全玻璃真空太阳集热管工艺操作规程Word格式.docx

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10000（V/V）的配比配制洗洁净溶液。

往第二、第三水槽内注满去离子水。

6.1.2内管清洗

6.1.2.1将内管水平放置在周转小车内，打开一次水阀门，对玻璃管进行充分浸

润。

6.1.2.2开启清洗机，用绸子布蘸配比为1：

100（V/V）的洗洁净溶液擦拭内管，要求所有表面均要擦到；

然后把擦好的管子插入清洗机的旋转杆冲洗5秒，再逐支依次放入第二、第三水槽内进行涮洗，最后将洗净的管子管口向下逐支插在内管烘干车内。

*不使用清洗机操作的，执行以下操作步骤：

用绸子布蘸配比为1：

100（V/V）的洗洁净溶液擦拭内管，要求所有表

面必须擦到，擦洗过程中内管的外表面必须见到洗洁净白沫。

b.把擦洗好的内管逐支放入第一水槽内，用绸子布在水中平均擦洗一遍。

c.然后再逐支放入第二水槽内涮洗洁净，最后将洗净的管子管口向下逐支插在内管烘干车内。

6.1.2.3在清洗过程中，若发觉内管的内壁有泥土、油污或其它污渍存在，则用专用工具逐支刷净，然后再重复6.1.1.2的操作。

6.1.2.4打开去离子水阀门，对放置在烘干车内的内管进行反复冲洗，让水流由

上而下平均流过每支管子，要求每个地点都充分冲洗到。

6.1.2.5控水至无明显水珠后，戴上细纱手套，别处戴无损的一次性手套，把内

管管口向上逐支插在内管烘干车内。

6.1.3外管清洗

6.1.3.1将外管平放在周转车内，打开一次水阀门，浸润玻璃管的内、外壁，然后利用专用工具逐支将外管的内壁擦洗洁净。

用绸子布将外管的外壁擦洗洁净，再将外管逐支插在外管烘干车内。

6.1.3.2对插放在烘干车内的外管，用一次水进行多次冲洗后再用去离子水冲洗外管的内、外壁，要求外管的内、外壁都要充分冲洗到，然后控水至无明显水珠。

6.1.4换水

清洗机水槽内的水每六小时更换一次；

第二、第三水槽内的去离子水每

四小时更换一次。

6.1.5烘干

6.1.5.1技术要求

烘箱烘干温度操纵为120℃±

10℃。

6.1.5.2预备

检查设备、供电正常后将烘箱内清理洁净。

6.1.5.3操作步骤

将已控好水的内、外管分别推进烘箱，每台烘箱内放置3辆小车。

关闭烘箱门，开启电源（风机开关赶忙打开），外表盘上绿色指标灯亮，风机正常运转。

打开快速加热开关和加热保温开关，烘箱开始全功率加热；

当烘干室温度达到外表的设定温度时，红色指示灯亮，现在关闭快速加热开关，烘箱进入自动保温状态。

当烘箱保温20分钟后，断开保温加热开关，烘干室开始降温。

当温度自然降温至80℃以下后，关闭电源。

在烘干的过程中，应按要求填写《烘

干操作记录》。

6.1.6产品经自检合格后转下工序。

6.2JT-800型镀膜机镀膜

6.2.1技术要求

6.2.1.1铝靶的直径≥58mm；

6.2.1.2压缩空气的压强应达到0.4~0.6Mpa；

6.2.1.3镀膜操作室的室温小于35℃，相对湿度小于70%RH；

6.2.1.4操作工每班应用吸尘器对镀室清理一次。

6.2.2操作步骤

6.2.2.1预备

打开压缩空气阀门，检查空气压强是否达到0.4~0.6Mpa。

打开冷却循环水阀门，同时检查通水状况是否良好，各水管的接头和阀门有无泄漏。

