无尘车间洁净度实用标准Word格式.docx

1、100001000000.551065700+13（+1.3）以上19.42522.22.8特别时为1.445305层流方式0.45m/s0.1m/s非层流方式20次/h1080-1620表8, 美国联邦规格No.209E的 洁净度级别分类级别上限值是各级别名。上限值用指定粒径以上的浓度（单位堆积粒子数）表示。*级别名称*级别上限值0.1um0.2um0.3um 0.5um5umSI*EnglishUnit（m3）（ft3）MIM1.5 M2M2.5M3M3.5M4M4.5M5M5.5M6M6.5M71350124035001200035000-9.9135.099.199175.726575

2、72650757026500757002.147.5021.475.0214750214030.91063091060309010600309000.8753.008.7530.087.530087510.035.3353353010000 3530035300010000003530000100000000.2831.002.8328.32832380283002830002476182470618024700618007.0017.570.01751750 * 上表中表示的级别上限值仅仅是为了级别分类而定义的，并不表示实际的粒径分布值。* 针对中间级别的浓度上限值，用如下的公式进行计算。

3、粒子直径/m3=10M（0.5/d）2.2，其中，M : SI单位里的级别名称，D : 粒径（um）*国际单位（Systeme International dUnites的缩写）图1 ，209E的洁净度级别（图略） 图中的标记表示评价洁净度级别用的对象粒子。（ ）内数值是用English unit 表示级别。图2 ，JIS B 9920的洁净度级别的上限浓度表9，JIS B 9920主要内容 标准粒径（um）累计粒子数（个/m3）2346780.1101102103104105107108表10，美国航空宇宙局规格主要内容生物净化间级别生物粒子室内压力Pa Lx累计粒子数个/ft（个/l）浮游

4、量沉降量（3.5）（350）65（2.3）（3500）700（25）（0.0035）0.5（0.0176）2.5（0.0884）1200（12900）6000（64000）30000（323000）推荐值4050非层流式10801620三、不同用途所要求的洁净度如前所述，净化间的级别一般分成M3.5（100）、M4.5（1000）、M5.5（10000）、M6.5（100000）4个级别。但根据各产业领域的作业工序不同，形成必要的级别是不一样的。例如，在半导体制造工厂等里边，根据作业内容，要求有M1（10）M5.5（1000）的净化间。而且，在制药工厂里，根据产品的纯度、作业工序，需有从M3.

5、5到M6.5（100，000）范围广泛的级别不等净化间。因此说，各种产业所需要的净化间，其要求的洁净度是不同的。就一般级别而言，表11可以作为参考。表11，各产业所要求的净化间级别一览领域和产业洁净度标准（级别）内容SIEnglish unit半导体工业（IC、LSI等）掩模板对准工艺刻蚀工艺腐蚀加工扩散工艺高纯度扩散蒸着工艺高纯度电镀涂布工艺感光剂涂布电子设备计算器制造10,000磁头阴极射线管10,000,遮屏磁带防止杂音精密仪器陀螺、微型轴承提高精度导弹部件、继电器防止误动作钟表、小型计量仪器组立、封装、修理光学、印刷照相机、印刷电路板制作镜头、胶片1,000连接电子制版制作、检查化学药

6、品注射液充填调和、充填无菌动物养育SPF抗生物充填、检查一般医疗品100,000制造食品酿造、发酵防止酱油、大酱腐坏乳制品、生食品防止酸乳酪变质食肉加工火腿、香肠搅拌（弄成糊状）食品搅拌后备烤的圆筒形、半圆形鱼肉、鱼肉山芋丸子等食品制冷时防止细菌粘附上。医疗手术室股关节手术、脏器移植特殊治疗室白血病、烫伤恢复、新生儿室早产儿、术后防止感染临床检查菌类培植、检查农林畜产蘑菇栽培防止蘑菇种菌被杂菌感染植物兰花栽培（试验用无菌植物、强势培植植物）养殖防止鱼、蚕类因菌侵袭致死微生物工程一般病原体马尔堡病毒、拉萨氏热、艾伯拉出血热（排出空气）基因转换大肠菌（排出空气）三、净化间的形式分类作为净化间的分类

7、方法，一般都是根据室内气流形状来划分的。按这个方法，净化间可大致分为如下三大类。1， 垂直层流型（降下流方式）这是一种将HEPA或ULPA过滤器安装在天花板上，从顶板上往下直对地面，能以同样的速度向净化间提供洁净空气的方式。这种设备体积庞大，造价也很昂贵，但作为净化间的性能，无论是从什么方面讲，它都是最好的。2， 水平层流型（交叉流方式）这是将HEPA或ULPA过滤器安装在壁板上，从墙壁上向对面墙壁以同样的速度提供洁净空气的一种方式。由于是水平层流，所以，与气流的上流侧相比，下流侧的洁净程度要低一些。但它与垂直层流方式相比的话，具有设备较小，费用较低的特点。3， 非层流型（常规型）与上述几种层

8、流形式相比，其设备费用要低廉很多，但由于出现了非层流部分，室内气流发生紊乱，微粒子浮游在空中，很难保证高的洁净度。M3.5级（100）及M4.5级（1000）的场合在洁净度要求达到M3.5级及M4.5级的场合，其大部分都能达到层流型。垂直层流型（降下气流方式）范例 图3HEPA过滤器 热交换器 HEPA过滤器 档粗大尘埃过滤器 外气 预过滤器 加湿器 活性炭过滤器2，水平层流型（交叉流方式）范例 图4 档粗尘过滤器外气 HEPA过滤器 预过滤器 加湿器 活性炭过滤器图注：活性炭过滤器在外气被气体污染的场合下使用。 在净化间里湿度的控制也非常重要。建议使用可实施严格控制的阿姆斯特龙公司产的干蒸汽式加湿器。表12 垂直层流型的概要及特点概要特点吹出口、过滤器位置天花板（80以上）（图3）优点： 不会被室内的作业人数、作业状态左右，能保证高度的洁净度。 由于是垂直层流，换气次数多，所以，在短时间内得到高水准的洁净度。 几乎不会发生尘埃堆积，即便是被污染，也能很快恢复。缺点 设备费高 运转成本高 净化间面积很难扩建吹入口位置筛条或孔板（图3）气流状态垂直层流换气次数（气流速度）250650次/h0.25m/s左右温度范围22 13湿度范围RH45% 5-10%室内外压力差5-25Pa（