Awzccrq2010年版半导体、光伏产业用石墨制品行业及市场调研报告.doc

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秋风清，秋月明,落叶聚还散,寒鸦栖复惊。

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2010年版半导体、光伏产业用石墨制品行业及市场调研报告

目录：

1.概述1.1两大类别的石墨1.2石墨在工业领域的广泛应用1.3石墨在半导体、光伏产业领域的应用1.3.1石墨制品的半导体应用市场概况1.3.2石墨制品的太阳电池应用市场概况1.3.3炭-炭纤维复合材料在半导体、光伏产业领域的应用2.半导体、光伏产业用石墨制品概述2.1石墨的结构特性2.2石墨的主要物理特性2.3半导体、光伏产业用石墨制品的主要原料来源2.4半导体、光伏产业用石墨制品的主要特性3.半导体、光伏产业用石墨制品的生产技术情况3.1半导体、光伏产业用石墨材料的生产过程简述3.2半导体工业用碳石墨生产中的主要工艺环节3.2.1原料选择3.2.2磨粉、筛分及配料3.2.3混捏3.2.4成型3.2.5焙烧及浸渍3.2.6石墨化3.3等静压石墨的成型生产技术3.3.1等静压石墨的基本概念3.3.2等静压成型用的主要设备3.3.3等静压成型的工艺操作3.4等静压石墨的特性3.4.1等静压石墨主要特性的概述3.4.2各向同性3.4.3体积密度的均一性

3.4.4可以制造大规格制品3.4.5等静压石墨的主要性能指标3.4.6各向同性石墨与各向异性石墨的性能比较4．国外等静压石墨的生产、技术的发展4.1概述4.2美国4.3德国4.4法国4.5欧洲其它国家4.6日本4.6.1日本等静压各向同性石墨生产、技术的发展特点4.6.2日本等静压各向同性石墨主要生产企业概况5．国内等静压石墨的生产、技术的发展5.1概述5.2国内等静压各向同性石墨技术发展5.3国内等静压石墨的生产情况5.3.1国内等静压石墨的生产能力的变化发展5.3.2国内四种类别的等静压石墨企业5.3.3外资企业在我国投建生产厂家的情况5.3.4国内等静压石墨生产用设备及原材料情况5.4国内等静压石墨主要生产企业情况调查5.4.1概述5.4.2上海东洋炭素有限公司5.4.3上海碳素有限公司、上海新型石墨材料有限公司┄┄5.4.15河南省特种热工炉材有限公司5.4.16雅安恒圣高纯石墨科技有限责任公司6.石墨制品及制品在半导体工业、光伏产业中的应用情况6.1概述6.2在单晶炉热场中的应用6.2.1单晶炉结构、工作原理6.2.2石墨制品在单晶炉热场中应用的品种6.2.3单晶硅炉热场用石墨制品的主要特性要求6.2.4单晶硅炉热场用石墨制品的性能指标6.2.5国内供应单晶硅炉热场用石墨制品的主要厂家6.2.6国内单晶硅炉热场用石墨制品市场需求的分析6.3在半导体工业其它方面的应用6.3.1半导体硅片外延用石墨基座6.3.1.1半导体硅片外延的加工过程及外延反应器装置6.3.1.2外延反应器中的石墨基座的作用、种类6.3.1.3对石墨基座的性能要求

