PTH线操作手册Word文件下载.docx

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一、目的规范

规范PTH线流程，提供PTH线工艺控制参数和操作方法，指导生产人员正常生产，以确保生产产品品质，适用于PTH手动或自动线操作。

三、PTH线设备规格表

备注：

SS：

不锈钢QTZ：

石英：

聚丙烯T：

气缸振荡

M：

机械摇摆A：

打气V：

电振荡器TF：

铁氟龙

C：

冷却

四、PTH自动线程序图及各缸时间范围

注：

滴水时间栏空白无要求各厂根据实际情况可作适当调整

5.1.1前期准备

A、清洗缸体：

新线开缸前须用3-5%NaOH溶液泡缸12小时，用清水清洗干净后，再用3-5%H2SO4泡缸12小时，再用清水冲洗，至少2次，药水槽再用纯水清洗一次备用。

旧线视缸体清洁度，可考虑不用酸碱泡，但缸体须用清水洗净，药水缸须用纯水清洗；

B、测量：

测量缸内壁长、宽、高，计算出缸体积，计算方法：

V体=长×

宽×

高（药水液位高度）；

C、检查生产辅料（比如，H2SO4是否浑浊等）。

5.1.2开缸

5.1.2.1整孔除油缸：

A、加入DI水至2/3体积；

B、加入整孔剂DS-122（10%）；

C、补充DI水至液位；

D、打开加热，开启过滤机

5.1.2.2微蚀缸：

A、加入水至2/3体积，开启打气；

B、加入硫酸4%（或硫酸8%，适合硫酸双氧水系列产品）；

C、冷却后加入过硫酸钠80g/L；

D、加水至液位，搅拌。

5.1.2.3酸浸缸:

B、加入2%（V/V）H2SO4；

C、加入DI水至液位，搅拌均匀。

5.1.2.4预浸缸：

B、加入预浸剂DS-133220g/L（或DS-133220g/L,AR盐酸5%，适合DS-133体系）；

C、加入DI水至液位，搅溶后开启过滤泵。

5.1.2.5活化缸：

B、加入预浸盐DS-133220g/L，AR盐酸5%。

C、加入DI水至液位，搅溶后开启过滤泵；

D、加入活化剂DS-1402%；

E、打开加热器循环。

5.1.2.6加速缸：

B、加DS-15510%；

C、加入DI水至液位；

D、打开过滤泵。

5.1.2.7沉铜缸：

B、开启打气，加入沉铜液DS-166M5%；

C、缓慢加入DS-166A7%；

D、缓慢加入DS-166B7%；

E、补充DI水至液位，开启过滤。

5.2.1整孔除油

A、工艺参数

a、温度60-70℃

b、时间5-8min

c、过滤连续过滤

d、摇摆连续

B、控制

a、碱度控制在；

b、每生产100m2板补加1-1.5LDS-122；

c、每班分析一次，依化验结果调整维护。

C、更换

a、每升工作液处理30-35m2板或铜含量大于1g/L时换缸；

b、每次全部排净旧液，洗净缸体后，重新开缸。

5.2.2微蚀

a、温度25-35℃

b、时间1-2min

c、浓度Na2S2O860-100g/LH2SO43-5%

d、过滤连续过滤

f、打气过硫酸钠体系开打气，双氧水体系无须打气。

a、每生产100m2添加Na2S2O85KG，硫酸2L；

b、每班分析一次，微蚀速率控制在；

a、铜含量大于25g/L时更换；

b、更换时保管1/6左右旧槽液，再加入1/2体积纯水，然后加入4%硫酸及80g/LNa2S2O8,用纯水补充至液位。

5.2.3酸浸缸

a、温度室温（20-30℃）

b、时间1-3min

c、摇摆连续

a、H2SO4浓度控制在1-3%；

b、每班分析一次，按分析结果补加。

与微蚀缸同时更换。

5.2.4预浸

a、温度室温（18-30℃）

b、时间

d、摇摆连续。

a、比重控制在每添加165g/LDS-133可升高比重（或补加165g/LDS-133可升高比重，L盐酸可提高酸度,此适合DS-133体系）；

b、每生产100m2板补加2.5KGDS-133、0.5L盐酸。

a、每升槽液生产30m2时更换；

b、或溶液转变成蓝色或绿色时更换。

5.2.5活化

a、温度35-44℃

c、搅拌摇摆或过滤循环

d、加热器石英或铁氟龙

e、过滤定期过滤

a、每生产100m2补加DS-1400.6L；

b、比重控制在，比色控制在60-90%。

a、每升槽液生产600m2时换缸；

b、铁含量高于150ppm时更换；

c、换时排除全部旧液，再用稀盐酸泡洗槽壁，以清水洗净后用纯水清洗，重新开缸。

5.2.6加速

a、温度酸性室温（20-30℃）

b、时间2-4min

d、过滤连续过滤

a、酸性控制到；

b、每生产1000ft相对补加DS-1551.5L。

a、每升槽液生产20-30m2时更换；

b、当溶液变混浊时；

c、更换时全部排除旧液，洗净槽液重新更换。

5.2.7化学铜

a、温度25-30℃

b、时间12-18min

c、沉积速率微英寸/分钟

e、搅拌空气及机械搅拌

f、操作容量（负载）-0.25ft2L

a、浓度控制

Cu2+-2.5gL

NaOH11-13g/L

HCHO6-8g/L

b、浓度控制在正常范围之内

补加量计算方法：

1.每生产6-8m2板添加DS-166A、B各1L；

2.每星期更换一次过滤棉芯，更换时用稀硫酸浸洗新滤芯，用DI水洗净，放入滤槽中使用；

3.每周倒一次槽，并将槽内壁沉积铜消除，方法：

抽入废微蚀液或加入一定量H2SO4、Na2S2O8并加水至液位并开启打气；

4.每班分析3次，即4小时分析一次。

a、每升槽液生产30-40m2或药水添加量达50MTO时换缸；

b、更换时将槽液全部排放，消除缸内壁沉积铜，洗净后重新配。

生产控制与维护

5.3.1新开缸药水须化验分析，确保浓度正常范围，检查各药水缸温度应达到正常范围；

5.3.2取三架裸基材板依沉铜线正常程序拖缸。

每架双面累积应达沉铜缸最佳负载，即0.2ft2/L；

5.3.3紧接拖缸板后做一架生产板，抽取生产板背光，要求：

双面板级以上，多层板级以上（详见背光等级表）。

正常后批量生产，并连续生产，并连续跟进至少3缸板。

5.3.4生产过程中须做好生产记录，药水补加尽可能少量多次，以保持各药水缸浓度平衡，前处理各缸药水每生产100m2补加一次，化铜缸视生产板而定，每架板至少6m2时，累积6m2补加166A、B液各1L,每架大于6m2时，生产一架添加一次。

添加量计算：

添加量（L）=累积生产面积m2/6m2；

5.3.5每次开拉前须检查设备运行状况，待温度升到正常管控要求，化验分析调整各药水缸浓度后，拖缸做板，步骤同、；

5.3.6无化验室的厂家，每次开拉前，沉铜缸须补加DS-166A、B各15ml/L，停产12小时以上，还须补加至少5ml/L甲醛（37%）。

PTH线停产处理方法：

5.4.1停产前沉铜少添加一次药水；

5.4.2关掉所有药水缸中的加热器；

5.4.3关掉水洗缸的入水阀及打气阀；

5.4.4保持沉铜缸有打气及过滤；

5.4.5保持活化缸有循环；

5.4.6长时间停产或放假，须将药水缸盖好，尤其是活化槽。

PTH线停电及机械故障处理方法：

5.5.1当遇停电或机械故障时把正浸在药水槽中的板取出水洗待重做；

5.5.2当遇停电机械故障不超过10分钟，浸在水洗缸中的板可正常往后生产如若不然须取出重做；

5.5.3在沉铜缸内板可继续沉铜至足够时间，然后取出至板电；

5.5.4停电时间超过4小时，须用纯水酸制，用AR级硫酸中和沉铜缸中的NaOH，用量约为7ml/L（AR级硫酸）；

5.5.5返工板程序:

微蚀→水洗→磨板→PTH工序

沉铜效果检测：

5.6.1背光检测：

每生产四小时检测一次，具体见背光对照表；

5.6.2孔铜附着力检测：

沉铜板做到成品后，进行热冲击实验，孔铜不脱离为OK。

六、PTH线常见问题及处理

背光级数表

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七、