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4、曝光

目前曝光方法采用接触式曝光,因此方法所用设备简单,操作方便,它包括“定位〞和“曝光〞两步骤。

定位对光刻精度影响很大,是光刻中十分重要的一环,要认真对准。

一般操作程序是:

先预热紫外光〔UV灯〕,待光源稳定后,把菲林安装在支架上;

将涂有光刻胶的ITO玻璃放在平台上,胶面朝上,将菲林支架放下,仔细调整平台微动装置,使菲林上定位标志与平台上玻璃的定位标志准确套合。

定位完成即可曝光,曝光后经过显影并检查定位是否正确。

曝光时间由光源到ITO玻璃的距离、光源强弱、光刻胶的感光性能与菲林、玻璃厚薄等因素决定。

如曝光时间过短,光刻胶感光不足,如此其光化学反响不充分,光刻胶的抗蚀性能就会降低,显影时局部光刻胶会被溶解,此时在投影机下可观擦到胶膜发黑;

假如曝光时间太长,会使光刻胶不该感光局部的边缘被微弱感光,即产生“晕光〞现象,蚀刻后边界模糊或出现波纹,使分辩率降低。

为了保证曝光质量,在操作中要注意以下几点:

定位必须严格套准;

菲林必须平整地点在玻璃上,不能有空隙。

假如存在空隙,如此不该曝光的地方也会受到光的照射,使图形产生畸变;

③ 

曝光操作中,应注意动作要轻,保护好菲林不致割伤;

④ 

曝光时间必须准确控制;

5、显影

显影的目的是将感光局部的光刻胶溶解,留下未感光局部胶膜,从而显现出所需要的图形。

显影必须越彻底,以使图形边缘整齐。

显影需严格控制好显影时间。

假如显影时间不足,如此在未感光处留下一层不易发觉的光刻胶层,在蚀刻ITO层之初,它起了阻蚀作用,而随着蚀刻液对这一薄层胶膜的穿透和破坏,使这一薄层的ITO层蚀刻不彻底,形成斑纹或小岛。

此外,显影不足还会使胶膜边缘出现厚度不均的过度区,造成毛刺,图形模糊,影响光刻质量。

假如显影时间过长,由于显影时光刻胶发生软化、膨胀,显影液从ITO层外表向图形边缘渗入,发生钻溶,使图形边缘变坏。

有的甚至会出现浮胶现象,ITO外表的胶膜波起呈桔皮状,严重的甚至大片剥落形成脱胶。

为了保证显影质量,必须严格控制显影时间并与时更换显影液。

显影时产生浮胶的原因一般有:

涂胶前玻璃外表不洁净,外表有油污,水汽等,或玻璃清洗后在空气中放置时间过长,空气中的水汽联合会附在玻璃外表上;

或者涂膜操作环境湿度太大,使胶与玻璃外表粘附不良.因此,必须注意做好玻璃外表清洁处理和操作环境的温、湿度与清洁工作。

光刻胶配配制有误或胶陈旧不纯,胶的光化学反响性能不好,使胶与ITO层结合 

能力差,或者胶膜不均匀和过厚,引起粘附不良。

前烘时间不足或过度,烘烤时间不足,胶膜内溶剂不与时挥发,显影时局部胶 

膜被溶除;

烘烤时间过长,胶膜翅曲硬化,胶的感光特性会发生变化,所以前烘必须恰当。

曝光不足,光硬化反响不彻底,胶膜溶于显影液中,引起浮胶。

因此,在保证 

分辩率的前提下,曝光要充分。

⑤ 

显影时间太长,显影液从胶膜底部不断渗入,引起浮胶。

因此必须控制好显影时间。

显影后玻璃一般应检查以下几个方面:

图形定位是否准确;

图形边缘是否整齐;

有无破胶和胶发黑;

有无浮胶;

有无胶面与ITO层的创伤;

⑥ 

显影漂洗是否干净等;

6、坚膜

由于显影时胶膜发生软化、膨胀,影响胶膜抗蚀能力,因此在显影后必须以适当温度烘干玻璃,以去除显影液和水份,使胶膜巩固。

坚膜可以使胶膜与ITO层之间粘贴得更牢,同时也增强了胶膜本身的抗蚀能力。

坚膜的温度和时间要适当选择,假如坚膜不足,如此因胶膜没有烘透,不够巩固,在蚀刻时发生浮胶或严重侧蚀等。

假如坚膜过度,如此使胶膜因热膨胀会产生翅曲和剥落,当蚀刻时会发生钻或浮胶。

坚膜最好采用缓慢升温和自然冷却法,这样可使胶膜更巩固,防止因胶的细小裂纹而出现毛刺现象。

7、蚀刻

蚀刻所选用的酸液必须能腐蚀掉裸露的ITO层,又不损伤玻璃外表的光刻胶层,另外,还要求酸液毒性小,使用方便。

蚀刻温度对蚀刻效果影响很大,温度太低,如此蚀刻时间要长,易产生浮胶;

