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准确度

1%F.S（5sccm~10slm）

2%F.S

线性

（0.5~1.5）%F.S

重复精度

0.2%F.S

响应时间

（1~10）sec

工作压差范围

（0.05~0.4）Mpa10~30L（0.1~0.4）Mpa

耐压

3Mpa﹑10Mpa

工作环境温度

5℃~45℃

材料

不锈钢316L

标准密封材料

Viton﹑EPDM,或其他

漏率

﹤2×

10-9mbar.1/sHe

接头

Ф6mm,1/4″Swagelok,1/4″VCR,或其他

输入输出信号

0V~+5.00V

（输入阻抗大于100K,输出电流不大于3mA）

电源

+15V50mA

-15V200mA

外形尺寸mm

134×

重量kg

1.2

表2.S49-33A/MT﹑S49-33BM/MT型质量流量计技术指标

S49-33A/MT

S49-33BM/MT

（0~1,2,3,5,10,15,20,30）SLM

1%F.S

2%F.S

0.2%F.S

1~4sec

气压降

0.01MPa

3MPa﹑10MPa

+15V50mA-15V50mA

注意：

S49系列质量流量控制器，质量流量计分不同的流量范围，供用户选择，也可根据用户提出流量定制。

4.工作原理

图一热式质量流量计的工作原理图

质量流量计由流量传感器,分流器通道和流量放大电路等部件组成；

在质量流量计的基础上，再加上调节阀门和PID控制电路就构成了质量流量控制器。

流量控制器利用流动流体传递热量改变测量毛细管壁温度分布的热传导分布效应而制成，即热分布式流量计（ThermalProfileFlowmeter）。

采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量，可以不受温度和压力的影响。

将传感器测得的流量信号进行放大，然后与设定的电压进行比较，用所得的差值信号去驱动控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。

分流器在主通道和毛细管间产生层流，控制器输出的流量检测电压与流过通道的质量流量成正比,　满量程（F.S）流量检测输出电压为+5V。

质量流量控制器的流量控制范围是（5～100）%F.S（量程比为50:

1）,流量分辨率是0.1%F.S。

控制操作一般在MT-50系列流量显示仪上进行。

当设定与“内”设相连时，由流量显示仪上的设定电位器控制流量。

当与“外”设相连时，由用户提供的外部0~+5V电压控制流量。

在流量显示仪的显示面板上设置有三位阀门控制开关，当置于“阀控”时，则按设定电位器的数值自动控制流量，当置“关闭”位时，阀门关闭；

当置“清洗”位时，阀门开到最大，以便气路清洗，或作为流量计使用。

在做流量计使用时，流量检测电压的输出值最大可能达到+10V以上，不过要注意，当流量超过满量程（+5V）后，流量检测电压与通过的实际流量不成线性对应关系。

清洗时，流量显示不准确，还可能出现流量增大显示反而减小的异常现象，但不会对流量计本身造成损伤。

（参考流量显示仪的使用说明书）

5.安装和接线

5.1S49系列质量流量控制器外形及安装尺寸如图二所示

图二S49系列质量流量控制器外形及安装尺寸

5.2入口和出口气路接头形式

可以根据用户的不同需求，选用两种类型：

1.双卡套（Swagelok）；

a.Φ6mm；

b.Φ3；

c.Φ1/4″；

d.或其他

2.VCR

a.Φ1/4″；

b.Φ3/8″

连接方法如图三，图四所示

图三双卡套接头的连接方法

按上图所示安装接管时，在装上前卡套、后卡套、螺母后，先用手将螺母与接头拧紧，再用板手拧紧，以保证不漏气。

注意应使用双扳手操作，用一只扳手卡住接头不动，用另一只扳手旋转螺母。

特别是在拆卸时必须使用双扳手操作，否则会引起接头松动，影响密封。

图四VCR接头的连接方法

5.3质量流量控制器连接电缆接口

S49系列质量流量控制器的电缆接线插头，主要采用DB-15-pin针型接口和DB-15-hole孔型接口两种。

其接线方法见图所示。

图五DB-15-pin针型接口配线图

图六DB-15-hole孔型接口配线图

S49系列质量流量计接线与上述接线只是少了“阀控”和“设定”两根线

其它完全相同。

5.4与计算机的连接方法

a.通过流量显示仪与计算机（或其它外部信号）的连接方法,见图7。

若要检测流量输出信号（0V～+5V）时,将线引至显示仪外控信号插座的“流量检测”和“0电平”线上即可，也可直接与计算机的模数（A/D）转换器连接，+5.00V输出电压对应MFC满量程额定流量值。