检查氩气、氮气、乙炔三种气体的联接状况，看接头是否有泄漏。

分别打开氩气、氮气、乙炔三个气瓶的总阀，检查气瓶内压力。

若氩气、氮气的高压表的显示值低于0.5MPa，乙炔高压表的显示值低于0.3MPa，则需更换新气瓶。

6.2.2.2开机

a.开启本机电源。

开机械泵同时压差电磁阀开、前级阀开，等2分钟以后，开复合压强操纵仪电源，当电离计显示数值低于7Pa后开扩散泵，并记录扩散泵的加热时刻。

分别缓慢调剂氩气、氮气、乙炔三个气瓶上的减压阀，使得氩气、氮气

的低压表读数操纵在0.1~0.2MPa之间，不得超过0.2MPa；

乙炔低压表读

数操纵在0.05~0.1MPa之间。

打开质量流量计显示器电源开关，进行预热约5分钟。

打开运算机电源，输入工艺卡片中规定的工艺参数。

f.扩散泵加热超过60分钟后，将阀档拨至“放气”位置，放气后将阀档由“放气”档拨至“停”位置，然后打开镀室门，然后用吸尘器清理镀室。

6.2.2.3装管

打开转架电源开关，将电压调至80±

10V之间，将合格内管插入转架插杆。

装管时，预先戴好洁净的细纱手套，外层再戴上无损的未使用过的一次性手套，戴好之后不许触摸其他物品，如门、车把、桌椅等。

玻璃管全部插满插杆后，观看每支管子的自转状态，确定玻璃管间无碰撞后，关闭转架电源开关，关闭镀室门。

6.2.2.4粗抽真空

将阀档转换开关由“停”拨至“粗抽”位置，2分钟后开复合压强操纵仪电源，同时将电离计开关拨至“自动”。

热偶计开始显示读数。

6.2.2.5精抽真空

当热偶计显示值达到7Pa后，将阀档转换开关由“粗抽”经“停拨至“精抽Ⅰ”位置，每档转换间隔应停顿10秒钟左右，使阀门充分关闭。

6.2.2.6清靶

当电离计显示值达到1.0×

10-2Pa后，将阀档转换开关拨至“精抽Ⅱ”档，同时将复合压强操纵仪上压强开关由“测量”拨至“操纵”。

开启转架电源开关，将电压调至80±

10V之间。

开启磁控靶电源，如启动时过流报警，可反复启动“报警位”和“启动

位”按扭，直至正常放电；

然后调剂电流旋钮，直至放电电压达400V以上。

6.2.2.7溅射镀膜

启动运算机，按下“运行”键，同时把质量流量计开关拨至“阀控”位置。

当镀膜机处于溅射工作状态时，操作员不得离开操纵柜，要随时观看设备的运行状态，注意各仪器外表显示的数值变化，严格按要求填写《镀膜操作记录》。

6.2.2.8装配支架

在镀膜机抽真空的过程中，操作工应完成装填支架的预备工作。

装填支架前，检查支架清洗是否洁净，焊接是否牢固。

支架装填到外管的圆头部，装填时应幸免支架划伤外管的内壁。

装填支架必需使用专用工具并配戴一次性手套，不得用手直截了当接触支架以免造成污染。

支架装填完毕后，在外管管口部位装上护套，以备出炉时装管使用。

装填护套时，操作工应戴一次性手套或细纱手套。

6.2.2.9终止溅射镀膜

当运算机显示层数为最末一层的2~1分钟时，执行如下操作：

按下靶电源“停止”键，然后把激磁电流调至“0”值。

按下运算机“复位”键。

将氮气、乙炔计量流量计开关由“阀控”拨至“关闭”。

将复合压强操纵仪由“操纵”拨至“测量”，将阀档转换开关由“精抽Ⅱ”档拨至“精抽Ⅰ”档。

当镀室内真空度达到9.0×

10-3Pa以上后，将阀档转换开关由“精抽Ⅰ”档拨至“停”，关复合压强操纵仪电源，停顿10秒钟后将阀档转换开关由“停”拨至“放气”，当无气流嘶响声后打开镀室门，再将阀档转

