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2」冶金级硅(MG):
是硅的氧化物在电弧炉中被碳还原而成。
一般含Si为90-95%以上,高达99.8%以上。
2.2太阳级硅(SG):
纯度介于冶金级硅与电子级硅之间,至今未有明确界定。
一般认为含Si在99.99%-99.9999%(4〜6个9)。
2.3电子级硅(EG):
—般要求含Si>
99.9999%以上,超高纯达到99.9999999%〜99.999999999%(9〜11个9)。
多晶硅料多晶硅锭
3.多晶硅的主要用途
3.1制作单晶硅,一般需要用高纯度的电子级硅(EG)。
单晶硅是制造半导体硅器件的原
料,用于制大功率整流器、大功率晶体管、二极管、开关器件等。
3.2制作太阳能电池,一般使用太阳能级硅(SG)
2.多晶硅生产工艺
多晶硅的生产技术主要有:
改良西门子法、硅烷法和流化床法。
正在研发的还有冶金法、气液沉积法、重掺硅废料法等制造低成本多晶硅的新工艺。
世界上85%的多晶硅是釆用改良西门子法主产的,国内上市生产企业100%采用此法,其余方法生产的多晶硅仅占15%。
1、改良西门子法
该法是以HC1(或CL、HJ和冶金级工业硅为原料,将粗硅(工业硅)粉与HC1在高温下合成为SiHCl3,然后对SiHCl3进行化学精制提纯,接着对SiHCL3进行多级精懈,使其纯度达到9个9以上,其中金属杂质总含量应降到0.lppba以下,最后在还原炉中在1050°
C的硅芯上用超高纯的氢气对SiHCL3进行还原而长成高纯多晶硅棒。
其工艺流程如下:
冶金硅+HCl-SiHCl3+SiH,+SiH2Cl1:
-—SiHCl3(精镭)-SiHCl3+H:
(1000°
C气相沉淀)
fU型硅棒f挤压粉碎f川HF和HNO3浸蚀一多晶硅块
(1)石英砂在电弧炉中冶炼提纯到98%并生成工业硅,其化学反应SiO’+C-Si+CO?
f
(2)为了满足高纯度的需要,必须进一步提纯。
把工业硅粉碎并用无水氯化氢(HC1)与之反应在一个流化床反应器中,生成拟溶解的三氯氢硅(SiHClJ0
其化学反应Si+HCl-SiHCl3+H:
t,反应温度为300度,该反应是放热的。
同时形成气态混合物(H2,HC1,SiHCls,SiCh,Si)o
(3)第二步骤中产生的气态混合物还需要进一步提纯,需要分解:
过滤硅粉,冷凝SiHCl3,SiCl„而气态H‘,HC1返回到反应中或排放到大气中。
然后分解冷凝物SiHClhSiCl”净化三氯氢硅(多级精係)。
(4)净化后的三氯氢硅采用高温还原工艺,以高纯的S1HC13在H2气氛中还原沉积而生成多品硅。
其化学反应为:
SiHCl3+H:
—Si+HClo
多晶硅的反应容器为密封的,用电加热硅池硅棒(直径5-10毫米,长度1.5-2米,数量80根),在1050-1100度在棒上生长多晶硅,直径可达到150-200毫米。
这样大约三分之一的三氯氢硅发生反应,并生成多晶硅。
剩余部分同H:
HC1,SiHCl3,SiCl4从反应容器中分离。
这些混合物进行低温分离,或再利用,或返回到整个反应中。
气态混合物的分离是复杂的、耗能量大的,从某种程度上决定了多晶硅的成本和该工艺的竞争力。
图1•西门了法牛产多晶苻工艺不意图
Power
改良西门子法生产多晶硅的副产品:
多晶硅生产过程中将有大量的废水、废液排出,如:
生产1000吨多晶硅将有三氯氢硅3500吨、四氯化硅4500吨废液产生,未经处理回收的三氯氢硅和四氯化硅是一种有毒有害液体。
