晶圆设备说明书播放版Word文件下载.docx

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100kg工件主轴负荷（含夹具）：

35kg（最长150mm）砂轮尺寸：

355*50*152.7砂轮转速：

1783R.P.M.X轴自动快速移动距离：

40mm砂轮轴座最小设定值（微调）：

0.001mm砂轮轴座最大旋转角度：

30砂轮轴座手动距离：

160mm砂轮轴座滑台可补充移动量：

95（总计295mm）进刀手轮每转（每刻度）：

2（0.005）mm进刀手轮直进研磨量：

00.35mmY轴行走速度：

50/4000m/minY轴旋转角度：

-2,+13Y轴最小自动往复行程：

8mmY轴手轮每转进给量（两段式）：

20mm工件主轴台旋转角度：

120（+90,-30）工件主轴台顶针斜度：

MT-No.4工件主轴台主轴转速：

1645R.P.M.尾座顶针斜度：

MT-No.4尾座心轴移动距离：

25mm砂轮轴驱动马达：

3.7KW（4P）砂轮轴润滑泵浦马达：

0.18KW（2P）工件主轴台马达：

0.8KW（AC伺服）油压泵浦马达：

0.75KW（6P）切削液泵浦马达：

0.18KW（2P）数控轴数：

NC-1轴（X轴）工作台最大旋径：

0.18KW（2P）型号：

GU32X60S型号：

GU32X60NC6数控轴数：

2轴（X轴+Y轴）砂轮斜角：

30工作台最大旋径：

600mm（有效距离400）最大研磨直径：

300mm两顶心最大承受重量：

405*50*127mm砂轮线速度：

30m/s砂轮转速：

1783R.P.M.X轴快移速度：

6m/min砂轮轴座最小设定值：

0.001mmY轴快移速度：

6m/min左右滑台最小设定值：

0.001mm左右滑台旋转角度：

012工件主轴台旋转角度：

-3090deg工件主轴台顶针斜度：

10300R.P.M.尾座顶针斜度：

25mm电压：

220V控制回路：

24VDC砂轮轴驱动马达：

3.7KW（4P）砂轮轴座进给马达：

1.2KW（AC伺服）砂轮轴润滑泵浦马达：

0.8KW（AC伺服）左右滑台驱动马达：

500W（AC伺服）油压泵浦马达：

0.18KW型号：

OCD-32607产品优势的制程品控管严谨质用心建立各位各人的量念，高量的制程必建立在岗员质观质须高准的量念基上。

标质观础落实ISO量管理制度及质CNS精度准是本公司定的检验标坚生信念。

料至成品出之所有工序流程，每一都必产从进货环节格行量管理，符合量准。

须严执质并质检验标有各精密器，提供制程中及成品，以到更高拥种检验仪检验达的量准。

质标本公司秉持着必设备须100%通量后，才能成客过质检验为的富生工具。

户财产秀的机体优结构设计机体采用高米制成，理及效理后再加级汉纳铸铁经烧炖处时处工，滑高周波硬化理，精密磨。

机体材定，无轨经处研质稳变形之，且耐磨耗性。

虑优异机械完全依据人体工原理而，床身重心低，提升结构学设计结定性。

构稳部采用最合理的强化，确保最佳机械性。

内结构设计刚床身滑磨后，再精密花。

轨经研铲重点在于高效率、高精度易操控性。

设计与简8优秀的高精度设计主重，采用精密承，支撑固。

无是外轴头结构稳并轴稳论径研磨、孔磨、端面磨等，精度。

内研研优异32/42系列品之主产更采用伺服，可无段速整。

轴头马达驱动变调砂主采用高合金材（轮轴级钢SNCM-220）精密加工制成。

正常化、渗理、深冷理等多重里完后，再经调质碳处处处经精密磨面理，主表面硬度高研与镜处轴达HRC62以上。

主无形、无磨耗之，促使磨精度高。

轴热变问题研砂主采用液体承，完全无金之接磨擦，提升轮轴静压轴属间触主性佳的抗震性能，精度可轴刚与绝达0.001mm。

尾座滑采用油浴式滑系，确保尾座的高精度。

滑润润统随时润系附有油量表，方便操作或油量。

高性尾座定统计检视刚稳锁固于滑道上，心管移采用油，提供更方便更快速顶轴动压驱动的工件料卸料。

夹与工作台砂滑面，采用先的自滑系，大量提与轮动进静压动润统升滑的，刀更加精准，亦提高加工的精度。

动顺畅进控回路符合；

控回路采用高件成，控制性能可电欧规电级组组靠且使用命。

寿长控箱附交器，确保控回路的常作，以及控制型能电热换电温运之定性。

且控制箱具有防特性。

稳尘9绝佳的操控性能CNC系列具有控制特性，配合助微工作主之旋两轴辅细轴转。

即使定在任何角度，砂仍保持直刀及退刀，砂及设轮头线进轮工件之向位置容易。

纵检查特殊微磨功能，使面磨及端面磨精度易进给研设计镜研研轻达到0.001mm。

NC/CNC系列控制面板操作方便，彩色形示。

附有三色警图显示灯、分离式手轮-整机更加方便、急停止按调试紧钮-可瞬退砂。

间开轮NC/CNC系列砂修整循可存最多五砂形式；

可定轮环储种轮设三砂修整模式粗修、半精修、精修。

种轮NC/CNC系列适合少量多磨，生效率提升样研产30%以上。

公司品皆通产过ISO-9001洲器欧电安全准标CE认证101.砂轮法兰一组2.砂轮修整座一组3.工具箱（手工具）一套4.顶针（尾座）二支5.油压系统（含泵浦）一套6.工作灯一组A.四爪夹头二组B.水力分离机一组C.纸带式冷却液除屑装置一组D.平衡台及棒一组E.专用尾座一组F.钻石砂轮一只标准配件特别配件GU32X60S111.砂轮法兰一组2.砂轮修整座一组3.工具箱（手工具）一套4.顶针（尾座）二支5.油压系统（含泵浦）一套6.工作灯一组7.NC控制器一组A.四爪夹头二组B.水力分离机一组C.纸带式冷却液除屑装置一组D.平衡台及棒一组E.专用尾座一组F.钻石砂轮一只标准配件特别配件GU32X60NC121.光学尺（X轴）一组2.砂轮法兰一组3.砂轮修整座一组4.工具箱（手工具）一套5.顶针（尾座）二支6.油压系统（含泵浦、油温控制器）一套7.工作灯一组A.四爪夹头二组B.水力分离机一组C.纸带式冷却液除屑装置一组D.平衡台及棒一组E.专用尾座一组F.钻石砂轮一只标准配件特别配件OCD-326013直磨循示进研环图直砂修整循示进轮环图14加工照片15加工影片例实16大光机械股有限公司长荣份PALMARYMachineryCo.,Ltd.TEL:

+886-4-24929799FAX:

+886-4-24929499Address：

412台台中大里市工路湾县业77号NO.77,GongyeRd.,DaliCity,TaichungCounty412,Taiwan上虞大金湖精密机床有限公司ShangyuDaikinkoSeikiCo.,Ltd.TEL:

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