温度太高,如此蚀刻酸液太活泼,也较易产生脱胶中钻蚀现象。

蚀刻时间与蚀刻速度有关,而蚀刻速度又与酸液和温存有关。

假如蚀刻时间太短,ITO层未蚀刻干净,会导致短路而报废,但蚀刻时间也不宜太长,因为胶膜抗蚀能力有限,时间长了蚀刻酸液会穿透渗蚀胶膜产生浮胶或使分辩率降低,图形变坏等。

在加酸时先停止放玻璃,待酸打满后再打开循环加热器开关,等温度恒定再蚀刻玻璃。

蚀刻ITO层时产生的浮胶原因,除了与显影时产生的浮胶产生的浮胶有一样原因外,还有以下几个原因:

坚膜不足,胶膜烘烤热固化不够。

所以坚膜要充分,但也不能太高。

蚀刻液温度太低或太高。

温度太低,蚀刻缓慢如此蚀刻时间太长,蚀刻液穿透或从底部渗入胶膜,引起浮胶;

温度太高,蚀刻液活泼性强,也可能产生浮胶。

因此,蚀刻温度要选择适当。

蚀刻液配制失误,蚀刻液的活泼性太强。

产生毛刺和钻蚀的原因有:

涂胶前玻璃外表洁净度不够,存在污物、油垢、小颗粒吸附水汽,使光刻胶与ITO层粘附不良,引起毛刺或局部钻蚀。

菲林不好,图形边缘有毛刺状缺陷。

光刻胶过滤不好或太陈旧,存在颗粒状物质,造成粘附不良。

显影时间过长,图形边缘发生钻溶,蚀刻时就要造成钻蚀。

曝光不足,光硬化反响不彻底,显影后在胶膜上产生溶坑或图形边缘引起钻溶,蚀刻时造成毛刺或钻蚀。

产生针孔的原因有:

菲林质量不好,本身有针孔;

涂光刻胶时,操作环境被灰尘沾污;

光刻胶涂得太薄,或光刻胶本身抗蚀性能太差;

曝光时间控制不好;

蚀刻液配比不当;

玻璃外表本身缺陷也可能造成针孔;

产生“小岛〞原因与其处理方法

由于菲林不好,图案区有针孔或损伤,曝光时光透过针孔,使这些地方的胶膜局部感光,成为不溶于显影液的胶膜“小岛〞,蚀刻后成为ITO层的“小岛〞。

出现这情况应与时发现并更换或处理菲林。

假如显影不彻底,如此在光刻窗口内留下一层不易觉察的胶膜,这层胶膜在蚀刻ITO层的过程中起阻蚀作用,从而造成ITO层蚀刻不彻底,残留下ITO层“小岛〞。

出现这种情况在胶膜抗蚀能力允许的条件下,应适当延长蚀刻时间。

蚀刻液不纯,特别是沾有灰尘等异物,往往对ITO层有腐蚀作用,形成ITO层“小岛〞。

因此,保持玻璃外表清洁,无灰尘污染,保持蚀刻液清洁并定期更换蚀刻液,可以减少由此产生的“小岛〞。

8、剥膜

所谓剥膜,就是将经过蚀刻的玻璃外表残留的光刻胶去除干净。

9、PI前清洗

在进展涂布之前需将剥膜之玻璃清洗干净。

清洗方法采用磨刷喷洗和超音波振荡清洗的方法,使杂质从玻璃外表脱落,然后用大量的去离子水〔DI水〕冲洗,从而获得洁净的玻璃外表。

因经过清洗后的玻璃外表沾有水珠,故必须经过枯燥处理。

枯燥方法采用烘干法,经过高温烘烤使玻璃外表的水分汽化变为水蒸气并除去。

10、 

PI 

COATER

为了使定向膜均匀地附着在玻璃上,一般采用液体涂布的方法,这样可以依靠液体的外表X力得到平整、厚度均匀的膜层。

涂膜即将含有定向材料的溶液均匀地涂布在具有电极图形的玻璃指定位置上。

常用涂布方法为柯氏印刷法,其操作方法是先将定向材料溶液加到转印版上,然后开启印刷滚筒,使转印版上的溶液粘附到APR版上,当滚轮接触平台时,APR版上的溶液进而转印到玻璃上。