流量检测输出电流≤3mA。

b.流量计直接与计算机连接的接线方法，见图8。

MFC/MFM直接与计算机连接，需要用户自己提供±

15V电源（如用于复杂电气环境，要求电源抗干扰能力要强）；

具体连接方法：

*将“设定流量”线与D/A端子相连

*　将“流量输出”线与A/D端子相连

*将“信号零线”与A/D，D/A卡中的信号地相连

*地（GND），0V（E0）分别引线，与±

15V电源的地相连

*±

15V线分别连接到电源的+15V，-15V端子上

*阀开关接到控制阀门开继电器的一端，控制阀门开的继电器另一端接到电源的+15V上；

*阀开关接到控制阀门关继电器的一端，控制阀门关的继电器另一端接到电源的-15V上

如采用特殊接线，两个继电器同时动作时，可能导致电源短路，损坏设备，因此，要注意不能两个继电器同时动作。

5.5零点的调节

用户在使用的过程当中，有可能发生零点偏移，可进行零点偏移的调节。

零点的调节可以两种方式进行调节。

**。

当与我公司生产的显示仪配套使用时，可通过显示仪面板上的调零电位器调零,叫做外调零。

但要注意外调零的调节范围比较小。

**一种可以从流量控制器上的调零孔进行调节，叫做内调零。

调零孔、调零电位器的位置如图九所示

图九调零电位器位置示意图

**调零时流量控制器中不得通气。

**调零必须在开机预热15分钟以后进行，以待流量计零点的稳定，方可进行。

**除调零电位器外，不得轻易调整其它电位器。

**若遇到较大的零点偏移，必需用内调零，才能解决。

6.使用方法和操作步骤

S49-33/MT质量流量控制器的使用方法和操作步骤（结合MT-50系列流量显示仪）

6.1开机前的准备工作

6.1.1用我公司提供的电缆线将质量流量控制器（计）和流量显示仪连接。

6.1.2选择设定信号的来源，信号的来源可选择内部和外部，选择设定信号来源的接口设在流量显示仪的后面板上，如果将设定端子与内设相连时，从流量显示仪上获得设定信号。

如果从其他设备上得到设定信号，则由外部信号设定流量。

6.2开机操作

接通电源后，先预热15分钟，待零点稳定后再通气工作。

最佳操作方法：

通电后，将阀开关置“关闭”位并将设定电位器调到零，再开气。

待零点稳定后，将阀开关转置“阀控”位，然后再将设定流量调到您需要的值，实际流量跟踪设定值而改变。

6.3清洗与关闭功能

欲用气体吹洗管路，可将阀开关置为“清洗”位，清洗时的流量可达该控制器额定满量程流量的几倍至几十倍。

如果不通气，也可根据需要抽真空以排除MFC内部及其上游残存气体。

然后将阀关闭，再开气，并转到“阀控”位工作。

注意“清洗”后，不得直接转置“阀控”位。

6.4流量检测和与计算机A/D转换器的连接

若用户检测流量输出信号（0～+5V）时，将线引至外控信号插座的“流量检测”和“0电平”线上即可，也可直接与计算机的模数转换器连接，+5.00V输出电压对应MFC满量程额定流量值。

