真空设备操作维护保养规程.docx

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真空设备操作维护保养规程

1．目的：

按规定进行设备的管理，指导正确操作、使用、维护和保养设备，保证生产，

提高产品质量，改进环境绩效，预防和减少事故发生。

2．范围：

本规程适用于真空泵及真空系统的使用和维护保养

3．操作规程

3.1旋片泵操作规程

3.1.1性能规范

型号：

2X－70

几何抽速：

70L/S；

极限压力：

1帕；

泵转速：

450转/分；

电机：

Y132L-4功率：

5.5KW；

电机转速：

1440转/分；

配用三角带；B/1600：

4根；

冷却水消耗量：

480L/H；

润滑油：

1#真空机械泵油（KK-1）储存量8Kg；

口径：

进气90mm排气60mm。

3.1.2操作规范

3.1.2.1起动前的准备

（1）检查皮带的松紧程度，起动前可以松一些，起动后调节底座上的螺栓，慢慢拉紧，以减少起动力矩。

（2）检查各部分有无松动现象，电机转向是否同泵的要求符合。

（3）检查油箱内的油位是否在视镜的两条油标线之间。

（4）对于长期未工作的泵，起动前应间断起动电机，检查是否灵活。

（5）检查冷却水是否正常（管路上水压表水压≤0.2－0.3MPa）、润滑油是否正常。

3.1.2.2起动

（1）打开冷却水阀。

（2）合上电源的开关，起动电机。

（3）泵启动后，再缓慢打开进气阀，以免泵的负荷急剧增加。

3.1.2.3停车

停泵时应先关断进气口阀门，打开放弃阀法对泵放气。

3.1.3注意事项

3.1.3.1应经常注意油位及油的清洁，新泵工作150小时后换油一次，以后每2-3个月换油

一次，如使用条件不好，真空度下降，可以缩短换油时间。

3.1.3.2应经常保持泵及泵房的干燥清洁。

3.1.3.3注意泵温及冷却水和油的温度，水温在20-40℃之间，不应超过40℃，即泵温不超

过环境温度加上40℃。

3.1.3.4润滑油应符合要求，否则达不到所要求的真空度。

3.1.3.5入停车后泵温要下降至5℃以下时，泵内冷却水必须除净。

3.2罗茨真空泵操作规程

3.2.1性能规范

型号：

RTO,300S;

