无尘车间洁净度实用标准Word格式.docx
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10000
100000
≧0.5
≧5
10
65
700
+13
（+1.3）
以上
19.4—
25
22.2
±
2.8
特别时为±
1.4
45
30
5
层流方式
0.45m/s
0.1m/s
非层流方式
≧20次/h
1080--1620
表8,美国联邦规格No.209E的洁净度级别分类
级别上限值是各级别名。
上限值用指定粒径以上的浓度（单位堆积粒子数）表示。
*
级别名称**
级别上限值
0.1um
0.2um
0.3um
0.5um
5um
SI***
English
Unit
（m3）
（ft3）
MI
M1.5
M2
M2.5
M3
M3.5
M4
M4.5
M5
M5.5
M6
M6.5
M7
1
350
1240
3500
12000
35000
--
9.91
35.0
99.1
991
75.7
265
757
2650
7570
26500
75700
2.14
7.50
21.4
75.0
214
750
2140
30.9
106
309
1060
3090
10600
30900
0.875
3.00
8.75
30.0
87.5
300
875
10.0
35.3
353
3530
1000035300
353000
1000000
3530000
10000000
0.283
1.00
2.83
28.3
283
2380
28300
283000
247
618
2470
6180
24700
61800
7.00
17.5
70.0
175
1750
*上表中表示的级别上限值仅仅是为了级别分类而定义的，并不表示实际的粒径分布值。
**针对中间级别的浓度上限值，用如下的公式进行计算。
粒子直径/m3=10M（0.5/d）2.2，其中，M:
SI单位里的级别名称，D:
粒径（um）
***国际单位（SystemeInternationald’Unites的缩写）
图1，209E的洁净度级别（图略）图中的●标记表示评价洁净度级别用的对象粒子。
（）内数值是用Englishunit表示级别。
图2，JISB9920的洁净度级别的上限浓度
表9，JISB9920主要内容
标准粒径（um）
累计粒子数（个/m3）
2
3
4
6
7
8
0.1
101
102
103
104
105
107
108
表10，美国航空宇宙局规格主要内容
生物净化间级别
生物粒子
室内
压力
Pa
℃
Lx
累计
粒子数
个/ft
（个/l）
浮游量
沉降量
（3.5）
（350）
65（2.3）
（3500）
700（25）
（0.0035）
0.5
（0.0176）
2.5
（0.0884）
1200
（12900）
6000
（64000）
30000
（323000）
推
荐
值
40—
50
非层流式
1080—
1620
三、不同用途所要求的洁净度
如前所述，净化间的级别一般分成M3.5（100）、M4.5（1000）、M5.5（10000）、M6.5（100000）4个级别。
但根据各产业领域的作业工序不同，形成必要的级别是不一样的。
例如，在半导体制造工厂等里边，根据作业内容，要求有M1（10）—M5.5（1000）的净化间。
而且，在制药工厂里，根据产品的纯度、作业工序，需有从M3.5到M6.5（100，000）范围广泛的级别不等净化间。
因此说，各种产业所需要的净化间，其要求的洁净度是不同的。
就一般级别而言，表11可以作为参考。
表11，各产业所要求的净化间级别一览
领域和产业
洁净度标准（级别）
内容
SI
Englishunit
半导体工业
（IC、LSI等）
掩模板对准工艺
刻蚀工艺
腐蚀加工
扩散工艺
高纯度扩散
蒸着工艺
高纯度电镀
涂布工艺
感光剂涂布
电子设备
计算器制造
10,000
磁头
阴极射线管
10,000,
遮屏
磁带
防止杂音
精密仪器
陀螺、微型轴承
提高精度
导弹部件、继电器
防止误动作
钟表、小型计量仪器
组立、封装、修理
光学、印刷
照相机、印刷电路板
制作
镜头、胶片
1,000
连接
电子制版
制作、检查
化学药品
注射液充填
调和、充填
无菌动物养育
SPF
抗生物
充填、检查
一般医疗品
100,000
制造
食品
酿造、发酵
防止酱油、大酱腐坏
乳制品、生食品
防止酸乳酪变质
食肉加工
火腿、香肠
搅拌（弄成糊状）食品
搅拌后备烤的圆筒形、半圆形鱼肉、鱼肉山芋丸子等食品制冷时防止细菌粘附上。
医疗
手术室
股关节手术、脏器移植
特殊治疗室
白血病、烫伤
恢复、新生儿室
早产儿、术后防止感染
临床检查
菌类培植、检查
农林畜产
蘑菇栽培
防止蘑菇种菌被杂菌感染
植物
兰花栽培（试验用无菌植物、强势培植植物）
养殖
防止鱼、蚕类因菌侵袭致死
微生物工程
一般病原体
马尔堡病毒、拉萨氏热、艾伯拉出血热（排出空气）
基因转换
大肠菌（排出空气）
三、净化间的形式分类
作为净化间的分类方法，一般都是根据室内气流形状来划分的。
按这个方法，净化间可大致分为如下三大类。
1，垂直层流型（降下流方式）
这是一种将HEPA或ULPA过滤器安装在天花板上，从顶板上往下直对地面，能以同样的速度向净化间提供洁净空气的方式。
这种设备体积庞大，造价也很昂贵，但作为净化间的性能，无论是从什么方面讲，它都是最好的。
2，水平层流型（交叉流方式）
这是将HEPA或ULPA过滤器安装在壁板上，从墙壁上向对面墙壁以同样的速度提供洁净空气的一种方式。
由于是水平层流，所以，与气流的上流侧相比，下流侧的洁净程度要低一些。
但它与垂直层流方式相比的话，具有设备较小，费用较低的特点。
3，非层流型（常规型）
与上述几种层流形式相比，其设备费用要低廉很多，但由于出现了非层流部分，室
内气流发生紊乱，微粒子浮游在空中，很难保证高的洁净度。
M3.5级（100）及M4.5级（1000）的场合
在洁净度要求达到M3.5级及M4.5级的场合，其大部分都能达到层流型。
垂直层流型（降下气流方式）范例图3
HEPA过滤器
热交换器
HEPA过滤器
档粗大尘埃过滤器
外气
预过滤器加湿器活性炭过滤器
2，水平层流型（交叉流方式）范例图4
档粗尘过滤器
外气
HEPA过滤器预过滤器加湿器活性炭过滤器
图注：
活性炭过滤器在外气被气体污染的场合下使用。
在净化间里湿度的控制也非常重要。
建议使用可实施严格控制的阿姆斯特龙公司产的干蒸汽式加湿器。
表12垂直层流型的概要及特点
概要
特点
吹出口、过滤器位置
天花板（80以上）（图3）
优点：
●不会被室内的作业人数、作业状态左右，能保证高度的洁净度。
●由于是垂直层流，换气次数多，所以，在短时间内得到高水准的洁净度。
●几乎不会发生尘埃堆积，即便是被污染，也能很快恢复。
缺点
●设备费高
●运转成本高
●净化间面积很难扩建
吹入口位置
筛条或孔板（图3）
气流状态
垂直层流
换气次数（气流速度）
250—650次/h0.25m/s左右
温度范围
22℃±
1—3℃
湿度范围
RH45%±
5-10%
室内外压力差
5-25Pa（
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