参考图8，9。

注意，流量检测输出电流不大于3mA。

6.5阀控功能

当阀开关置于阀控位时，用户也可通过外控信号插座上的“阀控制”线控制阀门，，当阀控线接+15V时，阀门关闭；

当阀控线接-15V时，处于清洗状态；

当阀控线悬空时，阀门处于自动控制状态。

参见MT-50流量显示仪的使用说明书。

6.6关机断电源后，流量自动载止。

推荐先关气，后断电源。

7注意事项

7.1使用气体必须净化，无尘液体和油污。

必要时须在气路中加装过滤器、干燥器等。

7.2使用腐蚀性气体问题

控制器通道采用的材料为：

SUS316L（00Cr17Ni14Mo2）,Viton,氟橡胶等耐蚀材料。

在用户系统无水汽、无尘、勤清洗、使用得当的条件下，可以用于控制一般的腐蚀性气体。

使用强腐蚀性气体和有机溶剂气体时（如NH3，BBr3）等，应在定货时声明，所有密封材料都要作相应改变。

7.3安装位置问题

本控制器安装时最好保持安装面水平，但对位置并不特别敏感，可以任意位置安装，非水平位安装时若发现零点偏移，可调整零点后再工作。

如果用户订货时注明安装位置，我厂也可根据用户的安装位置进行标定后出厂。

7.4注意工作压差

要特别注意工作介质的气压，应注意使控制器进出气口两端的工作压差保持在指标范围之内。

特别是在高压下工作时，气压差过大，流量将无法关闭或调小。

在使用大流量的质量流量控制器时，要注意适当加粗管道和减小气源内阻，若工作压差小于要求值，有可能流量达不到满量程值。

7.5阀口密封问题

质量流量控制器的电磁阀是调节阀，不是截止阀，不能当截止阀用，用户应另配截止阀。

特别是用户如果使用的是腐蚀性气体，通常应该在质量流量控制器进出气口各加装一个截止阀，以保证安全。

7.6标定和不同气体的换算

本控制器出厂用氮气（N2）标定，用户使用其它气体时，需在订货时特别申明或也可以通过附录一的转换系数进行换算，将质量控制器显示出的流量读数，与某使用气体的转换系数相乘，即得该被测气体在标准状态下的质量流量。

