扩散CT工艺规程重点讲义资料Word文档下载推荐.docx
《扩散CT工艺规程重点讲义资料Word文档下载推荐.docx》由会员分享，可在线阅读，更多相关《扩散CT工艺规程重点讲义资料Word文档下载推荐.docx（12页珍藏版）》请在冰豆网上搜索。
4.7进入“Processinformation”界面（图8），选择相应的运行工艺名，在“Lotsinboat”中输入相关舟的信息，再点击“Finish”按钮。
图7图8
4.8进入“Summary”界面（图9），显示每一步输入的信息，核对无误后，点击“OK”，信息输入完成。
4.9在“Job”页面点击然“Run”按钮（图10），回到自动运行状态。
机械手自动送舟到SiC桨上，开始运行工艺。
图9图10
4.10当某一管的“Tubestate”（图11）显示蓝色时，需要人工输入信息，打开相应管的CESAR界面。
4.11在红色的对话框“Adjusttemperature?
”中（图12）输入需要修改的温度或默认值，再在键盘上点击“Enter”键。
图11图12
4.12在弹出的红色对话框“Adjustdiffusiontime?
”中（图13）输入需要修改的时间或默认值，再在键盘上点击“Enter”键。
4.13在弹出的红色对话框“Adjustdriveintime?
”（图14）中输入需要修改的时间或默认值，再在键盘上点击“Enter”键,信息输入完毕，桨自动送舟到石英管，开始扩散工艺。
图13图14
4.14当工艺运行完，自动取舟到“Storage”位置冷却；
冷却后“Slider”自动取舟到下料位置并伴有蜂鸣提示，进行取舟卸片和测试方块电阻；
再放上需要扩散的舟。
4.15同时CMI电脑弹出“BoatInfo”界面（图15），点击“Unloaddone”按钮，在软件中完成卸舟信息。
4.16进入“BoatInfoModeSelect”界面（图16），选择“Wafer（Productionwaferwithhostvalidation）”项，点击“OK”按钮
图15图16
4.17进入“MaterialLoading”界面（图27），在“Boat”输入舟编号，在“Lot”输入舟相关的信息，同时弹出“Recipe”项，选择相应的工艺名，点击“Loaddone”按钮，机械手自动上料，工艺运行开始
图17
5、工艺控制
5.1工艺参数及流程
扩散工艺温度：
（850±
10）℃；
POCL3源温:
20℃
R□：
多晶：
（待定）Ω／□）
操作状态
进炉
恒温
磷扩散
恒温（推进）
出炉
冷却
运行时间（min）
气体
N2
O2
小N2
流量（L/min）
5.2工艺测试及调试
5.2.1工艺测试主要是R□，所要设备是广州半导体四探针测试仪，使用方法如下：
打开电源开关，初次测量时，要预热15min使“R□”“I”“EXCH.1各个指示灯亮。
电流档位是0.1MA
把”I“的指示灯切换至R□/P：
检查各类指示灯是否正确，确保温度正常
无强光直射，无高频干扰
把”R□/P“的指示灯切换至I：
看电流值是否是4.530MA，如果不是那用手轻轻旋转调节按钮使电流值为4.530MA。
电流校准后，把”I“的指示灯切换至R□/P。
待R□数值稳定时读取数值。
5.2.2调试：
工艺人员根据测试的不均匀度计算不均匀度（不均匀度=［（R□max-R□min）/（R□max+R□min）]*100％,要求单片<
7%,单管<
10%）,炉管5个不同温区的R□的大小，调节温度，气流量，或扩散部时间。
原则是R□小，温度、时间减少，反之，亦然，主要方式还是温度调节。
根据温度与电阻的关系按照1：
1的比例调整.（分清要调整的温区和要调控的点）最后保存设置，具体情况，具体对待。
在红色的对话框“Adjusttemperature?