柯氏印刷法的优点是可以把定向膜印在指定X围的区域内,这样就不会影响到银点处的导通性和框胶的气密性。

另又可通过调整落料量,改变定向材料溶液的浓度和印刷次数等来自由调整膜的厚度。

11、 

PI预烤

由于涂布时首先是用液体材料涂布,在形成液体膜后如果有灰尘等异物落在膜上,如此会造成膜层平等性的破损。

另外,如果液体膜面与其他物体接触也会造成膜层的破坏。

所以,在液体自然流平后应立即预烤。

尽快使定向材料溶剂受热挥发,留下固体的定向材料膜层。

PI涂布不良现象分析表

不良项目

不良现象

改善对策

斑点

剥离不干净

调整毛刷高度

清洗水位不足,悬浮物污染ITO外表

提高清洗槽水位

离子附着物

检查超声波振动器

油污杂质

工艺条件不稳定

核实改善工艺条件

管道污染

清洗管道

水质不佳

改善水质

风力不洁

清洁净化气

机台污染

用乙醇擦拭机台

净化卫生条件差

加强净化卫生管理条件

刮伤

人为

掌握正确操作方法

机为

毛刷过低、传动轮有异物

水珠

传动过快

调整传动速度

风力、压力不够、风口堵塞

清洗风口、风机

版上PI液过量

使用溶剂不当

选用适当溶剂

滚轮接触调整不良

调整接触面

色浆浓度

溶液添加过多

追加色浆和粘度

在涂PI时,ITO玻璃图形上出现双画或不理想线带

印压过剩

调整印压

版不良或斑纹不良

换版或取均匀纲孔

版隆起

换版

版硬度不适当

不适当的线带

调速度

不适当的复制速度

印刷不清楚

色浆粘度低

重新调整

版的外表破裂

滚轮污

玻璃基板厚薄不均

调压力

平台高度过低

调整平台

画线色浆不均

版和滚轮失去调整

版上的色浆枯燥

滚筒的接触压力适当作调整

PI印歪

涂布缩小

涂PI液粘度过浓,印压不适

涂布扩大

涂PI液粘度过稀,玻璃不干净,室温过高

平台不良、APR版误差、印压不良

调走速,重新制作APR版

PI膜厚管制

颜色

PI膜厚

无色

200°

A

淡黄色

400°

黄色

600°

金黄色

800°

土黄、土黄带紫

1000°

紫色

1200°

深紫色

1400°

12、 

固化

预烤后获得的定向材料膜层往往这不是最终的定向膜,因留在玻璃上的聚醚亚胺酸未完全挥发掉,还需在250℃下固化3-4H,脱水生成聚醚亚胺膜,这才是所需要的定向膜。

13、定向

定向原理分析

在定向膜上用绒布朝一个方向摩擦,就可以形成定向层。

灌液时定向层处的LC分子将按照摩擦的方向平行排列,这样就可以获得一致的取向。

上下两玻璃处的LC分子排列方向互成90°

至于其微观机理可从两方面来考虑;

一是通过摩擦“刨〞出很密集且深浅、宽窄不一的沟槽,这样的沟槽必然会对LC分子的取向产生作用;

另一种是定向材料有机高分子的排列方向对LC分子取向的影响。

未摩擦时有机高分子的排列是杂乱无章的,经过摩擦,在“刨〞出有机高分子与分子团的同时,必然会导致有机高分子的重新排列,使LC分子按照一致的取向排列。

影响定向效果的关键因素

由于宽大的沟槽是影响定向效果的主要因素之一,所以为了获得好的定向效果,应在减少宽大沟槽的同时增加细微沟槽密度。

假如摩擦强度太大,将造成较多的宽大沟槽;

而摩擦强度太小,又将造成细微沟槽密度的下降,所以要适当选择定向强度。

另外,摩擦强度对预倾角也有一定的影响。

又因极细微的沟槽很容易被外界的作用所破坏,所以在获得定向后不能有与之稍强一些的接触,否如此将会破坏定向效果。

摩擦的方法

即用包在旋转滚筒上的绒布对传送带或运动台面上的玻璃进展摩擦。

摩擦的方向可以用两种方法来调节;

一是调整滚筒角度;

