电感式位移传感器的设计文档格式.docx

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3．8A/D转换及显示电路……………………………………………28

4．软件局部的设计.................................................................30

4．1本系统设计的程序流程图………………………………………..30

4．2单片机8051的C语言程序清单…………………………………31

5、参考文献……………………………………………………33

摘要

随着现代制造业的规模逐渐扩大，自动化程度愈来愈高。

要保证产品质量，对产品的检测和质量管理都提出了更高的要求。

我们为此要设计一种精度的检测位移的仪器。

电感测微仪是一种分辨率极高、工作可靠、使用寿命很长的测量仪,应用于微位移测量已有比拟长的历史.国外生产的电感测微仪产品比拟成熟,精度高、性能稳定,但价格昂贵.国生产的电感测微仪存在漂移大、工作可靠性不高、高精度量程围小等问题,一直与国外的传感器水平保持一定的差距.在超精细加工技术迅猛开展的今天,这种测量精度越来越显得不适应加工技术开展的需求.该文针对这些问题,对电感传感器测量电路进展了一定的设计和改良.对电感测微仪的正弦波生成电路、交流放大电路、带通滤波电路、相敏检波电路等进展了分析和相应的设计。

关键词:

正弦波发生器，相敏检波，零点剩余电压。

电感式位移传感器实例

1．绪论

1.1引言

测量技术是实现超精加工的前提和根底。

精细加工和超精细加工过程中不仅要对工件和外表质量进展检验，而且要检验加工设备和根底元部件的精度，如果没有权威性的测控技术和仪器，就不能证实所到达的加工质量。

加工和检测是不可分的，测量是对加工的支持，无论多么精细的加工，都必须用更为精细的测量技术作保障。

因此，位移测量的精细和超精细测量已经成为整个超精细加工体系中一项至为关键的技术。

检测技术和装置是自动化系统中不可缺少的组成局部。

任何生产过程都可以看作是“物流〞和“信息流〞组合而成，反映物流的数量、状和趋向的信息流那么是人们管理和控制物流的依据。

人们为了有目的地进展控制，首先必须通过检测获取有关信息，然后才能进展分析判断以便实现自动控制。

所谓自动化，就是用各种技术工具与方法代替人来完成检测、分析、判断和控制工作。

一个自动化系统通常由多个环节组成，分别完成信息获取、信息转换、信息处理、信息传送及信息执行等功能。

在实现自动化的过程中，信息的获取与转换是极其重要的组成环节，只有准确及时地将被控对象的各项参数检测出来并转换成易于传送和处理的信号，整个系统才能正常地工作。

因此，自动检测与转换是自动化技术中不可缺少的组成局部。

检测系统或检测装置目前正迅速地由模拟式、数字式向智能化方向开展。

带有微处理机的各种智能化仪表已经出现，这类仪表选用微处理机做控制单元，利用计算机可编程的特点，使仪表的各个环节自动地协调工作，并且具有数据处理和故障诊断功能，成为一代崭新仪表，把检测技术自动化推进到一个新水平。

