洁净厂房设计规范标准文档格式.docx
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等级
每立方米（每升）空气中
≥0.5微米尘粒数
≥5微米尘粒数
100级
≤35×
100（3.5）
1000级
1000（35）
≤250（0.25）
10000级
10000（350）
≤2500（2.5）
100000级
100000（3500）
≤25000（25）
注：
对于空气洁净度为100级的洁净室内大于等于5微米尘粒的计算应进行多次采样。
当其多次出现时，方可认为该测试数值是可靠的。
第2．0．2条洁净室空气洁净度等级的检验，应以动态条件下测试的尘粒数为依据。
洁净室空气洁净度的测试，应符合附录二规定。
第三章
总体设计
第一节洁净厂房位置选择和总平面布置
第3.1.1条洁净厂房位置的选择，应根据下列要求并经技术经济方案比较后确定：
一、应在大气含尘浓度较低，自然环境较好的区域；
二、应远离铁路、码头、飞机场、交通要道以及散发大量粉尘和有害气体的工厂、贮仓、堆场等有严重空气污染、振动或噪声干扰的区域。
如不能远离严重空气污染源时，则应位于其最大频率风向上风侧，或全年最小频率风向下风侧；
三、应布置在厂区内环境清洁、人流货流不穿越或少穿越的地段。
第3．1．2条对于兼有微振控制要求的洁净厂房的位置选择，应实际测定周围现有振源的振动影响，并应与精密设备、精密仪器仪表允许环境振动值进行分析比较。
第3．1．3条洁净厂房最大频率风向上风侧有烟囱时，洁净厂房与烟囱之间的水平距离不宜小于烟囱高度的12倍。
第3.1.4条
洁洁厂房与交通干道之间的距离不宜小于50米。
第3．1．5条洁净厂房周围宜设置环形消防车道（可利用交通道路），如有困难时，可沿厂房的两个长边设置消防车道。
第3．1．6条洁净厂房周围的道路面层，应选用整体性好、发尘少的材料。
第3．1．7条洁净厂房周围应进行绿化。
可铺植草坪、种植对大气含尘农度不产生有害影响的树木，并形成绿化小区。
但不得妨碍消防操作。
第二节工艺布置和设计综合协调
第3．2．1条工艺布置应符合下列要求：
一、工艺布置合理、紧凑。
洁净室或洁净区内只布置必要的工艺设备以及有空气洁净度等级要求的工序和工作室。
二、在满足生产工艺要求的前提下，空气洁净度高的洁净室或洁净区宜靠近空气调节机房，空气洁净度等级相同的工序和工作室宜集中布置，靠近洁净区人口处宜布置空气洁净度等级较低的工作室。
三、洁净室内要求空气洁净度高的工序应布置在上风侧，易产生污染的工艺设备应布置在靠近回风口位置。
四、应考虑大型设备安装和维修的运输路线，并预留设备安装口和检修口。
五、应设置单独的物料人口，物料传递路线应最短，物料进入洁净区之前必须进行清洁处理。
第3．2．2条洁净厂房内宜少设隔间，但在下列情况下可予以分隔。
一、按生产的火灾危险性分类，甲、乙类与非甲、乙类相邻的生产区段之间，或有防火分隔要求者。
二、生产过程中产生较强噪声或散发较多热量、尘粒和有害气体，且不能采取局部措施加以控制者。
三、生产联系少，并经常不同时使用的两个生产车间之间。
第3．2．3条洁净厂房的平面和空间设计，宜将洁净区、人员净化、物料净化和其他辅助用房进行分区布置。
同时应考虑生产操作、工艺设备安装和维修、气流组织型式、管线布置以及净化空气调节系统等各种技术设施的综合协调效果。
第3．2．4条洁净厂房设计必须合理确定各种管线的平面位置和竖向标高。
第3．2．5条洁净厂房内各种固定技术设施（如送风口、照明器、回风口、各种管线等）的布置，宜首先考虑净化空气调节系统的要求。
第三节噪声控制
第3．3．1条洁净室内的噪声级，应符合下列要求：
一、动态测试时，洁净室内的噪声级不应超过70分贝A。
二、空态测试时，乱流洁净室的噪声级不宜大于60分贝A；
层流洁净室的噪声级不应大于65分贝A。
（1）由于技术经济条件限制，或噪声大于70分贝A对生产无影响时，噪声级可适当放宽，但不宜大于75分贝A；
（2）上述噪声级是指在室内每一个工作点人耳位置（人离开）的测量值。
对于变动噪声，则取相同位置处在一个正常工作日内的等效连续声压级。
第3．3．2条洁净室的噪声频谱限制，应采用倍频程声太级；
各频带声压级值不宜大于表3.3.2的规定。
第3．3．3条洁净厂房的平、剖面布置，应考虑噪声控制的要求，其围护结构应有良好的隔声性能，并宜使各部分隔声量相接近。
第3．3．4条洁净室内的各种设备均应选用低噪声产品。
对于辐射噪声超过洁净室允许值的设备，应设置专用隔声设施（如隔声间、隔声罩等）。
第3.3.5条净化空气调节系统噪声超过允许值时，应采取隔声、消声、隔声振等控制措施。
除事故排风外，应对洁净室内的排风系统进行减噪设计。
第3．3．6条净化空气调节系统，根据室内噪声级的要求，风管内风速宜按下列规定选用：
一、总风管为6～10米/秒。
二、无送、回风口的支风管为6～8米/秒。
三、有送、回风口的大风管为3～6米/秒。