另一种是调整玻璃角度。

定向效果的检测

将摩擦好的玻璃取出两片按规定从中取出一片玻璃置于目检台上放好,并在此玻璃上滴上回收的LC,再将另一片玻璃按贴合方向贴合。

待一切准备工作完毕即打开目检台电源开关,利用偏光片来检测。

因90°

的旋光效应,贴合后的玻璃间有LC处呈蓝黑色,这是正常情况;

如果有LC处依然透明或是呈浅灰色,如此存在定向过失或定向效果很弱,此时,应与时检查摩擦方向和摩擦强度,找出原因,予以解决。

假如定向过深,易导致定向刮伤,判定其刮伤根源何在就必须根据定向角度以与有无PI膜,如果刮伤刚好与角度一样,且又在PI膜上,这种现象如此属于定向毛轮刮伤,如果是杂乱无章或成丰条状之刮伤,如此是其它机为或人为所致。

前提是大角在左上角,角度依次为45°

、135°

、225°

、315°

对于较特殊的角度〔如50°

、200°

〕应特别注意产品规格表规定角度与定向标记方向。

定向平台旋转角度应与产品规格表规定角度的定向标记角度一致,平台旋转可逆时针运转也可顺时针运转。

14、清洗、枯燥

因定向时会产生毛屑、碎片、杂物等,故在印框、印点之前需对PI膜进展清洗并枯燥。

15、丝印框、点

丝纲印刷由五大要素构成,即纲版、刮刀、油墨、印刷台与玻璃。

〔1〕丝钢印刷的原理

利用钢版图文局部钢孔可透过油墨,非图文局部钢孔不透油墨的原理来印刷。

印刷时钢版一端倒入油墨,用刮刀对钢版上的油墨施加一定压力,同时朝钢版另一端移动。

油墨在移动中被刮刀从图文局部的钢孔中挤压到玻璃上,由于油墨的粘性作用而使印迹固定在一定X围内。

印刷过程中刮刀始终与钢版和玻璃之间保持一定的间距,使印刷时的钢版通过自身的X力而产生对刮刀的反作用力,这个反作用力称为回弹力。

由于回弹力的作用,使钢版与玻璃只作移动式接触,而钢版其它局部与玻璃呈脱离状态,使油墨和丝钢发生断裂运动,保证了印刷尺寸的精度和防止蹭脏玻璃。

当刮刀刮过整个版面后抬起,同时钢版也抬起,并将油墨轻刮回初始位置,即可完成一个完整的印刷行程。

〔2〕丝钢印刷有质量要求和分析:

丝钢印刷的质量要求:

确保印刷后油墨层的光学效果、油墨印迹的附着效果和定制效果均可达到最优值。

在印刷过程中,由于人、机器和环境因素时刻有发生不同程度变化的可能,所以每隔一段时间要指定专人对印刷产品进展严格检查。

主要检查油墨印迹有无过细、过粗、有无断线、缺料、线条变形、拉丝钢痕、漏钢等。

发现问题后应与时反响,并采取相应措施解决。

影响丝钢印刷质量的因素如如下图所示:

人的因素

工作环境

原材料

承印物

质量检查

质量标准 

工序间隔

装订

印刷

网版制作

制版底稿

修版 

涂感光胶 

方法

丝印中存在的现象和改善对策

胶量少〔出现状况为框线较淡〕

框胶覆墨太薄,调整压力解决,框胶使用时间过长,粘度太大,将旧框胶与新胶调和再使用;

网距偏低,刮刀压力过大,调高网距,降低刮刀压力方可。

框肥大〔出现状况为框线局部粗细不匀〕

网版质量不佳;

刮刀不平,刮刀未固定紧;

刮刀有缺口,使用太久变纯或扭曲变形所印框线不成直线。

框气泡

框胶中残留气泡未进展处理;

预烘温度不当。

框线呈锯齿形

框胶粘度大;

网距太高或不平;

网版堵塞;

刮刀压力使用不当。

16、框预烘

尽快让框胶中的溶剂充分挥发,使固化后达到较高的粘度。

17、撒布

根据不同的衬垫料,采用干喷两种喷粉机器。

l干喷机

它是利用一定的气压使固态衬垫料在一定大小的空腔内以一定速度作空间运动,从而使衬垫料均匀地散布在空腔中放在置的ITO玻璃上。

为保证撒布的均匀性,需严格控制气压、速度与衬垫料用量的调整。

湿喷机

此机器有三个喷头,分别用胶管与不断旋转的盛料筒相接,对每根胶管参加一定等值气压,喷头以一定速度过角度摆动。

调节每个喷头的喷散量,使每片自动从轨道运行到位的ITO玻璃上被均匀撒布一层衬垫料。

在撒布过程中应注意如下事项:

玻璃温度要与室温一样,湿度控制在50%RH;

采用湿喷法时,配制的混和液衬垫料一定要相溶相似性好,不能有结团和沉淀现象;

每作业30分钟须清洗箱体内壁。

因无静电防护,易聚集Spacer于箱体内壁,定时清洗可消除静电。

18、贴合

通常采用人工手贴或机器贴合。

在贴合工艺过程中,应注意如下事项:

贴合时,对两片玻璃施加的压力应适当,以防盒中的衬垫料碎化而破坏定向层;

贴合时,应使两片玻璃都处于室温状态,从而防止因冷热造成玻璃变形而引起的盒厚不均匀;

贴合好的液晶盒,因没有经过固化,粘接不牢,因此需轻拿轻放,以免造成位置变动。

贴合后,需严格按工艺要求检查位置正确与否,假如有少许偏差,可用手轻轻移正。

假如偏差较大时,不允许移动或掰开后重新贴合。

19、压烤

在压烤过程中,一般是加压和加热同时进展,所用烤架能使温度变化而压力恒定,所用设备烤箱能使其温度达最高值之上。

在使用这两种设备时,应定期检测温度曲线,以保证所要求的压烤温度。

同时,在压烤过程中,需严格控制气压大小和压烤时间,保证压烤时间内进展常压压烤。

在压烤操作过程中,应注意控制压烤气压、温度和时间,随时作好记录。

假如遇到停电、停气现象,需要据技术要求补足压烤时间。

框胶在压烤时是从液态的流体状过渡到固态状的过程中分别同液晶盒内的ITO、PI与玻璃基板〔SiO2〕相接触,这就要求正常工艺粘度下的框胶外表X力与ITO、PI与〔SiO2〕这三种物质的外表匹配,否如此框胶在这三种物质上的伸缩不一致〔浸润现象〕,从而使框胶扩散不一,造成框胶线条粗细不匀,并且框胶在与外表能相差最大的物质上伸展较大,造成毛边现象。

20、切割

概述

切割的作用是将每对玻璃用相应的切割设备划出切割线的过程。

切割原理

将热压后的玻璃固定在切割机台上通过刀轮沿玻璃上的切割标记切割,形成切口的过程。

切割工艺过程

根据设计图纸绘出的切割尺寸和排版方式,确定切割机工作方式;

试切;

调整切割线与对位线重合,或者在摄像机下看所切线是否在切割标志以内;

按以上过程调整好后,即可开始批量切割,将对位好的玻璃用真空吸附定位在工作台上。

按自动键后,便完成一个切割全过程;

切割完毕后,要检查切割线条是否细而亮,有无起丝或断丝的现象,以与是否切反、切偏;

用手掰玻璃的一面。

不良品产生的原因分析

项目

原因分析

切反

宽玻璃在面切成宽玻璃在底或反之

对位位置放反

菲林曝光图形反向

程序输入错误

走线

切割线未到位〔有一定规律〕

图纸给出切割尺寸有误

菲林本身误差

刀轮固定不牢

真空吸附不牢

跳线

个别切线走到位

设备有故障

断线

无规如此断开切割线

刀速过快

压力过小

玻璃不平整

起丝

切割线附近出现玻璃丝

刀轮磨损不锋利

压力过大

掰裂

掰玻璃一面时,未沿切割线方向裂开

压力或刀深过小

气压不稳定

线条不匀

切线粗细不均匀

切割不良

玻璃边缘不整齐,有斜边或错开现象出现

留边设计过小

X、Y轴裂片时,刀口未对准切割线

刀深不够

边缘崩裂

破损〔边缘破损、角崩〕

线条质量不好

气压过大

工作台上有异物

切割时应须知事项:

切割机的维护与保养;

发现切割机有异,应立即按下紧急傍止键;

检查每条切割线是否有切歪现象,假如有如此需随时调整;

检查每条切割线是否有断线或起丝现象,假如有如此需随时调节刀深,必要时应更换刀轮;

用手掰玻璃的一面时,要注意线条的质量与力度的大小;

操作时,一定要戴细纱手套,绝对不允许用手接触条状玻璃的封口。

合版、分版、合分版之判定方法:

大小片相间且总数是偶数时为合版;

大小片相间且总数是奇数时为合分版;

大小片一面为大片,一面为小片,总数是奇偶数时为分版。

大、小片、上、下片之判定方法

直接看玻璃,PIN延伸到玻璃框胶的一面

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