如果用户使用混合气体，可以通过附录二介绍的方法，计算出混合气体的转换系数。

8.故障判断和处理

表4故障判断和处理一览表

序号

故障现象

故障可能原因

处理方法

开机后，

无气流流过

1.1气源未开，气路不通

接通气源，开通气路

1.2阀控开关关闭

将阀开关置于“阀控”位或“清洗”位

1.3无设定信号

检查设定电位器和“内外”设定开关的状态等

1.4过滤器堵塞

*更换过滤器

1.5调节阀故障

检查阀线包是否断，*清洗调节阀

1.6电路故障

*维修电路

开机不通气的情况下，流量检测不正常

2.1零点偏差

调整调零电位器

2.2电源故障

*检查±

15V电源等

2.3传感器故障

*更换传感器

2.4运放或其他电路故障

*更换运放，维修电路

在阀门关闭的情况下，仍有较大的流量流过

3.1入口气压过高，进出气口之间的压差超过额定值

适当降低输入气压，减小气压差

3.2阀门污染

清洗阀门，更换密封件

3.3调节阀故障

重新调整调节阀

流量显示不能达到满量程度

4.1气压降低于额定值

提高入口气压

4.2通道堵塞

*清洗FMC通道

4.3设定电压低于5.00V

检查设定电压

4.4其它电路故障

维修电路

续表4故障判断和处理一览表

气流控制不稳定

5.1气源压强太低或不稳

提高气源气压，稳定气源压强

5.2气源内阻过大

降低气源内阻（大流量时要注意开大阀门，加粗管道，以至并联气瓶。

提高气源供气能力）

5.3电路或调节阀故障

*维修调整

使用高频源时流量控制器受干扰

6.1供电系统的地线和零线连接或机壳接地有问题

检查接地系统，注意一点接地

6.2信号参考端连接问题

检查信号连接线

6.3空间干扰

适当屏蔽，远离干扰源，选用屏蔽线

实际流量与显示流量不一致

7.1显示器量程或单位与控制器不匹配

*重调显示器

7.2控制器通道被污染，引起流量精度发生偏差

*对控制器进行清洗标定

7.3流量计零点

*更换传感器，维修电路

设定为零时仍有流量流过

8.1调节阀漏气

*维修调节阀

8.2流量计零点偏负

将流量计零点为零或偏正

通道有很大气流流过，而输出无流量显示

9.1传感器堵塞

*维修更换传感器

气源有粉尘，应在通道前加装过滤器。

若使用硅烷等特殊气体，应注意管路的密封性和气源干燥。

9.2电路故障

不通气时，发现零点不稳，或零点长时间慢漂移

10.1传感器故障

[注意]标*号的处理项目，应由专业维修人员修理，或送回本公司修理。

9、气体质量流量转换系数

附录一.气体质量流量转换系数：

气体

比热（卡/克℃）

密度（克/升0℃）

转换系数

空气Air

0.2400

1.2930

1.006

氩气Ar

0.1250

1.7837

1.415

砷烷AsH3

0.1168

3.4780

0.673

三溴化硼BBr3

0.0647

11.1800

0.378

三氯化硼BCl3

0.1217

5.2270

0.430

三氟化硼BF3

0.1779

3.0250

0.508

硼烷B2H6

0.5020

1.2350

0.441

四氯化碳CCl4

0.1297

6.8600

0.307

四氟化碳CF4

0.1659

3.9636

0.428

甲烷CH4

0.5318

0.7150

0.719

乙炔C2H2

0.4049

1.1620

0.581

乙烯C2H4

0.3658

1.2510

0.598

乙烷C2H6

0.4241

1.3420

0.481

丙炔C3H4

0.3633

1.7870

0.421

丙烯C3H6

0.3659

1.8770

0.398

丙烷C3H8

0.3990

1.9670

0.348

丁炔C4H6

0.3515

2.4130

0.322

丁烯C4H8

0.3723

2.5030

0.294

丁烷C4H10

0.4130

2.5930

0.255

戊烷C5H12

0.3916

3.2190

0.217

甲醇CH3OH

0.3277

1.4300

0.584

乙醇C2H6O

0.3398

2.0550

0.392

三氯乙烷C2H3Cl3

0.1654

5.9500

0.278

一氧化碳CO

0.2488

1.2500

1.000

二氧化碳CO2

0.2017

1.9640

0.737

氰气C2N2

0.2608

2.3220

0.452

氯气Cl2

0.1145

3.1630

0.858

氘气D2

1.7325

0.1798

0.998

氟气F2

0.1970

1.6950

0.931

四氯化锗GeCl4

0.1072

9.5650

0.267

续表1.气体质量流量转换系数表

锗烷GeH4

0.1405

3.4180

0.569

氢气H2

3.4224

0.0899

1.010

溴化氢HBr

0.0861

3.6100

氯化氢HCl

0.1911

1.6270

氟化氢HF

0.3482

0.8930

碘化氢HI

0.0545

5.707

0.999

硫化氢H2S

0.2278

1.5200

0.844

氦气He

1.2418

0.1786

氪气Kr

0.0593

3.7390

氮气N2

0.2486

氖气Ne

0.2464

0.9000

氨气NH3

0.5005

0.7600

一氧化氮NO

0.2378

1.3390

0.976

二氧化氮NO2

0.1923

2.0520

0.741

一氧化二氮N2O

0.2098

0.709

氧气O2

0.2196

1.4270

0.992

三氯化磷PCl3

0.1247

6.1270

0.358

磷烷PH3

0.2610

1.5170

0.691

五氟化磷PF5

0.1611

5.6200

0.302

三氯氧磷POCl3

0.1324

6.8450

四氯化硅SiCl4

0.1270

7.5847

0.284

四氟化硅SiF4

0.1692

4.6430

硅烷SiH4

0.3189

1.4330

0.599

二氯氢硅SiH2Cl2

0.1472

4.5060

0.412

三氯氢硅SiHCl3

0.1332

6.0430

0.340

六氟化硫SF6

0.1588

6.5160

0.264

二氧化硫SO2

0.14890

2.8580

0.687

四氯化钛TiCl4

0.1572

8.4650

0.206

六氟化钨WF6

0.0956

13.2900

0.215

氙气Xe

0.0379

5.8580

附录二气体质量流量转换系数使用说明

质量流量控制器/质量流量计出厂时一般用N2标定，实际使用中如果是其它气体，必要时可进行读数修正。

方法是以流量显示仪的流量乘以流量转换系数。

如是单组份气体，其转换系数可在我厂产品技术说明书查得；

如果多组份气体（假定由n种气体组成），请按下列公式计算其转换系数C：

基本公式：

C=0.3106N/p（Cp）

p为气体的密度

Cp为气体的定压比热

N为一固定系数（与该气体的组份有关）

对于混合气体：

N=N1（ω1/ωT）+N2（ω2/ωT）+…+Nn（ωn/ωT）

导出公式：

ω1……ωn为相应气体的流量

ωT…………为混合气体的流量

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