镀膜真空术语全集中英文对照Word文档下载推荐.docx
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6-1.标准真空计referencegauges：
6-2.校准系统systemofcalibration：
6-3.校准系数Kcalibrationcoefficient：
6-4.压缩计法meleodgaugemethod：
6-5.膨胀法expansionmethod：
6-6.流导法flowmethod：
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1.真空系统vacuumsystem?
1-1.真空机组pumpsystem：
1-2.有油真空机组pumpsystemusedoil：
1-3.无油真空机组oilfreepumpsystem
1-4.连续处理真空设备continuoustreatmentvacuumplant：
1-5.闸门式真空系统vacuumsystemwithanair-lock：
1-6.压差真空系统differentiallypumpedvacuumsystem：
1-7.进气系统gasadmittancesystem：
2.真空系统特性参量
2-1.抽气装置的抽速volumeflowrateofapumpingunit：
2-2.抽气装置的抽气量throughputofapumpingunit：
2-3.真空系统的放气速率degassing（outgassing）throughputofavacuumsystem：
2-4.真空系统的漏气速率leakthroughputofavacuumsystem：
2-5.真空容器的升压速率rateofpressureriseofavacuumchamber：
2-6.极限压力ultimatepressure：
2-7.残余压力residualpressure：
2-8.残余气体谱residualgasspectrum：
2-9.基础压力basepressure：
2-10.工作压力workingpressure：
2-11.粗抽时间roughingtime：
2-12.抽气时间pump-downtime：
2-13.真空系统时间常数timeconstantofavacuumsystem：
2-14.真空系统进气时间ventingtime：
3.真空容器
3-1.真空容器；
真空室vacuumchamber：
3-2.封离真空装置sealedvacuumdevice：
3-3.真空钟罩vacuumbelljar：
3-4.真空容器底板vacuumbaseplate：
3-5.真空岐管vacuummanifold：
3-6.前级真空容器（贮气罐）backingreservoir：
3-7.真空保护层outerchamber：
3-8.真空闸室vacuumairlock：
3-9.真空冷凝器；
蒸汽冷凝器deviceforcondensingvapor：
4.真空封接和真空引入线
4-1.永久性真空封接permanentseal：
4.2.玻璃分级过渡封接gradedseal：
4-3.压缩玻璃金属封接***pressionglass-to-metalseal：
4-4.匹配式玻璃金属封接matchedglass-to-metalseal：
4-5.陶瓷金属封接ceramic-to-metalseal：
4-6.半永久性真空封接semi-permanentseal：
4-7.可拆卸的真空封接demountablejoint：
4-8.液体真空封接liquidseal?
4-9.熔融金属真空封接moltenmetalseal：
4-10.研磨面搭接封接groundandlappedseal：
4-11.真空法兰连接vacuumflangeconnection：
4-12.真空密封垫vacuum-tightgasket：
4-13.真空密封圈ringgasket：
4-14.真空平密封垫flatgasket：
4-15.真空引入线feedthroughleadthrough：
4-16.真空轴密封shaftseal：
4-17.真空窗vacuumwindow：
4-18.观察窗viewingwindow：
5.真空阀门
5-1.真空阀门的特性characteristicofvacuumvalves：
⑴.真空阀门的流导conductanceofvacuumvalves：
⑵.真空阀门的阀座漏气率leakrateofthevacuumseat：
5-2.真空调节阀regulatingvalve：
5-3.微调阀micro-adjustablevalve：
5-4.充气阀chargevalve：
5-5.进气阀gasadmittancevalve：
5-6.真空截止阀breakvalve：
5-7.前级真空阀backingvalve：
5-8.旁通阀by-passvalve：
5-9.主真空阀mainvacuumvalve：
5-10.低真空阀lowvacuumvalve：
5-11.高真空阀highvacuumvalve：
5-12.超高真空阀；
UHV阀ultra-highvacuumvalve：
5-13.手动阀manuallyoperatedvalve：
5-14.气动阀pneumaticallyoperatedvalve：
5-15.电磁阀electromagneticallyoperatedvalve：
5-16.电动阀valvewithelectricallymotorizedoperation：
5-17.挡板阀bafflevalve：
5-18.翻板阀flapvalve：
5-19.插板阀gatevalve：
5-20.蝶阀butterflyvalve：
6.真空管路
6-1.粗抽管路roughingline：
6-2.前级真空管路backingline：
6-3.旁通管路；
By-Pass管路by-passline：
6-4.抽气封口接头pumpingstem：
6-5.真空限流件limitingconductance：
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6-6.过滤器filter：
5.?
1.一般术语
1-1真空镀膜vacuumcoating：
1-2基片substrate：
1-3试验基片testingsubstrate：
1-4镀膜材料coatingmaterial：
1-5蒸发材料evaporationmaterial：
1-6溅射材料sputteringmaterial：
1-7膜层材料（膜层材质）filmmaterial：
1-8蒸发速率evaporationrate：
1-9溅射速率sputteringrate：
1-10沉积速率depositionrate：
1-11镀膜角度coatingangle：
2.工艺
2-1真空蒸膜vacuumevaporationcoating：
（1）.同时蒸发simultaneousevaporation：
（2）.蒸发场蒸发evaporationfieldevaporation：
（3）.反应性真空蒸发reactivevacuumevaporation：
（4）.蒸发器中的反应性真空蒸发reactivevacuumevaporationinevaporator：
（5）.直接加热的蒸发directheatingevaporation：
（6）.感应加热蒸发inducedheatingevaporation：
（7）.电子束蒸发electronbeamevaporation：
.激光束蒸发laserbeamevaporation：
（9）.间接加热的蒸发indirectheatingevaporation：
（10）.闪蒸flashevaportion：
2-2真空溅射vacuumsputtering：
（1）.反应性真空溅射reactivevacuumsputtering：
（2）.偏压溅射biassputtering：
（3）.直流二级溅射directcurrentdiodesputtering：
（4）.非对称性交流溅射asymmtricalternatecurrentsputtering：
（5）.高频二极溅射highfrequencydiodesputtering：
（6）.热阴极直流溅射（三极型溅射）hotcathodedirectcurrentsputtering：
（7）.热阴极高频溅射（三极型溅射）hotcathodehighfrequencysputtering：
.离子束溅射ionbeamsputtering：
（9）.辉光放电清洗glowdischargecleaning：
2-3物理气相沉积PVDphysicalvapordeposition：
2-4化学气相沉积CVDchemicalvapordeposition：
2-5磁控溅射magnetronsputtering：
2-6等离子体化学气相沉积；
PCVDplasmachemistryvapordeposition：
2-7空心阴极离子镀HCDhollowcathodedischargedeposition：
2-8电弧离子镀arcdischargedeposition：
3.专用部件
3-1镀膜室coatingchamber：
3-2蒸发器装置evaporatordevice：
3-3蒸发器evaporator：
3-4直接加热式蒸发器evaporatorbydirectheat：
3-5间接加热式蒸发器ev
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