对多晶硅副产物三氯氢硅、四氯化硅经过多级精镭提纯等化学处理,可生成口炭黑、氯化钙以及用于光纤预制棒的高纯(6N)四氯化硅。
改良西门子法所用设备:
氯化氢合成炉,三氯氢硅沸腾床加压合成炉,三氯氢硅水解凝胶处理系统,三氯氢硅粗憎、精镭塔提纯系统,硅芯炉,节电还原炉,磷检炉,硅棒切断机,腐蚀、清洗、干燥、包装系统装置,还原尾气干法回收装置;
其他包括分析、检测仪器,控制仪表,热能转换站,压缩空气站,循环水站,变配电站,净化厂房等。
2、硅烷法
2.1硅烷气体的制备硅烷法多晶硅的主产离不开硅烷气体。
硅烷气体的制备大致上有三种方法:
(1)用氢化铝钠与四氟化硅气体反应合成硅烷气体:
NaAlHi+SiFI-NaAlFs+SiH,
⑵硅镁合金法工艺
硅镁合金制备硅烷气体工艺也称小松法工艺。
工艺流程非常简练,主要反应为:
Si+Mg-Mg:
Si
Mg:
Si+NH.C1-SiH;
+MgCl:
+6NH3
⑶氯硅烷歧化反应法,此法利用如下氯硅烷的合成和歧化反应来获得硅烷:
Si+2H:
+3SiCli-*4SiHCl3
6SiHCl3-3SiH:
Cl2+3SiCl4
4SiH2Cl:
—2SiHsCl+2SiHCl3
3SiH3Cl-SiH:
Cl:
+SiH,
2.2因硅烷气是易燃易爆的气体,所以整个吸附系统以及分解室都要有高度严密性,必须隔绝空气,这对设备的要求较高。
3、物理法(冶金法)
3.1物理法是采用对冶金级的硅进行造渣、精炼、酸洗(湿法冶金)、定向凝固等方式,将杂质去除,由于硅是不参加化学反应的,所以俗称物理法,也称作冶金法。
冶金法的投资比化学法要小,大约每千吨产能投资只需要4亿元左右,而每吨的成本为15-25万元人民币左右。
目前冶金法对硅的提纯极限为6-7N,无法用于半导体行业,而只能用于太阳能产业。
3.2冶金法制备多晶硅可直接山工业硅制得太阳能用的高纯多晶硅锭,具有环境污染小,不需要重熔设备且生产成本相对较低。
该法工艺路线为:
选择纯度较好的工业硅(即冶金硅)进行水平区熔单向凝固成硅锭,去除硅锭中金属杂质聚集的部分和外表部分后,进行粗粉碎与清洗,在等离子体融解炉中去除硼杂质,再进行笫二次水平区熔单向凝固成硅锭,去除笫二次区熔硅锭中金属杂质聚集的部分和外表部分,经粗粉碎与清洗后,在电子束融解炉中去除磷和碳杂质,直接生成太阳能级多晶硅。
(1)电子束真空熔炼硅在1700K时蒸气压为0.0689Pa,在此温度下,蒸气压高于此值的杂质(如磷和铝等)能挥发出去。
(2)区域悬浮熔炼利用感应圈(电子束或离子束)使硅棒加热熔化一段并从下端逐步向上端移动,凝固的过程也随之顺序进行,当熔化区走完一遍后,对于分离系数kO〈l的杂质将富集到上端。
⑶等离子弧精炼研究发现,利用等离子弧氧化精炼可以很好地除去硅中的硼和碳,如果发展大功率的等离子弧装置,可以实现大容量生产,具有很好的工业应用前景。
口前运用物理法工艺的国内生产厂家有约20家,其中以宇夏发电集团有限公司(2000吨/年,另在建2000吨生产线)及河南迅天宇硅品有限公司(400吨/年)为代表,但截至目前,市场上仍未有相关产品面世。
3.多晶硅的市场分析
1、多晶硅市场现况
1.1产能悄况
高纯多晶硅是电子工业和太阳能光伏产业的基础原料,处于信息产业和可再生能源产业链的最前端,生产技术含量高,投资大,在未来的50年里,还不可能有其他材料能够替代硅材料而成为电子和光伏产业主要原材料。
随着信息技术和太阳能产业的飞速发展,全球对多晶硅的需求增长迅猛。