1.2传感器介绍

传感器是获取被测量信息的元件，其质量和性能的好坏直接影响到测量结果的可靠性和准确度，衡量其质量的特性有许多，主要包括静态和动态两个方面。

当被测量不随时间变化或变化很慢时，可以认为输入量和输出量都和时间无关。

表示它们之间关系的是一个不含时间变量的代数方程，在这种关系的根底上确定的性能参数为静态特性；

当被测量随时间变化很快时，就必须考虑输人量和输出量之间的动态关系。

这时，表示它们之间关系的是一个含有时间变量的微分方程，与被测量相对应的输出响应特性称为动态特性。

位移传感器主要有以下几种：

电容式位移传达室感器、差动式电感受式位移传感器和电阻应变式位移传感器一般用于小位移的测量〔几微米至毫米〕；

差动变压器用于中等位移的测量，这种传感在工业测量中应用得最多；

电阻电位器式传感器适用于较大围位移的测量，但精度高；

感应同步器、光栅、磁栅、激光位移传感器等用于精细检测系统的位移的测量，测量精度高〔可达1pm）量程也可大到几米。

电容式位移传感器根据被测物体的位移变化转换为电容变化的一种传感器，一般用于高频振动微小位移的测量，与电位式、电感式等多种位移传感器相比，它的优点是：

构造简单；

能实现非接触测量，只要极小的输入力就能使支极板移动，并且在移动过程中没有摩擦和反作用力；

灵敏度高、分辨力强，能敏感±

0.01um甚至更小的位移；

动态响应好；

能在恶劣环境中〔高、低温，各种形式的辐射等〕工作。

但它也存在着一些缺点，主要是输出特性的非线性和对绝缘电阻要求比拟高，为了克制寄生电容的影响，降低电容的阻，要求对传感器及输出导线采取屏蔽措施和采用较高的电源频率等。

光栅是一种新型的位移检测元件，是把位移变为数字量的位移-数字转换装置。

它主要用于高精度直线位移和角位移的数字检测系统。

其测量准确度高〔可达1um〕光栅传感器具有抗电磁干扰、耐久性好、准分布式传感、绝对测量、尺寸小、灵敏度高、精度高、频带宽、信噪比高等优点，是构造局部安康监测最理想的智能传感元件之一，可以直接或间接〔通过某种封装或灵巧装置〕监测应变、温度、裂缝、位移、振动、腐蚀、应力等物理量，局部取代传统的测试手段，广泛用于土木工程、航空航天工业、船舶工业、电力工业、石油化工、核工业、医学等领域。

电感式位移传感器是把被测移量转换为线圈的自感或互感的变化，从而实现位移的测量的一类传感器。

它具有灵敏度高、分辨力大，能测出±

0.1um甚至更小的线性位移变化和0.1度的角位移,输出信号比拟大,电压灵敏度一般每毫米可达几百毫伏,因此有利于信号的传输.测量围为±

25um-50mm,测量精度与电容式位移传达室感器差不多,但是它的频率响应较低,不宜于高频动态测量。

1.3研究的根本容，拟解决的主要问题：

该智能电感测微仪的硬件电路主要包括电感式传感器、正弦波振荡器、放大器、相敏检波器及单片机系统。

正弦波振荡器为电感式传感器和相敏检波器提供了频率和幅值稳定的鼓励电压，正弦波振荡器输出的信号加到测量头中。

工件的微小位移经电感式传感器的测头带动两线圈衔铁移动，使两线圈的电感量发生相对的变化。

当衔铁处于两线圈的中间位置时，两线圈的电感量相等，电桥平衡。

当测头带动衔铁上下移动时，假设上线圈的电感量增加，下线圈的电感量那么减少；

假设上线圈的电感量减少，下线圈的电感量那么增加。

交流阻抗相应地变化，电桥失去平衡从而输出了一个幅值与位移成正比，频率与振荡器频率一样，相位与位移方向相对应的调制信号。

此信号经放大，由相敏检波器鉴出极性，得到一个与衔铁位移相对应的直流电压信号，经A/D转换器输入到单片机，经过数据处理进展显示。

电感式传感器测位移时，由于线圈中的电流不为零，因而衔铁始终承受电磁吸力，会引起附加误差，而且非线性误差较大；

另外，外界的干扰（如电源电压频率的变化，温度的变化）也会使输出产生误差。

所以在实际工作中常采用差动形式，这样既可以提高传感器的灵敏度，又可以减小测量误差。

两个完全一样的单个线圈的电感式传感器共用一个活动衔铁就构成了差动式电感传感器。

采用差动式构造除了可以改善线性、提高灵敏度外，对外界影响，如温度的变化、

电源频率的变化等也根本上可以相互抵消，衔铁承受的电磁吸力也较小，从而减小了测量误差。

零点剩余电压也是反映差动变压器式传感器性能的重要指标。

理想情况是在零点时，两个次级线圈感应电压大小相等方向相反，差动输出电压为零实际情况是两组次级线圈的不对称铁心的B-H曲线的非线性，以及鼓励电源存在的高次谐波等因素引起零点处U≠0知。

