NEEB测试规范Word文档下载推荐.docx

1、4. VDI 2083 （1993）：德国的洁净标准，规定洁净度等级的定义方式，以及洁净度的量测技术。5. Gost-R 50766 （1995）：俄国的洁净标准，定义无尘室的分类与一般需求。 以上是无尘室等级规定，与洁净度量测的相关标准。另外有关无尘室污染控制也就是洁净度控制，和环境控制如温湿度、震动噪音等，也有一些重要的测试规范，因为这些环境影响因素，都包含在无尘室性能测试的范围之内。1. IEST-RP-CC-006.2：这本有名的测试规范，目的就是为了补209的不足。209只有微粒量测，006 包括了风速风量、滤网泄漏、洁净度、温湿度、平行度、恢复率、粒子沉降测试、照度等。006 的第

2、一版称为006-84-T，006.2是第二版。现在由于 NEBB 的兴起，0062已经功成身退，逐渐消失了。2. NEBB 无尘室测试规范第二版：这是目前最广为流行的测试规范，提到无尘室认证，就非 NEBB 莫属。NEBB 无尘室测试规范，可说是IEST-0062的改良版，其测试涵盖范围差不多，但是测试程序更为清楚严谨，仪器使用也有详细规定。因此 NEBB 无尘室测试规范的出现，解决了不少测试的争议，也因此 NEBB 无尘室测试规范成功的成为产业标准。3. ISO-14698 系列：14698 有 Part 1、Part 2、Part 3 三个子题，是有关无尘室里面生物污染的控制，目前都只有初

3、稿。每一种行业，甚至每一家公司或工厂，对无尘室的要求可能都不一样。以上所列无尘室定义与无尘室测试规范，虽然以可满足大部份厂商的需求，但是严格来讲，这些规范也只是一个参考。各公司在订定测试规格时，应依照自己的制程需求，在上述规范里取出自己适用的部份，并要求供货商与测试单位照办，必要时可以酌情修改测试标准，才能真正满足自己的需求。二、无尘室常用名词 1. 无尘室定义：无尘室是一个为了对空间内空气中的微粒做控制，所建造的特殊封闭性建筑。一般而言，无尘室也会对温湿度、气流运动模式、与震动噪音等环境因素做控制。2. 微粒控制：无尘室微粒控制的第一步，是把室内微粒对制程影响的程度做完整分析，然后针对分析结

4、果，订定恰当的微粒控制方式与无尘室管理模式，才能有效率的控制微粒污染。在做微粒影响分析时，必须特别注意数据的量化，也就是粒径与其数量对制程的影响，才是有用的数据。3. 外来污染源：从无尘室外进入系统的污染源，外来污染源主要是由空调通风系统所导入，另外门、窗、墙壁裂缝等也是外来污染源的成因。4. 内部污染源：无尘室内部产生污染的来源，一般是制程机器与操作员工，最严重的内部污染源一般是操作员工。5. 隔离：隔离是污染控制的一种观念，也就是让污染源隔绝在无尘区域之外。这种观念多应用在高洁净度的无尘环境，例如 Class 100，Class 10，Class 1等高滤网覆盖率的无尘室，或是使用迷你洁净

5、室将机台整个包住。6. 稀释：稀释是污染控制的另一种观念，多应用在洁净度不高的无尘室。例如在 Class 10000的无尘室，因为换气量不大，制程与人员产生的粒子就会在室内打转，要比较长的时间才会排出。因此新的干净空气只能稀释室内的微粒浓度，让室内洁净度控制在某一等级之下就可以了，不要求把人员与制程隔开。使用稀释法作为粒控制时，要特别注意本节第二条微粒影响分析的正确性，能掌握微粒的产生速率，才能有效的稀释微粒。7. 气流模式：指的是流场型态，气流分布，气流的流向等性质。由于微粒的移除完全掌握在气流的模式，因此愈洁净的无尘室或是无尘区域，对气流模式的掌控就愈重视。基本上要先掌握气流模式，才能掌握

6、洁净度。8. 单一流向型气流：气流以同一个方向移动，这种无尘室称为单一流向型无尘室，以前称为层流型无尘室，定义并无多大改变。高洁净度无尘室需要单一流向型气流。9. 非单一流向型气流：气流方向不受控制，就是所谓的乱流型无尘室，洁净度较低的无尘室都是用非单一流向型气流以节省成本。10. As-built cleanroom（刚完工的无尘室）：已经完成且可以操作，所有相关支持设施皆已完成的洁净室，但并没有设备及操作设备的人员。11. At-rest cleanroom（准备中的无尘室）：已经完成且可以操作，所有相关支持设施皆已动作的无尘室，设备已加载并可以操作或已在运转，1如所指定，但没有操作设备的

7、人员。12. Operational cleanroom（操作中的无尘室设施）：一个已在正常运转的无尘室，所有相关支持设施皆已动作，设备及人员皆已加载，运转状况可以呈现和达到其正常的功能。三、无尘室等级定义 无尘室的等级 使用者在开无尘室的等级给供货商时，有以下几个小技巧。首先是等级定义的模式如下：Class X （at Y m ） 其中 X 是无尘室的等级，例如 100 或 10000 等等，Y是粒径如 0.2m , 0.5m 等，可复选。意思就是使用者规定，该无尘室微粒含量，在这些粒径必须满足该等级的限度。这样可以减少纷争，以下是几个例子：Class1 （0.1m, 0.2m , 0.5m

8、） Class 100（0.2m , 0.5m ） Class 100（0.1m, 0.2m , 0.5m ） 在 Classes 100 （M3.5） and Greater （Class 100，1000，10000.） ，一般看一个粒径即可。在 Classes Less than 100 （M3.5） （Class 10，1. ） ，一般要看多几个粒径。第二个技巧是规定无尘室的状态，例如：Class X （at Y m ）， At-rest 供货商就很清楚知道无尘室要在 At-rest状态下验收。第三个技巧是自订微粒浓度上限，一般在 As-built 时无尘室都很干净，微粒控制能力测试不

9、易，这时可以干脆把验收上限压低，例如：Class 10000 （0.3 m = 10000）， As-builtClass 10000 （0.5 m = 1000）， As-built这样做的目的是确保无尘室在 Operational 状态时，依然有足够的微粒控制能力。以下两个表是 Fed-Std-209E 的等级定义，和ISO-14644的等级定义。Fed-Std-209E 洁净度定义 Class Name Class Limits 0.1m 0.2m 0.3m 0.5m 5m Volume Units Volume UnitsSI U.S. （m3） （ft3） M 1 350 9.91

10、75.7 2.14 30.9 0.875 10.0 0.283 - M 1.5 1 1,240 35.0 265 7.50 106 3.00 35.3 1.00 M 2 3,500 99.1 757 21.4 309 8.75 100 2.83 M 2.5 10 12,400 2,650 75.0 1,060 30.0 353 M 3 35,000 991 7,570 214 3,090 87.5 1,000 28.3 M 3.5 26,500 750 10,600 300 3,530 M 4 75,700 2140 30,900 875 10,000 283 M 4.5 35,300 247

11、 7.00 M 5 100,000 2,830 618 17.5 M 5.5 353,000 2,470 70.0 M 6 1,000,000 28,300 6,180 175 M 6.5 100,000 3,530,000 24,700 700 M 7 10,000,000 283,000 61,800 1,750 ISO-14644的等级定义ISO classification number（N） Maximum concentration limits （particles/m3 of air） for particles equal to and larger than the considered sizes shown below （concentration limits are calculated in accordance wit