6.3.2切割单晶硅棒用碳石墨垫6.3.3PECVD用石墨晶圆托盘6.3.4区熔半导体材料用石墨舟皿6.3.5沉积高纯度多晶硅棒用石墨电极6.4石墨材料在铸锭多晶硅制造中的应用6.4.1铸锭多晶硅6.4.2多晶硅铸锭炉的结构组成6.4.3石墨材料在多晶硅铸锭炉中的应用7.石墨制品的单晶硅制造领域的应用市场情况7.1国内单晶硅行业的生产现状7.2国内单晶硅企业情况概述7.3国内半导体用单晶硅主要生产厂家情况7.3.1有研半导体材料股份有限公司7.3.2洛阳单晶硅有限责任公司┄┄7.3.10无锡华润华晶微电子有限公司7.3.11陕西华山半导体材料厂7.4国内太阳电池用单晶硅主要生产厂家情况7.4.1晶龙实业集团7.4.2锦州阳光能源有限公司（锦州Solargiga集团）┄┄7.4.14西安隆基硅材料有限公司7.4.15上海九晶电子材料股份有限公司7.5国内单晶炉生产企业情况8.石墨制品的太阳电池用铸锭多晶硅制造领域的应用市场情况8.1境外铸造多晶硅生产状况概述8.1.1Ersol┄┄8.1.6绿能科技股份有限公司8.1.7Nexolon8.2国内铸锭多晶硅生产情况8.3国内铸锭多晶硅主要生产企业情况8.3.1江西赛维LDK太阳能高科技有限公司8.3.2江苏林洋新能源有限公司┄┄8.3.11江苏宝佳太阳能发展有限公司8.4多晶硅铸锭炉国内外市场现状及发展8.4.1国内外多晶硅铸锭炉生产概况8.4.2国内外硅铸锭炉制造厂家的现状8.4.2.1国外企业8.4.2.2国内企业

报告中图、表目录：

图1-1石墨的应用领域例图1-2石墨的应用产品例图2-1石墨的晶体结构图2-2人造石墨主要物理、机械性能随温度变化的情况图3-1半导体工业用碳石墨的生产流程图3-2日本某石墨企业的半导体工业用碳石墨的生产工艺流程图3-3四种不同的成型工艺路线的碳石墨的生产工艺流程图3-4高纯石墨生产中的三种成型工艺方法图3-5等静压罐构造原理图图3-6等静压石墨生产、制造的简要工艺路线框图图3-7等静压生产工艺流程图图3-8石墨制品成型加工的压制方法与制品的体积密度示意图图4-12008年世界各个国家、地区的等静压碳石墨材料年生产能力图5-1国外企业等静压各向同性高纯石墨制品在中国内地的市场份额统计图6-1CZ法生产单晶硅生产工艺路线图图6-2CZ法生产单晶硅生产过程图6-3CZ法单晶硅炉室的结构图6-4碳石墨材料在单晶炉石墨热场应用情况图6-5在CZ单晶炉中主要应用的石墨制品图6-6直拉单晶炉用石墨坩埚（托碗）图6-7碳纤维增强碳复合材料制出的坩埚图6-8单晶硅炉用石墨坩埚结构图图6-9单晶硅炉用石墨加热器工作状态图图6-10单晶硅炉用石墨加热器图6-11硅气相外延加工的设备图图6-12外延反应器的三种基座形式图6-13扁平式外延反应器进行外延加工的情景图6-14外延反应器用石墨基座的产品图6-15单晶棒切割加工及碳石墨垫应用的情况图6-16切割单晶棒用碳石墨垫产品图6-17PECVD石墨晶圆托盘图6-18区熔半导体材料用石墨舟皿产品图6-19沉积高纯度多晶硅棒用石墨电极产品及应用图6-20两种工艺渠道生产、供应硅太阳电池所用单晶硅片流程图6-21太阳能电池制造的典型工艺流程图6-22多晶硅片加工流程图6-23铸锭多晶硅产品图6-24GT定向生长多晶铸锭炉图6-25铸锭多晶硅生产设备内部结构示意图图6-26多晶硅铸锭炉使用的石墨材料的部位及功效图6-27在多晶硅铸锭炉反应热场中采用的石墨材料图6-28石墨加热器基本结构及其所使用的高纯石墨加热材料图8-12001～2008年国内晶体硅锭产量