其数值约为零点几毫伏，有时甚至可达几十毫伏，并且无论怎样调节衔铁的位置均无法消除。

零点剩余电压的存在，使传感器的灵敏度降低，分辨率变差和测量误差增大。

克制方法主要是提高次级两绕组的对称性（包括构造和匝数等），另外输出端用相敏检测和采用电路补偿方法，可以减小零点剩余电压影响。

2．整体的方框图与工作原理

电感式位移传感器元件由静止的螺管线圈和可在线圈上移动的衔铁测头组成,它依据电磁感应原理工作.当线圈由高频电源驱动时,其两路引出端将输出两个感应电势,这些信号经信号检出电路综合后,形成在幅值及相位上随测头位置而变的电压信号,代表了位移量的大小和方向.此信号再经放大、滤涉及整形等初步调理后，由A/D转换器转换为对应的数字量送入微控制器。

微控制器对它进展信号处理、存储以及显示，获得较高精度的测量结果，然后按系统组成态设定的输出方式，以要求的信号形式将测量结果输出。

系统的整体方框图如图1所示。

图1系统的整体方框图

3．各个单元电路的设计

3．18051单片机简介

目前，8051单片机在工业检测领域中得到了广泛的应用，因此我们可以在许多单片机应用领域中，配接各种类型的语音接口，构成具有合成语音输出能力的综合应用系统，以增强人机对话的功能。

89C51是Intel公司生产的一种单片机，在一小块芯片上集成了一个微型计算机的各个组成局部。

每一个单片机包括：

一个8位的微型处理器CPU；

一个256K的片数据存储器RAM；

片程序存储器ROM；

四个8位并行的I/O接口P0-P3，每个接口既可以输入，也可以输出；

两个定时器/记数器；

五个中断源的中断控制系统；

一个全双工UART的串行I/O口；

片振荡器和时钟产生电路，但石英晶体和微调电容需要外接。

最高允许振荡频率是12MHZ。

以上各个局部通过部总线相连接。

下面简单介绍下其各个局部的功能。

中央处理器CPU是单片微型计算机的指挥、执行中心，由它读人用户程序，并逐条执行指令，它是由8位算术／逻辑运算部件（简称ALu）、定时／控制部件，假设干存放器A、B、B5w、5P以及16位程序计数器（Pc）和数据指针存放器（DM）等主要部件组成。

算术逻辑单元的硬件构造与典型微型机相似。

它具有对8位信息进展+、-、x、/四那么运算和逻辑与、或、异或、取反、清“0〞等运算，并具有判跳、转移、数据传送等功能，此外还提供存放中间结果及常用数据存放器。

控制器部件是由指令存放器、程序计数器Pc、定时与控制电路等组成的。

指令存放器中存放指令代码。

枷执行指令时，从程序存储器中取来经译码器译码后，根据不同指令由定时与控制电路发出相应的控制信号，送到存储器、运算器或I／o接口电路，完成指令功能。

程序计数器Pc程序计数器Pc用来存放下一条将要执行的指令，共16位．可对以K字节的程序存储器直接寻址c指令执行完毕后，Pc计数器自动增加，指向下一条要执行的指令地址。

CPU功能，总的来说是以不同的方式，执行各种指令。

不同的指令其功自略异。

有的指令涉及到枷各存放器之间的关系；

有的指令涉及到单片机核心电路部各功能部件的关系；

有的那么与外部器件如外部程序存储器发生联系。

事实上，cRJ是通过复杂的时序电路完成不同的指令功能。

所谓cRJ的时序是指控制器控照指今功能发出一系列在时间上有一定次序的信号，控制和启动一局部逻辑电路，完成某种操作。

一．时序

1．时钟电路8051片设有一个由反向放大器所构成的振荡电路，XTALI和XTAL2分别为振荡电路的输入端和输出端。

时钟可以由部方式产生或外部方式产生。

采用部方式时，在C1和C2引脚上接石英晶体和微调电容可以构成振荡器，振荡频率的选择围为1．2—12MHZ在使用外部时钟时，XTAL2用来输入外部时钟信号，而XTALI接地。