换开关拨至“停”。

6.2.2.10出管

取管：

手握已镀膜管下部垂直往上提，使管口脱离转架轴，将镀膜管移出镀室。

内外管装配：

手握已镀膜内管，管口向上，管身竖直放入已装好护套的外管中；

放入时应注意幸免内管的圆头划伤外管内壁，使其轻缓下落，直至接触到支架。

内管装入外管后，按住内管端口往下轻压，使支架包住圆头，装配完毕后，取下护套。

注意：

凡将镀膜管装入外管或从外管内取出时，都必须使用护套。

如因外管缩口确实装不进护套时，则必需用手护着镀膜管，慢慢进出，确保膜层无划伤。

6.2.2.11连续工作时重复6.2.2.3~6.2.2.10的操作步骤。

6.2.2.12产品经自检合格后，由操作工在内管管口部位印上工号，转下工序。

6.2.4关机

6.2.4.1在镀膜机停止工作前，先关镀室门，开“粗抽”阀，将镀室的真空度抽到7Pa以下。

6.2.4.2关“粗抽”阀，关“扩散泵”（即“扩散泵”开关拨至“机械泵”）

6.2.4.3关闭三气总阀（高压、低压）.

6.2.4.4在扩散泵停止加热60分钟后，关机械泵（阀档转换开关拨至“停”）。

6.2.4.5关循环水，关电源总开关。

6.2.4.6设备关机后长期停放，则需放净水套及盘管内的循环水，并用高压空气吹干。

6.3JT-850型镀膜机镀膜

6.3.1技术要求

同6.2.1的规定

6.3.2操作步骤

6.3.2.1预备

同6.2.2.1的规定

6.3.2.2开机

开启本机电源。

将机箱操纵面板上的电源开关置于“开”的位置，屏幕显现系统自检过程，直到操纵系统的第一个画面。

按下“坚持泵”按钮，延时1分钟后，“坚持阀”开，按下“机械泵”按钮，然后再按下“粗抽阀”按钮，当电离计显示数值低于7Pa时，开扩散泵，记录扩散泵加热时刻。

扩散泵加热超过90分钟后，方可进行正常的操作。

分别缓慢调剂氩气、氮气、乙炔三个气瓶上的减压阀，使得氩气、氮气的低压表读数操纵在0.1~0.2MPa之间，不得超过0.2MPa；

乙炔低压表读数操纵在0.05~0.1MPa之间。

按下“放气”按钮，放气后按下“停”，然后打开镀室门，用吸尘器清理镀室。

6.3.2.3装管

同6.2.2.3条的规定

6.3.2.4粗抽真空

选择“自动”状态，系统第一进入“粗抽”，2分钟后开压强操纵仪电源，热偶计开始显示读数。

6.3.2.5精抽真空

当热偶计显示值小于7Pa时，自动进入“精抽Ⅰ”，同时打开电离计。

6.3.2.6清靶

a.当高真空达到0.8×

10-2Pa（电离计显示值）后，自动进入“精抽Ⅱ”。

b.转架旋转电源开关自动打开，检查电压是否在60±

10V之间，不符合则用手动调整。

c.等复合压强操纵仪稳固后，手动起靶，直至放电正常，然后调剂电流旋

钮，直至电压达400V以上。

6.3.2.7溅射镀膜

启动运算机，按下“运行”键。

按下机箱操纵面板上的“镀膜”按钮。

当镀膜机处于溅射工作状态时，操作工不得离开操纵柜，随时观看设

备的运行状态，注意各仪器外表显示的数值变化，严格按要求填写

《镀膜操作记录》。

6.3.2.8装配支架

同6.2.2.8的规定

6.3.2.9终止溅射镀膜

运算机运行完前2~1秒，执行如下操作：

按下“镀膜完成”画面上的“返回”按钮，放气完毕后，按下“停”按钮。

10-3Pa以上后，高阀自动关闭，关复合压强操纵仪电源，选择“手动”状态，按下“放气”按钮，放气完毕后，按下“停”按钮。

6.3.2.10出管同6.3.2.10的规定

6.3.2.11连续工作时重复6.3.2.3~6.3.2.10的操作步骤。

6.3.2.12产品经自检合格后，由操作工在内管管口部位印上工号，转下工序。

6.3.3关机

6.3.3.1当镀膜机要停止工作时，执行如下机程序

6.3.3.2在镀膜机停止工作前，先关镀室门，按下“粗抽”按钮，将镀室真空度抽到7Pa以下。

6.3.3.3按“停”按钮，按“扩散泵”按钮停扩散泵。

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