NEEB测试规范Word文档下载推荐.docx
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4.VDI2083（1993）：
德国的洁净标准，规定洁净度等级的定义方式，以及洁净度的量测技术。
5.Gost-R50766（1995）：
俄国的洁净标准，定义无尘室的分类与一般需求。
以上是无尘室等级规定，与洁净度量测的相关标准。
另外有关无尘室污染控制〈也就是洁净度控制〉，和环境控制〈如温湿度、震动噪音等〉，也有一些重要的测试规范，因为这些环境影响因素，都包含在无尘室性能测试的范围之内。
1.IEST-RP-CC-006.2：
这本有名的测试规范，目的就是为了补209的不足。
209只有微粒量测，006包括了风速风量、滤网泄漏、洁净度、温湿度、平行度、恢复率、粒子沉降测试、照度等。
006的第一版称为006-84-T，006.2是第二版。
现在由于NEBB的兴起，0062已经功成身退，逐渐消失了。
2.NEBB无尘室测试规范第二版：
这是目前最广为流行的测试规范，提到无尘室认证，就非NEBB莫属。
NEBB无尘室测试规范，可说是IEST-0062的改良版，其测试涵盖范围差不多，但是测试程序更为清楚严谨，仪器使用也有详细规定。
因此NEBB无尘室测试规范的出现，解决了不少测试的争议，也因此NEBB无尘室测试规范成功的成为产业标准。
3.ISO-14698系列：
14698有Part1、Part2、Part3三个子题，是有关无尘室里面生物污染的控制，目前都只有初稿。
每一种行业，甚至每一家公司或工厂，对无尘室的要求可能都不一样。
以上所列无尘室定义与无尘室测试规范，虽然以可满足大部份厂商的需求，但是严格来讲，这些规范也只是一个参考。
各公司在订定测试规格时，应依照自己的制程需求，在上述规范里取出自己适用的部份，并要求供货商与测试单位照办，必要时可以酌情修改测试标准，才能真正满足自己的需求。
二、无尘室常用名词
1.无尘室定义：
无尘室是一个为了对空间内空气中的微粒做控制，所建造的特殊封闭性建筑。
一般而言，无尘室也会对温湿度、气流运动模式、与震动噪音等环境因素做控制。
2.微粒控制：
无尘室微粒控制的第一步，是把室内微粒对制程影响的程度做完整分析，然后针对分析结果，订定恰当的微粒控制方式与无尘室管理模式，才能有效率的控制微粒污染。
在做微粒影响分析时，必须特别注意数据的量化，也就是粒径与其数量对制程的影响，才是有用的数据。
3.外来污染源：
从无尘室外进入系统的污染源，外来污染源主要是由空调通风系统所导入，另外门、窗、墙壁裂缝等也是外来污染源的成因。
4.内部污染源：
无尘室内部产生污染的来源，一般是制程机器与操作员工，最严重的内部污染源一般是操作员工。
5.隔离：
隔离是污染控制的一种观念，也就是让污染源隔绝在无尘区域之外。
这种观念多应用在高洁净度的无尘环境，例如Class100，Class10，Class1等高滤网覆盖率的无尘室，或是使用迷你洁净室将机台整个包住。
6.稀释：
稀释是污染控制的另一种观念，多应用在洁净度不高的无尘室。
例如在Class10000的无尘室，因为换气量不大，制程与人员产生的粒子就会在室内打转，要比较长的时间才会排出。
因此新的干净空气只能稀释室内的微粒浓度，让室内洁净度控制在某一等级之下就可以了，不要求把人员与制程隔开。
使用稀释法作为粒控制时，要特别注意本节第二条微粒影响分析的正确性，能掌握微粒的产生速率，才能有效的稀释微粒。
7.气流模式：
指的是流场型态，气流分布，气流的流向等性质。
由于微粒的移除完全掌握在气流的模式，因此愈洁净的无尘室或是无尘区域，对气流模式的掌控就愈重视。
基本上要先掌握气流模式，才能掌握洁净度。
8.单一流向型气流：
气流以同一个方向移动，这种无尘室称为单一流向型无尘室，以前称为层流型无尘室，定义并无多大改变。
高洁净度无尘室需要单一流向型气流。
9.非单一流向型气流：
气流方向不受控制，就是所谓的乱流型无尘室，洁净度较低的无尘室都是用非单一流向型气流以节省成本。
10.As-builtcleanroom（刚完工的无尘室）：
已经完成且可以操作，所有相关支持设施皆已完成的洁净室，但并没有设备及操作设备的人员。
11.At-restcleanroom（准备中的无尘室）：
已经完成且可以操作，所有相关支持设施皆已动作的无尘室，设备已加载并可以操作或已在运转，1如所指定，但没有操作设备的人员。
12.Operationalcleanroom（操作中的无尘室设施）：
一个已在正常运转的无尘室，所有相关支持设施皆已动作，设备及人员皆已加载，运转状况可以呈现和达到其正常的功能。
三、无尘室等级定义
无尘室的等级
使用者在开无尘室的等级给供货商时，有以下几个小技巧。
首先是等级定义的模式如下：
ClassX（atYμm）
其中X是无尘室的等级，例如100或10000等等，Y是粒径如0.2μm,0.5μm等，可复选。
意思就是使用者规定，该无尘室微粒含量，在这些粒径必须满足该等级的限度。
这样可以减少纷争，以下是几个例子：
Class1（0.1μm,0.2μm,0.5μm）
Class100（0.2μm,0.5μm）
Class100（0.1μm,0.2μm,0.5μm）
在Classes100（M3.5）andGreater
（Class100，1000，10000....），一般看一个粒径即可。
在ClassesLessthan100（M3.5）
（Class10，1....），一般要看多几个粒径。
第二个技巧是规定无尘室的状态，例如：
ClassX（atYμm），At-rest
供货商就很清楚知道无尘室要在At-rest状态下验收。
第三个技巧是自订微粒浓度上限，一般在As-built时无尘室都很干净，微粒控制能力测试不易，这时可以干脆把验收上限压低，例如：
Class10000（0.3μm<
=10000），As-built
Class10000（0.5μm<
=1000），As-built
这样做的目的是确保无尘室在Operational状态时，依然有足够的微粒控制能力。
以下两个表是Fed-Std-209E的等级定义，和ISO-14644的等级定义。
Fed-Std-209E洁净度定义
ClassName
ClassLimits
0.1μm
0.2μm
0.3μm
0.5μm
5μm
VolumeUnits
VolumeUnits
SI
U.S.
（m3）
（ft3）
M1
350
9.91
75.7
2.14
30.9
0.875
10.0
0.283
-
M1.5
1
1,240
35.0
265
7.50
106
3.00
35.3
1.00
M2
3,500
99.1
757
21.4
309
8.75
100
2.83
M2.5
10
12,400
2,650
75.0
1,060
30.0
353
M3
35,000
991
7,570
214
3,090
87.5
1,000
28.3
M3.5
26,500
750
10,600
300
3,530
M4
75,700
2140
30,900
875
10,000
283
M4.5
35,300
247
7.00
M5
100,000
2,830
618
17.5
M5.5
353,000
2,470
70.0
M6
1,000,000
28,300
6,180
175
M6.5
100,000
3,530,000
24,700
700
M7
10,000,000
283,000
61,800
1,750
ISO-14644的等级定义
ISOclassificationnumber（N）
Maximumconcentrationlimits（particles/m3ofair）forparticlesequaltoandlargerthantheconsideredsizesshownbelow（concentrationlimitsarecalculatedinaccordancewit
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