多晶硅厂考察报告新光硅业东汽峨半重庆大全江苏顺大Word格式文档下载.docx
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2）炉内观察，还原炉喷嘴比底座高出约400mm,一头直径DN15mm，另一头带法兰直接压在喷口上。
石墨套直径约有120~130mm，石墨座约100mm，夹瓣高出石墨座约25mm。
还原炉有三块视镜，9个喷嘴。
红外测温仪是深圳产的，显示温度比较稳定（变化值0.1~0.2间），但不同炉之间显示值差别较大（目测炉内温度差不多）。
炉内硅棒较细腻。
绝缘四氟外无隔热罩，电极没有大头（中硅也是如此）。
电极水阀组为立式靠墙，铜排升出地面后与电极之间为柔性联接。
3）还原厂房内有10台18对棒氢化炉，氢化炉有一块视镜，炉子约2米高。
2、干法回收有三套CDI装置，合成、还原、氢化各一套。
氢压机为德国、意大利的，冷冻机为约克的。
精馏有二十多个精馏塔，其中1~8级为合成料精馏，10~12级为回收料精馏。
有一个塔为湿氮除硼。
最高的一个塔76米。
有一套液氯气化装置，约有四个塔。
5、氯化氢合成装置及TCS合成装置有二个沸腾炉，单台沸腾炉设计能力为5000T/Y，分别使用新氯化氢和回收氯化氢。
6、尾气吸收装置庞大。
三、与陈绍章总经理的交流情况
1、还原电耗太阳能级产品70—80kWh/kg，电子级产品90kWh/kg。
还原启动方式为等离子加热。
还原自控是根据测温仪温度经修正后来实现自控。
2、合成为加压合成，操作压力6公斤，三至四个月清理沸腾炉一次。
但目前合成料不够用，45%TCS需外购，原因是CDI回收氯化氢压缩机不能正常工作。
合成TCS含量一般在`80%左右。
3、认为CDI系统还原与氢化分开比合在一起更好，同时将CDI的板式换热器改成了管式换热器。
CDI压缩机、冷冻机，其它设备无问题。
CDI系统要多准备一些备件，最好是成套的备件。
国产氢压机和HCL隔膜压缩机不好（HCL隔膜压缩机为北京金凯威）。
4、氢化炉加热棒C-C复合纤维材料国产的不如俄罗斯的好，但进口的交货周期太长，要8个月，每对约3.5万元。
国产的C-C复合纤维材料时间久了会脱层，寿命不长，约三个月换一次；
俄罗斯的碳棒较好。
氢化炉最长运行了8个月，碳棒上几乎没有硅的沉积。
氢化转化率在20~22%，氢化电耗3kWh/kg。
氢化炉的自控没用红外测温仪。
5、废液处理有四个大循环水池，使用蒸发、浓缩、结晶方式，析出氯化钙，减少氯离子含量。
蒸发的热源来自还原闪蒸蒸汽。
6、有2台20T的燃气锅炉，使用天然气。
每天用量为50000多立方。
7、主物料管道上的阀门及流量计要选用进口的。
8、武汉长飞光纤光缆公司参与讨论，他们准备用高纯四氯化硅做芯棒，但用量很少，约100T/Y；
用四氯化硅做光纤皮层，用量约10000T/Y。
目前该公司处于考查阶段。
2009年2月17日东汽峨半参观情况
一、企业基本情况
1、峨眉半导体材料厂（研究所）于1964年10月成立，2006年6月划转至东方汽轮机厂，改名东汽峨眉半导体材料厂（研究所），简称东汽峨半。
现有职工1500多人，其中专业技术人员500多人，高级技术职称人员43人，硕士8人，博士2人。
2、生产规模:
1）东汽峨半电子级多晶硅500T/Y（在峨眉山市739厂内）已正常生产，投资5亿左右。
老系统保留了200T/Y的还原厂房。
2）生产太阳能级多晶硅1500T/Y（在乐山五通桥），投资13亿（含3万吨烧碱装置），占地500亩。
