封装流程介绍.ppt
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陸封裝流程介紹,一.晶片封裝目的二.IC後段流程三.IC各部份名稱四.產品加工流程五.入出料機構,IC構裝係屬半導體產業的後段加工製程,主要是將前製程加工完成(即晶圓廠所生產)之晶圓上IC予以分割,黏晶、並加上外接引腳及包覆。
而其成品(封裝體)主要是提供一個引接的介面,內部電性訊號亦可透過封裝材料(引腳)將之連接到系統,並提供矽晶片免於受外力與水、濕氣、化學物之破壞與腐蝕等。
晶片封裝的目的,WaferIn,WaferGrinding(WG研磨),WaferSaw(WS切割),DieAttach(DA黏晶),EpoxyCuring(EC銀膠烘烤),WireBond(WB銲線),DieCoating(DC晶粒封膠),Molding(MD封膠),PostMoldCure(PMC封膠後烘烤),Dejunk/Trim(DT去膠去緯),SolderPlating(SP錫鉛電鍍),TopMark(TM正面印碼),Forming/Singular(FS去框/成型),LeadScan(LS檢測),Packing(PK包裝),ProductionTechnologyCenter,傳統IC封裝流程,去膠/去緯(Dejunk/Trimming),去膠/去緯前,去膠/去緯後,F/S的型式,傳統IC成型Forming,Formingpunch,Forminganvil,ProductionTechnologyCenter,BGA封裝流程,TE-BGAProcessFlow(ThermalEnhanced-BGA),DieBond,WireBond,Plasma,HeatSlugAttach,Molding,BallPlacement,Plasma,EpoxyDispensing,IC封裝後段流程,MD(封膠)(Molding),BM(背印)(BackMark),D/T(去膠/去緯)(Dejunk/Trim),SP(電鍍)(SolderPanting),F/S(成型/去框)(Form/Singulation),F/T(功能測試)(Function/Test),PK(包裝)(Packing),PMC(烘烤)(PostMoldCure),MC(烘烤)(MarkCure),TM(正印)(TopMark),LS(檢測)(leadScan),WIREBOND(WB),MOLDING(MD),POST-MOLD-CURE(PMC),DEJUNK/TRIM(DT),PREMOLD-BAKE(PB),前言:
MOLDING,若以封裝材料分類可分為:
1.陶瓷封裝2.塑膠封裝1.陶瓷封裝(CERAMICPACKAGE):
適於特殊用途之IC(例:
高頻用、軍事通訊用)。
黑膠-IC,透明膠-IC,2.塑膠封裝(PLASTICPACKAGE):
適於大量生產、為目前主流(市佔率大約90%)。
IC封裝製程是採用轉移成型(TRANSFERMOLDING)之方法,以熱固性環氧樹脂(EPOXYMOLDINGCOMPOUND:
EMC)將黏晶(DA)、銲線(W/B)後之導線架(L/F)包覆起來。
封膠製程類似塑膠射出成形(PLASTICINJECTIONMOLDING),是利用一立式射出機(TRANSFERPRESS)將溶化的環氧樹脂(EPOXY)壓入中間置放著L/F的模穴(CAVITY)內,待其固化後取出。
材料:
Material,LeadFrame,EpoxyMoldingCompound,IC塑膠封裝材料為熱固性環氧樹脂(EMC)其作用為填充模穴(Cavity)將導線架(L/F)完全包覆,使銲線好的晶片有所保護。
LeadFrame稱為導線架或釘架,其目的是在承載晶片及銲金線用,使信號得以順利傳遞,而達到系統的需求。
空模,合模,放入L/F,灌膠,開模,離模,MOLDINGCYCLE,所謂IC封裝(ICPACKAGE)就是將IC晶片(ICCHIP)包裝起來,其主要的功能與目的有:
一、保護晶片避免受到外界機械或化學力量的破壞與污染。
二、增加機械性質與可攜帶性。
熱固性環氧樹脂(EMC),金線(WIRE),L/F外引腳(OUTERLEAD),L/F內引腳(INNERLEAD),晶片(CHIP),晶片托盤(DIEPAD),IC封裝成品構造圖,Ejectorpinmark,IC產品各部名稱,1.去膠(Dejunk)的目的:
所謂去膠,是指利用機械模具將大腳間的廢膠去除;亦即利用沖壓的刀具(Punch)去除掉介於膠體(Package)與障礙槓(DamBar)之間的多餘膠體。
2.去緯(Trimming)的目的:
去緯是指利用機械模具將大腳間金屬連接桿切除。
由於導線架(LeadFrame)內腳(InnerLead)已被膠餅(Compound)固定於Package裡,利用Punch將DamBar切斷,使外腳(OutLead)與內部線路導通,成為單一通路而非相互連接。
3.去框(Singulation)的目的:
將已完成蓋(Mark)製程的LeadFrame,以沖模的方式將聯結桿(TieBar)切除,使Package與LeadFrame分開,方便下一個製程。
4.成型(Forming)的目的:
將已去框(Singulation)Package之OutLead以連續沖模的方式,將產品腳彎曲成所要求之形狀。
F/S產品之分別,在傳統IC加工中,依照腳的型狀來區分有以下幾種:
1.引腳插入型:
以P-DIP(P1)為主。
2.海鷗型:
以QFP、TSOP、TSSOP、SOP、LQFP等產品為主。
3.J型腳:
以PLCC、SOJ等產品為主。
產品加工流程圖,入出料主要是將導線架(LeadFrame)由物料盤(Magazine)送上輸送架(BarorBridge)進入模具內做沖切;在機檯中,入出料機構的夾具動作大多以氣壓作動。
入料出料機構(ON-OFFLOADING),D/TandF/S,magazine,F/S入料機構和D/T的入料機構大致相同,均以magazine作為入料盒,至於出料方式,D/T為magazine,而F/S工作行程最後均將IC從導線架上取出所以,出料機構總共分為二個部份:
1.Tray盤2.Tube管,出料機構說明,D/TandF/S,