2．时序MGL5l单片机的一个执器周期由6个状态（s1—s6）组成，每个状态又持续2个接荡周期，分为P1和P2两个节拍。

这样，一个机器周期由12个振荡周期组成。

假设采用12MHz的晶体振荡器，那么每个机器周期为1us，每个状态周期为1／6us；

在一数情况下，算术和逻辑操作发生在N期间，而部存放器到存放器的传输发生在P2期间。

对于单周期指令，当指令操作码读人指令存放器时，使从S1P2开场执行指令。

如果是双字节指令，那么在同一机器周期的s4读人第二字节。

假设为单字节指令，那么在51期间仍进展读，但所读入的字节操作码被忽略，且程序计数据也不加1。

在加完毕时完成指令操作。

多数Mcs—51指令周期为1—2个机器周期，只有乘法和除法指令需要两个以上机器周期的指令，它们需4个机器周期。

对于双字节单机器指令，通常是在一个机器周期从程序存储器中读人两个字节，但Movx指令例外，Movx指令是访问外部数据存储器的单字节双机器周期指令，在执行Movx指令期间，外部数据存储器被访问且被选通时跳过两次取指操作。

二．引脚极其功能

MCS—51系列单片机的40个引脚中有2个专用于主电源引脚，2个外接晶振的引脚，4个控制或与其它电源复用的引脚，以及32条输入输出I/O引脚。

下面按引脚功能分为4个局部表达个引脚的功能。

1、电源引脚Vcc和Vss

Vcc〔40脚〕：

接+5V电源正端；

Vss〔20脚〕：

接+5V电源正端。

2、外接晶振引脚XTAL1和XTAL2

XTAL1〔19脚〕：

接外部石英晶体的一端。

在单片机部，它是一个反相放大器的输入端，这个放大器构成采用外部时钟时，对于HMOS单片机，该引脚接地；

对于CHOMS单片机，该引脚作为外部振荡信号的输入端。

XTAL2〔18脚〕：

接外部晶体的另一端。

在单片机部，接至片振荡器的反相放大器的输出端。

当采用外部时钟时，对于HMOS单片机，该引脚作为外部振荡信号的输入端。

对于CHMOS芯片，该引脚悬空不接。

3、控制信号或与其它电源复用引脚

控制信号或与其它电源复用引脚有RST/VPD、ALE/P、PSEN和EA/VPP等4种形

式。

〔A〕．RST/VPD〔9脚〕：

RST即为RESET，VPD为备用电源，所以该引脚为单片机的上电复位或掉电保护端。

当单片机振荡器工作时，该引脚上出现持续两个机器周期的高电平，就可实现复位操作，使单片机复位到初始状态。

当VCC发生故障，降低到低电平规定值或掉电时，该引脚可接上备用电源VPD〔+5V〕为部RAM供电，以保证RAM中的数据不丧失。

〔B〕．ALE/P〔30脚〕：

当访问外部存储器时，ALE〔允许地址锁存信号〕以每机器周期两次的信号输出，用于锁存出现在P0口的低

〔C〕．PSEN（29脚）:

片外程序存储器读选通输出端,低电平有效。

当从外部程序存储器读取指令或常数期间，每个机器周期PESN两次有效，以通过数据总线口读回指令或常数。

当访问外部数据存储器期间，PESN信号将不出现。

〔D〕．EA/Vpp〔31脚〕：

EA为访问外部程序储器控制信号，低电平有效。

当EA端保持高

电平时，单片机访问片程序存储器4KB〔MS—52子系列为8KB〕。

假设超出该围时，自动转去执行外部程序存储器的程序。

当EA端保持低电平时，无论片有无程序存储器，均只访问外部程序存储器。

对于片含有EPROM的单片机，在EPROM编程期间，该引脚用于接21V的编程电源Vpp。

4.输入/输出〔I/O〕引脚P0口、P1口、P2口及P3口

（A）.P0口〔39脚～22脚〕：

P0.0～P0.7统称为P0口。

当不接外部存储器与不扩展I/O接口时，它可作为准双向8位输入/输出接口。

当接有外部程序存储器或扩展I/O口时，P0口为地址/数据分时复用口。

它分时提供8位双向数据总线。

对于片含有EPROM的单片机，当EPROM编程时，从P0口输入指令字节，而当检验程序时，那么输出指令字节。

（B）.P1口〔1脚～8脚〕：

P1.0～P1.7统称为P1口，可作为准双向I/O接口使用。

对于MCS—52子系列单片机，P1.0和P1.1还有第2功能：

P1.0口用作定时器/计数器2的计数脉冲输入端T2；

P1.1用作定时器/计数器2的外部控制端T2EX。

对于EPROM编程和进展程序校验时，P0口接收输入的低8位地址。

（C）.P2口〔21脚～28脚〕：

P2.0～P2.7统称为P2口，一般可作为准双向I/O接口。

当接有外部程序存储器或扩展I/O接口且寻址围超过256个字节时，P2口用于高8位地址总线送出高8位地址。

对于EPROM编程和进展程序校验时，P2口接收输入的8位地址。

（D）.P3口〔10脚～17脚〕：

P3.0～P3.7统称为P3口。

它为双功能口，可以作为一般的准双向I/O接口，也可以将每1位用于第2功能，而且P3口的每一条引脚均可独立定义为第1功能的输入输出或第2功能。

P3口的第2功能见下表

单片机P3.0管脚含义

引脚

第2功能

P3.0

RXD〔串行口输入端0〕

P3.1

TXD〔串行口输出端〕

P3.2

INT0〔部中断0请求输入端，低电平有效〕

P3.3

INT1〔中断1请求输入端，低电平有效〕

P3.4

T0〔时器/计数器0计数脉冲端〕

P3.5

T1〔时器/计数器1数脉冲端〕

P3.6

WR〔部数据存储器写选通信号输出端，低电平有效〕

P3.7

RD〔部数据存储器读选通信号输出端，低电平有效〕

综上所述，MCS—51系列单片机的引脚作用可归纳为以下两点：

1）.单片机功能多，引脚数少，因而许多引脚具有第2功能；

2）.单片机对外呈3总线形式，由P2、P0口组成16位地址总线；

由P0口分时复用作为数据总线。

3.2电感式位移传感器的根本原理

根据磁路的根本知识，线圈的自感可按下式计算

L=N2/Rm

其中N—线圈的匝数,Rm-磁路总磁阻数,在气隙厚度较小的情况下，可以认为磁场是均匀的，其中L为线圈自感，N为各段导磁体的磁导率线圈的电感跟气隙厚度、气隙的面积、导磁体的长度等有关。

根据改变空气隙的厚度、空气隙的面积、磁体的长度来实现电感的变化，从而实现测量的作原理，自感式电感传感器可分为气隙型、截面型、螺管型。

气隙型传感器灵敏度高，对后续测量电路的放大倍数要求低，它的缺点是非线性严重，为了限制非线性，示值围只能较小，由于衔铁在运动方向上受铁心的限制，故自由行程小。

截面型具有较好的线性，自由行程较大，制造装配比拟方便，但灵敏度较低。

螺管型那么构造简单，制造装配容易:

由于空气隙大，磁路的磁阻高，因此灵敏度低，但线性围大;

此外，螺管型还具有自由行程可任意安排、制造方便等优点，在批量生产中的互换性较好，这给测量仪器的装配、调试、使用带来很大的方便，尤其在使用多个测微仪组合测量形状的时候。