该项目于2008年2月15日开始土建施工，目前处于设备最后安装阶段，部分公用装置已在调试（公用工程按3000吨设计），预计二月底进行生产调试。
第二条1500T线预计09年下半年开始建设，第三条1500T生产线选址已定。
3、2X120MW光伏产业园区已开始土建，一期建设1200T直拉单晶硅及硅片生产线，预计2009年三季度投产。
4、到“十一五”末，将形成多晶硅5200T，单晶硅2400T，硅片8000万片，高纯金属元素60T的产业目标，销售收入近100亿。
二、现场参观情况
（一）五通桥1500T现场
由于处于安装阶段，只允许在现场看，未能到厂房内参观。
1、精馏塔14个，最高48米，60块塔板
2、还原厂房设计12对棒还原炉20台，2.8米硅芯，氢化炉
10台（氢化炉厂房未封顶）
3、
合成沸腾炉4个，操作压力约5kg/cm2，为3700T多晶硅（2X1500＋700）项目配套，合成的HCL纯化后含水量50ppm。
4、
CDI装置三套，合成、还原、氢化各一套，氢压机为国产。
5、配套建设30000T/Y烧碱厂，有2台电解槽，制作液氯。
6、
配套建设制氢车间。
7、
废液处理用NaOH溶液吸收，采用循环结晶方法，正在作土建工作。
8、公用工程按3000吨多晶硅设计，部分已在调试。
（二）500T项目（峨眉739厂内）
只允许参观还原厂房。
1、有12对棒还原炉8台，每台有9个进料孔，无喷嘴，3块
视镜。
由739设计，东汽制造，内有瓷环，硅芯用2300MM。
还原炉两边有导轨。
没有平台，电极冷却水阀组没在厂房内。
石墨座离底板较高，硅棒表面细腻。
2、筛板式精馏塔8个。
3、没有氢化装置。
4、干法回收装置回收的HCL去合成（0.7kg/cm3微正压操作），STC去五通桥氢化。
三、交流情况
1、1500T项目采用热氢化，在其研究所的多晶硅技术实验室的转化率为15――16%，500T项目无氢化。
2、引进的500T多晶硅CDI工艺包经消化吸收后，由739做设计，国内生产设备，500T项目投产后运行正常。
3、其认为CDI技术国产化关健是氢压机和冷冻机，现冷冻机已无问题，国产氢压机主要还是存在密封问题。
CDI的维护很重要，卧式机和立式机区别不大。
4、工业和信息化部金磊主任通报情况：
1）《多晶硅发展指导意见》在程序上已走完，准备联合几个部委共同发布，已形成初稿，上半年会出台；
2）准备搞一个一元工程，和国外的百万屋顶计划相类似，推动国内太阳能的应用；
3）把多晶硅归于电子材料信息行业；
4）三月份成立“电子信息基金”，各单位可积极申报各类研究专项。
5、东汽峨半可向外界提供N型1000Ω•cm，P型10000Ω•cm，少子寿命500μs以上的单晶籽晶。
6、废液处理500T/Y项目采用中和、沉淀的传统方式；
1500T/Y项目采用NaOH溶液吸收，循环结晶方法处理
重庆大全新能源有限公司的参观情况
一、基本情况
1、大全集团简介
大全集团（原江苏长江电气集团）是从事高低压成套电气设备、元器件，环保，高速铁路，新材料（多晶硅）等行业的国家级大型企业集团，现有员工7500人。
2、重庆大全工厂情况
1）一期项目产能1500T/Y，2007年6月开工建设，2008年6月建成投产。
一期扩建产能1800T/Y，2008年5月开工建设，2009年5月建成投产，总产能将到达3300T/Y。
占地1000亩，现有员工300多人，２００８年７月８日出第一炉硅料。
2）全套引进国外技术（TCS合成除外），全流程生产工艺。
执行国家标准和欧美环境标准及安全标准，整套装置全密封运行。
3）主要设备欧美进口，有12台MSA的12对棒还原炉和6台MSA氢化炉，进口低温红外FTIR、TCP-MS等高端仪器，满足产品检验要求。
