化
铪
压片，
Φ10
99.9
9
9.7
2812
2500
2.0
0.29～
9
透紫外至红外部分复合膜
三氧化
二钇
压片，
Φ10
99.9
9
4.8
2680
2500
1.75
0.4~8
宽带增
透膜
氧化镁
压片，
Φ10
99.9
3.58
2800
2000
1.7
0.23～
9
复合膜
氧化铟
和氧化
压片，
7.1
1565
1450
2
0.34～
透明导
锡混合
料
Φ10
9
电膜
氧化锡（钯、铂）
功能膜料
压片，
Φ10
1127
0.4-7
敏感光
电薄膜
氧化锆
和氧化
钛混合料
压片，
Φ10
99.9
9
2.05-2.15
优良带宽增透材料
二氧化
铈
压片，
Φ10
99.9
7.3
2600
2.2
0.46-11
增透膜
五氧化
二铌
压片，
Φ10
99.9
9
4.47
1530
2.3
0.35-9
保护膜
氧化锌
压片，
Φ10
99.9
5.6
1975
2.0
0.4-16
导电膜
氧化钆
压片，
Φ10
99.9
7.4
2310
1.8
0.22-9
三氧化
二铬
压片，
Φ10
99.9
5.2
2435
2.4
0.36-10
三氧化
钨
压片，
Φ10
99.9
7.1
1473
1.65-1.70
适于镀制变色膜
氧化铜
压片，
Φ10
99.9
6.3
1326
2.6
适于镀制磁性薄膜
三氧化
二铁
压片，
Φ10
99.9
5.24
1565
2.75-2.90
适于镀制磁性薄膜
氟
化
物
氧化镍
压片，
Φ10
99.9
7.45
1990
2.0
2.1
0.5
适于镀制变色膜
氧化铋
压片，
Φ10
99.9
8.9
820
2.5
0.4
氧化钕
压片，
Φ10
99.9
7.4
2350
1.8
0.4~2
氟化镁
压片，
Φ10
99.9
3.18
2272
1200-1500
1.8
0.24-9
可见光区增透膜
冰晶石
压片，
Φ10
99.9
3.07
1396
1.38
0.2-10
可见光区增透膜
氧化锶
晶体颗粒，1～5,5~10,压片Φ10
99.9
4.26
1000
1.40
-1.4
4
0.25-5
适于镀制紫外薄膜
氟化铈
压片，
Φ10
99.9
6.16
1450
1.6
氟化钡
压片，
Φ10
99.9
4.8
1418
1.47
0.15-15
自外至红外增透膜
氟化钙
压片，
Φ10
99.9
3.31
1280
1.2
1.3
氟化钕
压片，
Φ10
99.9
6.5
1360
1.6
0.25
氟化铈和氟化钙混合料
压片，
Φ10
99.9
1410
1.3
1.4
红外复
合膜
硫化锌
晶体颗
粒，
99.9
4.1
1100
2.3
2.4
0.35-14
.5
复合
增透
10~15,
压片
Φ10
膜
硫化镉
压片，
Φ10
99.9
4.8
2.4
0.50-18
复合增透膜
铬
99.9
7.9
1890
1000-1205
银
99.99
10.05
961
1000-1200
电阻膜、分光膜及保护膜
铝
99.99
2.7
660
1000-1100
适于镀制导电膜或制膜
银灰色
热发射
膜合金
7.31
1450
1360
分光膜及热反射膜
金红膜
合金
7.9
1202
1100
适于镀制金红色镜子
注：
来自中国光学光电子行业协会2008年光学薄膜培训班培训资料
3.红外光学材料及性能参数
材料
体吸收系数
（/cm）@1064nm
折射率
@10
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