抽气速率：

300L/S；

极限压力：

0.6帕；

进排气口径：

160mm/100mm

配用电机：

3KW

3.2.2操作规范

3.2.2.1起动前准备

（1）检查冷却水管是否畅通无阻（管路上水压表水压≤0.2MPa）。

（2）检查两端盖内的润滑是否足够，齿轮箱侧油位应以寖没3～4个齿高度为宜。

电机侧

油位应以寖没1/3～1/2油窗高度为宜。

润滑油封的油杯油位应在油杯高度的1/3～1/2之间。

（3）如果吸入气体中有粉尘或其它金属粉末，应在进气口前加装防尘或过滤装置，如果

吸入气体有腐蚀性，必须采取中和措施。

（4）检查各部分有无松动现象，较长时间不用后，应拆下旁通溢流阀，检查有无锈死。

（5）检查电机转向是否同泵体上的箭头一致。

3.2.2.2起动

（1）起动前级泵。

（2）打开本泵的进气阀门。

（3）打开冷却水阀门，当容器压力达到工艺规定压力时，起动本泵。

（4）泵运转时应平稳，转子不得有冲击声。

（5）泵的轴封处不得有漏油现象。

（6）泵在运转过程中如局部升温过大，电流计读数突然发生变化，产生不规则的噪声或

其它异常现象，应立即停泵检查。

3.2.2.3停泵

（1）停泵时，应先停罗茨泵，再停前及泵，否则会导致罗茨泵出口压力升高，负荷增大

而可能烧坏罗茨泵电机或损坏罗茨泵。

或会导致前级泵倒转，前级泵泵油倒灌入管道或罗

茨泵，导致前级泵缺油，并有可能污染被抽环境。

（2）停止本泵并关闭排气阀门。

（3）停止前级泵。

（4）关闭冷却水进水阀。

3.2.3注意事项

3.2.3.1应经常保持使用环境清洁干净。

3.2.3.2应经常注意各部件的润滑情况，如发现润滑油不足时，应及时补充，如发现润滑油

不清洁时，应及时更换。

3.2.3.3润滑油应符合要求，否则达不到所要求的真空度。

3.3扩散泵操作规程

3.3.1性能规范

型号：

KT600600表示吸气口径；

抽气速率：

≥16000L/S；

极限真空：

6.5X10-5Pa；

加热功率：

9KW；

装油量：

6-7L（ks-3）；

耗水量：

≤1000L/H；

进口/出口：

600/150。

3.3.2操作规范

3.3.2.1起动前准备

（1）检查冷却水管是否畅通无阻（管路上水压表水压≤0.2～0.3MPa）；

（2）起动前，高真空阀门应处于关闭位置。

3.3.2.2起动

（1）起动前级泵，抽出扩散泵内的气体。

（2）接通冷却水（注意：

急冷水套在扩散泵停机时才能通水）。

（3）接通扩散泵加热电源，对扩散泵加热60min后，当容器压力达到工艺规定压力时，

打开高真空阀门，扩散泵可以进入正常工作状态。

3.3.2.3停机

（1）关闭高真空阀门；

（2）切断扩散泵加热其电源，停止加热。

（3）当泵底温度≤60℃关闭管道阀门。

（4）关闭前级泵，并向前级泵充气，以防返油。

（5）停止对扩散泵供水。

3.3.3注意事项

3.3.3.1扩散泵出水温度应≤40℃，否则应立即检查处理。

3.3.3.2如果扩散泵在正常运行中突然停电停水，应按照以下步骤处理：

（1）立即关闭高真空阀和前级阀；

（2）迅速抽出加热器；

（3）马上接通急冷水路，并向扩散泵底部淋水；

3.3.3.3泵正常工作时，如性能突然变坏，应检查加热器是否损坏。

3.3.3.4泵在长期工作后，性能如果下降，应拆泵检查油量及泵油氧化情况，酌情加油或换

油（扩散泵专用油），在换油时泵体及泵芯要使用无水酒精或丙酮清洗，然后在80~100℃

温度范围内烘干。

并每次在装配时注意检察泵的出口管道内挡油板的紧固螺栓，确保其无

松动安全可靠。

3.3.3.5一般情况下，泵体应保持真空状态，以免大气进入泵内造成扩散泵油的氧化。

3.4分子泵操作规程

3.4.1性能规范

型号：

TYFB-1600

抽气速率：

1600（L/S）

极限真空：

＜8×10-8/＜5×10-7

电机转数：

24000（rpm）

冷却水流量：

1（L/min）

3.5真空镀膜机操作规程

3.5.1开停机顺序：

3.5.1.1开机前，检查水，电，气是否符合要求，（水压表水压≤0.2－0.3MPa），（气压表气

压≤0.4－0.6MPa）。

3.5.1.2开机：

打开真空机和流量控制器电源开关，依次按下“维持泵”、“维持阀”、“扩散泵”、

按钮。

大约30分钟后，扩散泵正常工作。

（当分子泵电源频率达到225Hz时分子泵方

能正常工作）。

3.5.1.3在扩散加热同时打开炉门检查炉内绝缘情况，清理炉内卫生。

装工件检查炉门密封

圈，关炉门。

3.5.1.4开主抽泵、开粗抽阀门。

3.5.1.5至真空度到400Pa时（此时罗茨泵转子为静止状态）。