4）单炉平均产量2.5~3.5吨，还原炉平均电耗62kWh/kg,Si,最大产量3.8吨，全厂综合电耗小于160kWh/kg,一月份综合电耗组成：
还原炉62kWh/kg,Si，氢化炉30kWh/kg,Si，制氢12.5kWh/kg,Si，循环水10.8kWh/kg,Si，冷冻机、氢压机10.8kWh/kg,Si，空分、空压4kWh/kg,Si，合成、提纯、回收22.7kWh/kg,Si，其他（分析、硅芯等）0.9kWh/kg。
5）氯气、蒸汽由重庆宜化化工有限公司提供。
6）有一支国际化的技术团队。
7）去年生产了300吨多晶硅。
参观了生产现场和一期扩建现场，只允许进入还原厂房。
1、有12台12对棒MSA还原炉，6台MSA氢化炉（现在运行了5台）。
2、炉内观察，还原炉喷嘴是类似MSA原装的。
硅芯插在石墨上，石墨套是柱状的，与硅芯接触端是锥形的，高度约100mm，有石墨卡环。
红外测温仪和我们一样，显示温度波动。
绝缘四氟外无隔热环，电极有大头。
炉子用水冷却，闪蒸蒸汽回收热量。
炉子启动有热辐射和高压两种启动方式。
炉内操作压力0.6MPa。
氢化炉运行稳定，检修时发现加热片上有硅产生，大全认为氢化炉的不锈钢保温桶不易坏。
3、还原和氢化共用一套CDI装置，合成有一套简单的尾气回收装置。
氢压机、冷冻机为进口的。
HCL全部回收用于TCS合成。
4、提纯有十个精馏塔，其中8个塔为合成料精馏，2个塔为回收料精馏，填料塔。
最高的一个塔70米，最大塔径有2.6米。
罐区是立式储罐。
5、氯化氢合成装置及TCS合成装置有6台沸腾炉，单台沸腾炉设计能力为3000T/Y，开5备1。
三、与葛飞执行总裁等的交流情况
1、还原电气是AEG的，大全自己做了改进。
2、合成为加压合成，操作压力2~3公斤，三个月清理沸腾炉两次。
沸腾炉采用电感加热，水冷方式（内外均有）。
合成系统实现了自动控制，合成TCS含量在`85~90%左右。
3、还原炉用2.5~2.8的硅芯，6kgf/cm2压力操作，硅棒直径150~180mm,用时120~130小时。
还原炉上有硅粉产生，可能和进料配比有关。
高压冷却水闪蒸蒸汽回收热能。
4、氢化炉运行稳定，检修时发现加热片上有硅产生，大全认为氢化炉的不锈钢保温桶不易坏。
STC转化率１５％左右，上月氢化了８００吨STC。
5、氢压机是美国进口的。
6、尾气在碱液罐中被吸收，用ＮａＯＨ中和，经CDI后几乎没有泡沫。
精馏的高低沸物现用罐子储存，未处理。
7、精馏塔采用填料塔的选择是因为老外的工艺包要求的，其设计是按太阳能级考虑的。
８、一期扩建准备上12台18对棒的国产还原炉，3月到货。
同时上锅炉，主要是为了回收蒸汽凝水。
2009年2月21日江苏顺大参观交流情况
一、企业基本情况
1、江苏顺大地处扬州经济开发区，占地800亩，注册资金1.5亿美元，一期投资18亿元人民币。
共有10台18对棒GT还原炉，3台12对GT氢化炉，多晶硅月产量约150T，最大可达250T。
2、单晶是第一个区熔拉到8英寸的，多晶起点高。
3、有20多位外国专家，硕士、博士20多人，30多位技术骨干。
4、2007年1月底开工，6月完成设计，7月开工打桩，2008年1月开始设备安装，9月设备安装完成，10月投产，预计2009年4月全面达产。
二期项目已启动，预计2009年底投产，形成多晶硅年产能3000吨。
该项目是扬州市政府一号工程。
5、氯化氢生产是采用盐酸解析干燥，不用运输氯气。
氢气为外购。
蒸汽也由旁边电厂供应。
6、尾气干法回收技术采用北美公司的技术，没用CDI公司的技术。