”中（步骤4.11，图12）输入需要修改的温度，在键盘上点击“Enter”键。
5.2.3异常处理
5.2.3.1色斑原因与分析解决：
手机印：
坚强监督，搞好工艺卫生；
滚轮印：
表现-有规律性的出现在滚轮走过的线路；
反馈清洗间，清洗或更换滚轮；
片子不干：
表现-片状、区域性及片子边沿的滚轮处甚至绒面被破坏；
分析-三氯氧磷遇水水解成偏磷酸，可能导致片子出现蓝色色斑（片子不充分干）甚至绒面被破坏（有水珠）；
反馈清洗间，调整或更换风刀。
偏磷酸滴落：
表现-片状、条状且绒面被破坏；
定期清洗扩散管，及时清理偏磷酸。
5.2.3.2电阻偏大\小
电阻值与扩散时间、扩散温度、源量与源损失及气流配比等因素有关。
电阻偏大的分析解决：
温度偏低;
提升淀积或扩散步温度；
小氮流量偏小：
分析-扩散小氮流量小或恒温箱温度低于设定值（20度）；
增大小氮流
量。
石英制品的清洗：
分析-使用没有做过饱和的石英制品，造成部分源量被石英制品吸收，
定期清洗和饱和。
5.2.3.3炉口扩散不到\不均匀
扩散不到的分析解决
大氮流量偏小：
表现-整片发白；
分析-大氮一方面作为平衡气体平衡管内气流，另一方
面作为携带气体将源携带到炉口；
大氮流量过小不足以将源携带到炉口；
增加大氮流量。
抽风过大:
分析-尾气抽风是将废气排出；
抽风过大时，源来不及与硅
片反应就被抽掉，造成炉口片子扩散不到；
减小尾气抽风；
在炉口加外挡板也能有效调
整炉口扩散不到的现象。
扩散不到的做返工处理。
扩散不均匀：
分析-气流不均匀造成气流不畅，导致整片淀积不均匀；
加匀流板、调整
气流配比及流量（附气流配比试验报告）。
抽风过大：
表现-靠近抽风管后处明显比其他地方白；
分析-抽风过大，靠抽风口处的源
量比其他处相对少；
减小抽风.
上述异常问题需要做返工处理。
6石英制品处理
名称
使用寿命（月）
HF溶液（1:
10）侵泡小时数
饱和小时数（个）
备注：
如发现石英制品被污染，及时停用，并按使用寿命到期的处理方式处理。
石英管
2
3
8
石英舟
1
4
均流板
舟托
7、注意事项：
7.1禁止直接用手触摸石英器具和硅片。
7.2发现石英舟、石英管有污染应停止作业，处理后再做。
7.3加热时“上电开”与“加热开”之间必须有2-3秒的间隔。
7.4片子进炉后要定时核查炉子运行状态及气体流量，以免发生异常动作。
7.5关闭设备时，先正常关闭计算机，再按“上电”键关闭电源。
7.6三氯氧磷扩散决定太阳能电池的性能，故必须严格按工艺要求进行操作，炉管清洗后必须按规定做好检查项目及做R□先行片，如先行片不合要求，必须重做先行，不能冒险全部投入作业。
7.7经常检查三氯氧磷源瓶内的源量，低于1／４必须更换。
7.8检查放置三氯氧磷源瓶的恒温槽的温度设定值，注意恒温槽内的水量，及时添加，以保证水位高于瓶内的液面。
保证水温恒温于20C。
7.9控制柜面板上的“消声”按钮是当系统出现故障，发出声光报警后，按下它，蜂鸣器不再发声。
但此时并不代表故障已经解除，必须在排除故障后将其松开。
7.10“急停”按钮是用于舟的紧急制动，并不会切断扩散炉的电源。
8、生产设备与工艺要求：
（见附件，没有的后补）
编制
会审/校审
审核
批准
附件
设备、仪器
工具、夹具
设备
仪器规格或代号
名称
规格或代号
高温扩散炉
石英管清洗机
石英管保管柜
超净柜
超净工作台
四探针测试仪
超净吸尘机
Centrotherm
广州半导体
扩散石英管
石英门
隔热板
源瓶
扩散石英舟
小氮进气管
舟叉套管
石英杆
石英套管
材料名称
规格
动力
硅片
HF酸
三氯氧磷
氮气
氧气
156×
156mm（多晶）
分析纯
电子纯
99.999％
99.96％
1～50HZ220V
真空：
600mmHg
冷却水：
20℃
温度：
（23±
3）℃
湿度：
（50±
10）％
工艺卫生等级
预防措施
1万级
穿戴工作服、鞋、帽
操作时戴橡胶手套、口罩
升级会员 