第3．3．7条洁净厂房的噪声控制设计必须考虑生产环境的空气洁净度要求，不得因控制噪声而影响洁净室的净化条件。
第四节振动控制
第3.4.1条洁净厂房和周围辅助性站房内有强烈振动的设备（包括水泵等）及其通往洁净室的管道，应采取积极隔振措施。
第3．4．2条对洁净厂房内外各类振源，应测定其对洁净厂房的综合振动影响。
如受条件限制，也可根据经验对综合振动影响进行评价。
并应与精密设备、精仪器仪表的允许环境振动值进行比较，以确定对其采取必要的隔振措施。
第3．4．3条精密设备、精密仪器仪表的隔振措施，应考虑减少发生量、保持洁净室内合理的气流组织等要求。
当采用空气弹簧隔振台座时，应地气源进行处理，使其达到洁净室的空气洁净度等级。
第五章空气净化
第一节一般规定
第5．1．1条洁净厂房内各洁净室的空气洁净度等级的确定，应符合下列要求：
一、洁净室内有多种工序时，应根据各工序的不同要求，采用不同的空气洁净度等级。
二、在满足人生产工艺要求的前提下，洁净室的气流组级别，宜采用局部工作区空气净化和全室空气净化相结合的形式。
第5.1.2条
层流洁净室和乱流洁净室以及运行班次和使用时间不同的洁净室，其净化空气调节系统均宜分开设置。
第5．1．3条洁净室内的计算温、温度、应符合下列规定：
一、满足生产工艺要求
二、生产工艺无温、湿度要求时，洁净室温度为20～26度，温度70度。
第5．1．4条洁净室内应保证一定的新鲜空气量，其数值频取下列风量中的最大值；
一、乱流洁净室总送风量的10%～30%，层流洁净室总送风量的2～4%。
二、补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量。
三、保证室内每人每小时的新鲜空气量不小于40立方米。
第5．1．5条洁净区的清扫，宜采用移动式高效真空吸尘器或设置集中式真空吸尘系统。
洁净室内集中式真空吸尘系统的管道，应暗敷。
第5．1．6条在净化空气调节系统设计中，对施工和维护管理要求，可按附录四和附录五的规定。
第二节洁净室正压控制
第5．2．1条洁净室必须维持一定的正压。
不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区之间的静压差，应不小于4.9Pa，洁净区与室外的静压差，应不小于9.8Pa。
第5．2．2条洁净室维持不同的正压值所需的正压风量，宜按下式计算：
Q＝q1·
Σ（q·
L）
（5.2.2）
式中
Q––维持洁净室正压值所需的正压风量（米3/时）；
a––根据围扩结构气密性确定的安全系数，可取1.1～1.2；
q––当洁净室为某一正压值时，其围护结构单位长度缝隙的渗漏风量（米3/时·
米）；
L––围扩结构的缝隙长度（米）。
第5．2．3条围护结构单位长度缝隙的渗漏风量，可按表5.2.3采用。
`
压差（Pa）
门
窗
形
式
非密闭门
密闭门
单层固定密闭木窗
单层固定密闭钢窗
单层开启式密闭钢窗
传递窗
壁板
漏风量（米3/时·
米）
`4.9
17
4
1.0
0.7
3.5
2.0
0.3
9.8
24
6
1.5
4.5
3.0
0.6
14.7
30
8
1.3
6.0
4.0
0.8
19.6
36
9
2.5
7.0
5.0
24.5
40
10
2.8
1.7
8.0
5.5
1.2
29.4
44
11
1.9
8.5
1.4
34.3
48
12
2.1
9.0
39.2
52
13
3.8
2.3
10.0
7.5
44.1
55
15
10.5
49.0
60
16
4.4
2.6
11.5
第5．2．4条送风、回风和排风系统的启闭联锁。
系统开启时，联轴和序应为先启动送风机，再启动回风机和排风机，系统关闭时，则闻锁程序应相反。
第5．2．5条非连续运行的洁净室，可根据生产工艺要求设置值班风机，并应对新风进行处理。
第三节气流组组织和送风量
第5．3．1气流组织的选择，应符合下列要求：
一、洁净工作区的气流速度，应满足空气洁净度和人体健康的要求，并应使洁净工作区气流流向单一。
二、回风口宜均匀布置在洁净室下部。
三、余压阀宜设在洁净室气流的下风侧，不宜设在洁净工作区高度范围内。
第5．3．2条洁净室的气流组织和送风量，宜按表5.3.2选用。
第5．3．3条乱流洁净室的送风量，应取下列规定的最大值；
一、为控制室内空气洁净度所需要的送风量。
二、按表5.3.2规定的送风量。
三、根据热、湿负荷计算和稀释有害气体所需的送风量。
四、按空气平衡所需要的送风量。
第5.3.4条当生产工艺仅要求在洁净室内局部工作区达到更高的空气洁净度时，其气流组织设计应使洁净气流首先流经该工作区，或在洁净室的不同区域形成不同气流流型和空气洁净度等级的洁净工作区，其型式可分别按图5.3.4-1、5.3.4-2。
第5．3．5条层流洁净室内不宜设置洁净工作台；
乱流洁净室内可设置洁净工作台，但其位置应远离回风口
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