图8-22005～2008年国内铸造多晶硅锭产量及预估表2-1石墨的主要物理特性表3-1电子级等静压石墨的技术性能质量指标表3-2电子级等静压石墨在加工成形为晶体生长热场部件后参考技术性能指标表3-3各向同性石墨与各向异性石墨的特性比较表4-1世界主要生产等静压碳石墨材料的主要生产厂家表4-2美国主要公司各向同性石墨产品型号与性能表4-3西格里集团半导体、光伏产业用石墨材料的型号与性能表4-4西格里集团半导体、光伏产业用部分石墨材料规格尺寸表表4-5西格里石墨制品的SIC涂层纯度指标表4-6法国罗兰碳素公司的各向同性石墨产品型号与性能表4-7俄罗斯、波兰碳素公司的各向同性石墨产品型号与性能表4-8日本东洋碳素公司等静压各向同性石墨制品技术性能指标表4-9日本东洋碳素公司等静压石墨制品不纯物质（杂质）分析例表4-10日本东海碳素株式会各向同性石墨的理化性能表4-11日本碳素株式会各向同性石墨的理化性能表4-12日本揖斐川电气工业株式会社各向同性石墨的理化性能表4-13日本东北协和炭素株式会社各向同性石墨的理化性能表4-14日立化成工业株式会社各向同性石墨的理化性能表5-1国内内资的生产企业生产的冷等静压各向同性石墨产品的产品性能指标表5-2世界及我国等静压各向同性石墨生产能力、实际生产量统计、预测表5-3我国目前等静压石墨生产企业的计划年产能及实际年产量表5-4我国等静压石墨生产企业拥有冷等静压台数及其技术参数情况统计表5-5国内主要可生产等静压各向同性石墨厂家情况表5-6成都炭素有限责任公司等静压石墨材料技术性能表表5-7成都炭素有限责任公司等静压石墨产品主要规格表5-8成都市龙泉曙光电碳制品厂等静压高纯石墨产品的品种及主要技术性能表5-9河南省特种热工炉材公司等静压三高石墨品种规格及主要技术性能表6-1碳石墨材料及制品在半导体工业、光伏产业中的应用情况表6-2碳石墨材料在单晶炉中应用的品种及功能表6-3墨托碗、加热器、保温罩的外形尺寸表6-4西格里公司应用于单晶硅炉的石墨制品规格及理化性能指标表6-5东洋碳素株式会社用于单晶硅炉的石墨制品牌号及理化性能指标表6-6烟台市芝罘石墨制品厂用于单晶硅炉的石墨制品型号及理化性能指标表6-7国内主要生产多晶硅锭炉企业主要产品以及与其石墨配件相关的技术参数表7-12008年国内半导体用单晶硅主要生产企业及单晶硅产量规模统计表7-22008年国内太阳电池用单晶硅主要生产企业及单晶硅产量规模统计表7-3国内单晶炉主要生产企业情况统计表8-1国内主要铸造多晶硅企业产能（以2008年底计）统计表8-2国内外铸锭炉生产企业统计表8-3中电48所生产铸锭炉的技术参数表8-4精工科技生产铸锭炉参数统计

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1.概述1.1两大类别的石墨1.2石墨在工业领域的广泛应用1.3石墨在半导体、光伏产业领域的应用1.3.1石墨制品的半导体应用市场概况1.3.2石墨制品的太阳电池应用市场概况1.3.3炭-炭纤维复合材料在半导体、光伏产业领域的应用2.半导体、光伏产业用石墨制品概述2.1石墨的结构特性2.2石墨的主要物理特性2.3半导体、光伏产业用石墨制品的主要原料来源2.4半导体、光伏产业用石墨制品的主要特性3.半导体、光伏产业用石墨制品的生产技术情况3.1半导体、光伏产业用石墨材料的生产过程简述3.2半导体工业用碳石墨生产中的主要工艺环节3.2.1原料选择3.2.2磨粉、筛分及配料3.2.3混捏3.2.4成型3.2.5焙烧及浸渍3.2.6石墨化3.3等静压石墨的成型生产技术3.3.1等静压石墨的基本概念3.3.2等静压成型用的主要设备3.3.3等静压成型的工艺操作3.4等静压石墨的特性3.4.1等静压石墨主要特性的概述3.4.2各向同性