因为螺管型的这些优点，所以我们采用螺管型差动式电感测头。

图为螺管型电感式传感器的构造图。

螺管型电感传感器的衔铁随被测对象移动，线圈磁力线路径上的磁阻发生变化，线圈电感量也因此而变化。

线圈电感量的大小与衔铁插入线圈的深度有关。

设线圈长度为l、线圈的平均半径为r、线圈的匝数为N、衔铁进入线圈的长度la、衔铁的半径为

ra、铁心的有效磁导率为μm，那么线圈的电感量L与衔铁进入线圈的长度la的关系可表示为

交流电桥是电感式传感器的主要测量电路，它的作用是将线圈电感的变化转换成电桥电路的电压或电流输出。

前面已提到差动式构造可以提高灵敏度，改善线性，所以交流电桥也多采用双臂工作形式。

通常将传感器作为电桥的两个工作臂，电桥的平衡臂可以是纯电阻，也可以是变压器的二次侧绕组或紧耦合电感线圈。

图二是交流电桥的几种常用形式如图3所示。

电阻平衡臂电桥如图二a所示。

Z1、Z2为传感器阻抗。

高;

L1=L2=L;

那么有Z1=Z2=Z=R′+jwL,另有R1=R2=R。

由于电桥工作臂是差动形式，那么在工作时，Z1=Z+△Z和Z2=Z—△Z，当ZL→∞时，电桥的输出电压为

3.3电感测头的构造

图三是轴向式电感测头的构造图。

测头10用螺钉宁在测杆8上，测杆8可在钢球导轨7上作轴向运动。

测杆上端固定在衔铁3.线圈4放在圆筒形磁心2中，两线圈差动使用，当衔铁过零点上移时，上线圈电感增加，下线圈电感量减少，两线圈输出由引线1接至测量电路。

测量时，测头10与被测物体接触，当被测物体有微小位移时，侧头带动测杆8带动衔铁3在电感圈4中移动，使线圈电感值变化，通过引线接入测量电路。

弹簧5产生的力，保证测头与被测物体有效地接触。

防转销6限制测杆转动，密封套9防止灰尘进入传感器部。

图4电感测头构造图

3.4正弦波发生电路的设计

我设计及测试系统时，很多时候需要正弦波信号。

在电感式位移传感测量电路中，我需要一个频率和幅值都稳定的电路，否那么会造成测量部稳定及很大的误差。

正弦波作为变压器的桥源，其精度对电桥的输出信号影响极大，对于其幅值和频率的稳定性都有很高的要求。

由于传感器的工作环境通常比拟恶劣，窜入电源的随机干扰不可防止，因此在电路设计中应该具有自动补偿环节。

由差动电感传感器的幅频特性可知，传感器的频率选在平坦区域偏高点〔提高灵敏度〕，频率波动将有可能改变传感器的工作点，引起幅值的变化。

而图2.16传感器的幅频特性另一面，电路总体设计要现峰一峰采样，即采样频率和模拟信号频率应保持严格的两倍关系，这两个信号频率都由标准振荡电路给出。

显然，任一个信号频率的波动都会导致采不到峰值，带来的测量误差是很大的，所以对信号源频率的要求特点是单一稳定。

对于频率单一稳定的信号发生，最理想的事石英晶体振荡器，石英的物理特性十分稳定，而且品质因数高，选频特性好，波形失真小，在

的围气频率的稳定度可以到达

所以电路采用了由石英晶振和MC14060分频器构成信号源，石英晶体振荡器产生2.4567MHZ的稳定方波信号和采样的触发信号实现峰-----峰值采样以及作为进入I/O作为读取波峰、波谷的参考信号。

正弦波信号的幅值将直接影响传感器的输出，为保证正弦波信号幅值的稳定性，在电路设计上采用了稳幅电路进展自动补偿。

稳幅电路的根本思路是将输出的变化量取出，补偿到输入端。

当输出增大时，补偿的作用是负反应，使输入信号被减少，当输出减少时，补偿的作用使输出信号增大，从而保持输出不变。

在实际的测试电路中，主要有直流比拟〔如图6所示〕和交流比拟〔如图7所示〕两种典型电路。

在图5所示的直流比拟电路中，输出信号经衰减和精细整流之后，与标准直流信号进展比拟，误差值经放大后去控制乘法器的放大增益，从而改变放大电路的输入幅值，使输出稳定。

这种电路由于有积分环节，当标准信号与输出有偏差时，通过积分最后消除输出误差，所以直流标准信号与交流输出之间的线性极好，其缺点是对积分放大环节引起的波形失真没有补偿。

在图六所示的交