尤其是以清洁、可持续重复利用的光伏发电产业的迅速发展,极大的拉动了多晶硅行业的产业升级扩张。
U前全球光伏发电量占整个电力市场的份额还不足1%,而以德国、捷克为代表的欧洲国家大力发展太阳能发电产业,并计划在2050年全面实现高新清洁能源替代传统化石能源,以美国、中国为代表的传统化石能源消耗大国也不断加大资金投入和政策支持,大力促进本国可再生能源的发展,光伏产业的发展空间巨大。
近儿年来,我国太阳能光伏产业也迅速成长起来,口前国内从事多晶硅生产企业超过了80家,光伏企业120余家,多晶硅产能占世界市场份额的18%,光伏产能占世界市场份额的40%,光伏原材料自给率达50%,太阳能电池产量以超过100%的年均增长率快速发展,连续3年位居世界第一,全球排名前十五位太阳能电池企业中,有9家是中国光伏企业。
尤其是自2006年以来,受市场虚高价格与短期暴利诱惑,我国掀起了一波多晶硅项H的建设高潮,建设与投资堪称世界之最。
我国多晶硅产量2005年时仅有60吨,但2008年狂飙到4000吨以上。
U前,我国多晶硅的产能极限也只有5万吨左右,2010年中国多晶硅产量达2万吨以上,在建产能近5万吨。
虽然如此,但国内市场对口缺货量仍高达3-5万吨,仅2009年中国进口太阳能级多晶硅就超过2万吨。
截至2010年11月份,本年度我国进口太阳能级多晶硅已经超过了3.5万吨。
而我国今年光伏产能将超过20GW,2011年国内晶体硅电池产量将达到16GWo按照产量核算,2011年中国至少需要16万吨的硅料。
但根据预测,2011年多晶硅产量至多在6万吨左右,因此2011年国内供求缺口高达10万吨。
随着光伏行业的逐步推广应用,多晶硅的市场需求量会更大。
1.2市场价格
2008年,在金融危机影响下,多晶硅价格暴跌,从最高时的四五百美元/公斤,跌至最低至每公斤五六十美元。
2010年随着海外市场复苏,多晶硅进入新一轮投产热,乐电天威、鄂尔多斯子公司等多晶硅生产企业纷纷发布投产消息。
多晶硅价格重拾回升态势。
因为各厂家所生产太阳能级多晶硅纯度不同,报价有所不同。
2010年11月份,国内太阳能5N级一6N级多晶硅价格为600-750元/弦,折合美元约为90-120美元/kg。
据有关专家分析认为,整个多晶硅行业平均盈利水平已达到了每吨15万元〜20万元,最高达到每吨近50万元。
1.3国内主要多晶硅生产企业
化学法:
江苏中能硅业科技发展有限公司
江苏阳光晶源科技有限公司
四川新光硅业科技有限责任公司
四川永祥多晶硅有限公司
天威四川硅业有限责任公司
乐电天威硅业科技有限责任公司
中国南玻集团股份有限公司
洛阳中硅高科技有限公司
物理法:
F夏发电集团有限公司
河南迅天宇硅品有限公司
1.4近期国内多晶硅项LI建设情况
2010年内蒙古巴彦淖尔3000吨多晶硅项口开工;
2010年通威集团二期3000吨多晶硅项U启动;
2010年物理法6N多晶硅项LI落户福建莆田;
2010年8月湖北随州1500吨多晶硅项口成功试产;
2010年8月赛维LDK多晶硅项U二线成功投产;
2010年内蒙古物理法多晶硅生产线成功投产;
2010年江西萍乡年产350吨单晶硅项口顺利完工;
2010年四川乐山两大多晶硅项訂开工建设;
2010年全流程物理法提纯多晶硅生产线在河南南阳建成投产;
2009年河南煤化启动年产1500吨多晶硅项LI。
2、多晶硅行业发展预估
2.1低成本:
企业竞争根本方向
多晶硅行业在经历了最残酷的2008年国际金融危机洗礼,价格一度从400-500美元/公斤“理性回归”至40