7、STC氢化转化率在18――20%左右，HCL回收使用后，补充量少于10%，HCL含水量小于5ppm。
8、其工艺特点是：
1）能耗更低:
采用高温高压工艺和预加热系统，生产周期短。
还原电耗在50－60ｋＷｈ/ｋｇ，Ｓｉ,综合电耗130～135ｋＷｈ/ｋｇ，Ｓｉ，产品直径１２５～１３０ｍｍ，生长时间７０小时，和美国水平差不多。
2）更节约原料:
计算机全自动控制，投料比较准确。
STC全封闭再利用。
生产1T多晶硅只耗硅粉1.1T。
3）更环保:
二级净化装置吸收尾气。
硅粉尘排放少。
STC热氢化转化成ＴＣＳ。
多余的DCS转化――顺大专利技术。
污水、污泥和硅渣循环利用。
安全性更高:
采用稀盐酸脱水直接获取氯化氢技术， 避免长途运输液氯。
采用自动报警停车装置，保险系数高。
事故氯硅烷负压处理技术。
采用建厂前计算机模拟多晶硅生产。
产品设计纯度超过9N。
1、有10台18对棒GT还原炉，内径1.3米，其中有两台因炉筒漏水在检修未开车。
2、有三个辐射加热器，两套自动清洗机。
3、启动方式为预加热启动，硅芯为2.3米，上、下端均打磨，插入式安装在石墨座上，横梁（φ１２）两头钻有孔，搭接方式为插入式。
4、有外、中、内圈三个测温仪，中部有一个视镜。
5、冷却水温约为８０――９0度，回水热量不使用，用循环水冷却。
6、有11个精馏塔，其中10个为板式塔，1个为填料塔。
最高的塔７６米
7、3台氢化炉安装在室外，其中一台正在调试。
8、有2套尾气干法回收系统，还原＼氢化各一套，没用CDI技术。
碳塔２组，共６台。
9、ＴＣＳ合成２台沸腾炉，单台产能８０００Ｔ/Ｙ，尾气中氢气回收后进氢化炉用。
三、与陈宝生副总交流的情况
1、顺大投资成本高，无液氯，解析装置投入成本高。
2、每个工序设备安装时要老外及各单元经理签字才认可，工艺清洗费用达6000万元，管道清洗完用N2封装，安装好后再用N2封堵。
3、开车前用4N的TCS（国外买的）清洗设备及管道，单根管道不长，法兰连接多。
4、进口设备比重较大，仪表基本用国外的。
10台还原炉加控制系统近4亿元。
全厂自动化程度高，DCS控制及ESG控制点多达1.2万个，关联度很大，对操作要求高。
DCS系统是爱默生的。
DCS的处理为STC加DCS在一定温度压力下再加催化剂转化成TCS,此技术正在申报专利。
6、能耗低主要是GT的炉子的原因，合同中还原电耗保证值60ｋＷｈ/ｋｇ，Ｓｉ。
硅芯有两种，一种为方型的11X11，一种为圆的，直径为7MM。
一炉生长时间７０小时，直径１２５ｍｍ．还原一次收率没算过。
7、尾气回收系统为自己设计，国内制造。
8、精馏系统有单独的DCS处理塔，现在还没用。
塔内件为国外进口的。
9、10台还原炉配3台氢化炉，单台氢化炉处理STC量为5T/H。
还原炉有9个进气喷嘴，可调流量，一个尾气出口。
每台还原炉的生长曲线不相同。
10、ＴＣＳ合成操作压力为3.5—4ｋｇｆ/cm2，2套流化床，单台能力８０００T/Y，不加催化剂，ＴＣＳ含量约90%。
11、还原炉预加热时间约0.5小时，加热电压380V，电流140A。
12、H2从法液空购买。
13、盐酸解析装置成本100万美元，耗盐酸2000T/Y。
14、氢化炉有测温点，主要靠测量温度来控制。
15、三废处理，重组分主要从精馏出，经淋洗后排到水处理厂，对氯离子无特殊处理要求。
16、还原控制主要靠电流来自控制，温度只作为参考，现基本实现自动控制，人工调整较少。
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