CasaXPS软件应用数据及处理资料下载.pdf

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1ddfb分析测试中心分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU分析测试中心分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU2.CasaXPS软件的界面原始数据：

vms格式File-Open（打开单个vms文件）-Openandmerge（打开多个vms文件）-Close（关闭vms文件）-Saveas（存储vms文件）分析测试中心分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU分析测试中心分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU分析测试中心分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU分析测试中心分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTUZoominZoomoutBE/KECPS/COpenOpenCloseOpenandmergeCloseSaveasPageLayoutTileDisplayQuantifyWideQuantifyElementProcessingAnnotation分析测试中心分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU分析测试中心分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU快捷键：

F1-先点亮单个元素，再按快捷键F1，即可选中相应的元素（或者直接双击相应的元素）F2-先同时点亮几个元素，再按快捷键F2，即可对比相应的元素F3（Zoomout）-缩小所选区域F5（PageLayout）-可以选择16种不同的页面布局BE/KE-对数据的横坐标进行BE（结合能）和KE（动能）的转换CPS/C-对数据的纵坐标进行CPS（计数率）和C（总数量）的转换，一般用CPS作纵坐标分析测试中心分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU分析测试中心分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU多个图叠加：

有多组数据，对比同一元素，可以先全选中这一列，再点击左上角的符号。

分析测试中心分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU分析测试中心分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU3.1全谱扫描分析双击选中survey-按F10可以出现ElementLibrary分析测试中心分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU分析测试中心分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU单击Periodictable（或者Elementtable）-选择相应的元素分析测试中心分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU分析测试中心分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU单击Createregions，即可产生相应元素的区域（并含有峰名：

如C1s）使用Quantify键可以进入每个区域进行调节并调整区域的大小Atomic%会相应的发生变化有些区域需要手动添加分析测试中心分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU分析测试中心分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU3.2区域和背景量化区域的主要目标是界定能量的范围，除去不属于峰的背景分析测试中心分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU分析测试中心分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU选择Options-Quantify-Regions-Create-调整区域的范围2Ctrl分析测试中心分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU分析测试中心分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU点击end-按住键盘上的Ctrl-点击BGType，会出现下面的对话框，可以选择各种类型的Backgroud。

分析测试中心分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU分析测试中心分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTULinear一般多用于聚合物聚合物；

Shirley一般多用于金属元素金属元素，尤其是单峰，可以用两个单独的区域来表达一个双峰（doublets）。

OS指offsetShirley（合并了linear和Shirley,只在v.2.3.13版本中出现），可能主要用于双峰。

在选择背景格式的时候要小心，因为选择不同的选择不同的background会对数据产生不同的分析效果会对数据产生不同的分析效果。

对于同一批数据，所选用的background必须是同一种格式的。

一个图里面可以有两个区域，但是这两个区域不能重叠。

分析测试中心分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU分析测试中心分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU3.3峰形CasaXPS软件默认的峰形是GL（30），这个主要用于Kratos系统。

对于来自SSI系统的数据，GL（15）应该能够提供更好的拟合。

要改变系统中默认的GL（30），首先要在Casa文件夹中找到CasaXPS.lib文件。

用Excel打开文件，把GL（30）整列变成GL（15）。

GL（x）是高斯-洛仑兹峰形，这里的X代表洛仑兹的百分含量。

GL（0）代表100%高斯峰形，AnalyzerresolutionisGaussian。

GL（100）代表100%洛仑兹峰形，X射线线指洛仑兹线。

分析测试中心分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU分析测试中心分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU分析测试中心分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU分析测试中心分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTUPurple:

GaussianBlue:

Lorentziansamepeakareas分析测试中心分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU分析测试中心分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU3.4校准数据一般用CC1s1s校准数据；

首先对全谱进行校准，先点亮全谱-Options-Processing，会出现SpectrumProcessing的对话框（如下图）-Calibration-在True处输入284.8-在Mearument处输入真实峰的结合能位置-Apply；

其次对单个元素谱峰进行校准，方法和对全谱的校准是一样的。

分析测试中心分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU分析测试中心分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU先点亮全谱或某个元素谱-Options-Processing，会出现SpectrumProcessing的对话框（如下图）-ProcessingHistory-点亮某条ProcessingCommand-Remove分析测试中心分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU分析测试中心分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU3.5拟合数据（Peaks/Components）点亮要分峰的元素谱峰-Quantify-Regions-Create-调整区域的范围-Components-Create。

如果峰是在元素表里选择的，每个分峰都会有相应的名字（比如：

Au4f7/2）；

也可以在分峰表里Name那一栏里输入“Au4f7/2”等来获得相应的RSF值；

分析测试中心分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU分析测试中心分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTUComponents-Create可以点击Quantify-TileDisplayParametrs-Display-Residual，红圈处线条越接近直线，Residual值越小，拟合的效果越好；

如果有比较大的负向的峰值出现的话，说明这里需要插入一个新的峰；

分析测试中心分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU分析测试中心分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU可以拖动峰的顶部来改变峰的面积和峰的位置；

也可以拖动峰的边缘来改变峰的半峰宽（FWHM）；

根据需要的Components的次数，重复上述操作；

Components的峰也可以选择相应的峰-Cut来删除。

分析测试中心分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU分析测试中心分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJTU分峰不仅可以用于单个元素峰，也可以用于重叠的峰；

比如下图中的铜和铝峰：

分析测试中心分析测试中心InstrumentalAnalysisCenterofSJ