3.5.1.6开前级阀。

3.5.1.7启动罗茨泵，

3.5.1.8至真空度到6.7Pa时，关预抽阀、开前级阀、关罗茨泵，开精抽阀。

3.5.1.9至真空度到7.5×10-3Pa时开始镀膜。

3.5.1.10运行工艺流程

3.5.1.11镀膜：

开流量计按工艺要求充入气体、对工件进行离子清洗（清洗时间有不同工艺而定）。

3.5.1.12关闭离子清洗真空度恢复至本底真空（7.5×10-3Pa）。

3.5.1.13调整气体开始镀膜，（按工艺要求镀膜）。

3.5.1.14关机

3.5.1.15关闭真空计、关闭精抽阀。

3.5.1.16打开放气阀。

3.5.1.17放气结束。

3.5.1.18打开箱体大门。

3.5.1.19取出工件

3.5.1.20装入工件。

3.5.1.21关闭放气阀。

3.5.1.22重复上述过程。

3.5.2设备维护

3.5.2.1日常保养

（1）开机前，检查水、电、气是否符合要求。

（开启磁控靶前，检查靶水开关，每次开炉

门后，用酒精摖拭门胶条，并用吸尘器清理真空室内部。

）

（2）检查循环水路各接口，保证无渗漏。

（3）检查循环水路进水温度是否在5－250C。

回水温度是否低于350C。

进水压力为2.5kg/cm3－3.0kg/cm3

（4）检查水流量开关是否正常工作。

（5）检查压缩机管路各接口，保证无压缩空气外漏。

（6）检查气泵和储气罐、放掉内部的冷凝水。

（7）设备运转时检查机械泵、罗茨泵、扩散泵有无过热和异响。

（8）在设备升温、镀膜过程中：

检查设备阀门，侧壁，后壁，高阀等有无局部发热现象。

（9）检查门密封条有无伤痕。

（10）用吸尘器仔细清洁炉体内部。

（11）视污染情况更换观察窗保护片。

（12）检查机械泵油位是否正常。

（13）检查罗茨泵油杯油量，保证油杯量在1/2－1/3油杯高度即可。

（14）检查分子泵油池油量，保证油池油量处于油标上下限之间。

（15）检查溅射靶与罐体之间的绝缘度，绝缘电阻大于200MΩ为合格。

（16）检查转架绝缘度；绝缘电阻大于200MΩ为合格。

（17）注意记录隔日真空，养成良好的习惯，便于及时发现设备的问题。

3.5.2.2定期维护

下面的工作应每周进行一次：

（1）检查水路系统内各水表，阀门等出接口有无渗漏。

（2）检查压缩空气管路及气三联件，查看油杯中油量是否合适。

及时放掉杯中残余水分。

（3）使用压缩空气清洁机械泵外部，防止灰尘过厚影响散热。

（4）以压缩空气和吸尘器清洁炉体内部。

（5）清洁观察窗玻璃。

（6）检察各电源线是否有松动、发热现象。

（7）检查循环水各阀门接口有无渗漏。

3.5.2.3下面的工作应每月一次：

（1）以压缩空气和吸尘器较为彻底的清洁炉体内部，内衬。

（2）检查罗茨泵泵油状况，如发现油质变色，変烯，乳化等情况，应立即换油。

（3）清理机械泵口过滤网。

（4）检查各靶材消耗状况。

每更换一次靶材，用特斯拉计测量靶磁场强度。

（当心强磁场、手机、手表等精密仪器及电气请远离！

！

带有心脏起搏器的人员请远离！

！

）。

3.5.2.4下面工作应三个月进行一次

（1）以压缩空气清洁循环水路、设备冷却水套。

（2）更换机械泵油（或者考虑使用1000小时）。

（3）更换机械泵油过滤器。

（4）请打开各电源柜及控制柜外罩，以压缩空气清洁内部，检查紧固螺钉是否松动，机

壳接地是否良好，各元器件有无异常。

3.5.2.5下面的工作应六月一次：

（1）将全部屏蔽板拆出清洗，彻底清洗炉体内部，个别膜层较厚部分，可用抛光布轮或

砂轮抛光清理。

（2）将高阀打开，检查清洗阀板下面。

（3）清洗抽气主管道。

（4）清洗充气阀过滤器。

（5）更换转动轴封。

（6）更换前门密封圈。

（7）更换炉体加热器密封圈。

（8）检查机械泵皮带松紧是否适当，每半年调整一次。

3.5.2.6下面的工作应一年进行一次：

（1）更换机械泵排气过滤网。

（2）检查PLC电池电量。

（3）更换分子泵润滑油（或者每4000小时）。

（4）检查设备动力线是否有老化现象，及时更换。

大修：

视设备工作情况，每两至三年大修一次，彻底清理炉体，更换全部真空系统密封圈，

检修全套设备大修完成后的设备性能应该接近全新设备。

。

4．维护保养

4.1真空系统较长时间以后，极限真空度下降，应进行对滑阀泵、罗茨泵、扩散泵进行检

修。

必要时也应对系统、管道、阀门和电动机等加以清理洗、检修。

4.2泵不用时，应用橡皮塞把进气口塞好，以免赃物和硬质东西落入泵内。

4.3冷却水水压应保持0.1MP～0.2MPa之间，出水温度≤45℃。

4.4压缩空气压力在0.4Mpa～0.5Mpa之间。

4.5每次开机前，要检查保护气的气