xps分析软件.docx

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xps分析软件

XPS软件分析说明

1.不同格式数据之间的转换

（1）将非filename.vms格式数据转换成filename.vms格式数据

Casaxps处理filename.vms格式的数据，我们的仪器可以直接给filename.vms格式的数据，但一般情况下给出的是filename，不加任何后缀的文件，这种文件可以用记事本，excel，origin等打开，但是不能用Casaxps打开，但是可以转换成可以用casaxps打开的文件，转换方式如下：

将我们给出的原始数据用excel打开，将bindingenergy和intensity（CPS）两列数据取出放在一个新建的txt文档下，删掉一些没用的东西，确保数据格式符合X-Y两列。

将修改好的txt文档改为dat文档（直接修改后缀），然后将dat文件放在一个只有dat文件的专门文件夹里，这个很重要，如果这个文件夹里有其它格式的文件，那么就无法完成数据的转换。

打开casaxps软件，点convert按钮，在专门存放dat数据的文件夹下找到需要转换的文件，打开就完成了转换。

记住，一旦打开就会在该文件夹下生成一个filename.vms格式的文件，这样会导致其它文件无法转换，将这个新生成的文件转移到其它文件夹下就可以了，这样新生成的filename.vms文件就可以直接在Casaxps里面打开了。

（2）将filename.vms格式数据转换成txt格式数据

在Casaxps里面将filename.vms格式的文件打开，点击saveTabAsclltoclipbard按钮,出现如下界面，点击copyalltoclipboard键，将clipboardsection界面关闭后，将复制的数据粘贴到txt文档即可。

Casaxps软件处理filename.vms格式的文件

1.用casaxps处理宽谱能够得到的信息:

（1）定性分析：

归属宽谱中各个峰。

图1为经过峰归属后所得到得xps谱图。

峰归属步骤

打开vms格式文件，点击Options→Elements，出现Elementlibrary窗口，点击Periodictable，出现一张元素周期表，点击findpeak，宽谱上各个峰就被归属了。

但是，这时候归属的峰多，不容易分辨，可以做一些修饰。

点击Options→Annotation，出现Annotation窗口，点击peaklabels，会出现很多峰相对应的信息如O1s、C1s等等，点击其中一个，点Apply，峰就被标记出来，这样标记完所有重要而又明显的峰后，再次点击Options→Elements→Periodictable→Clearallelements，峰归属与标记就完成了。

然后点击Options→Tiledisplay，出现Tiledisplayparameter窗口，点Display，该窗口的最下面有Title，在空白框里输入想命名的英文文件名，如GaN1wide。

（2）元素含量分析

含量分析步骤

在峰归属基础上，点击Options→Elements→Periodictable→Findpeaks，宽谱上可能有的元素在周期表上为红色，选择想要计算元素含量的元素，点击CreatRegion,就计算出了各个元素的含量，然后点击Clearallelements。

另一种计算含量的方法：

正确识别各峰后，可以按照处理窄谱的方法处理宽普：

点击工作区使其处于激活状态，点击quantify按钮，出现下面界面，点regions，再点creat，

点creat出现下面界面后，如图中红箭头所指位置处，左右移动边界，选定要计算含量的区域，得到如下图：

按照此方法将其与需要计算含量的元素的区域画出来

在Annotation窗口下，点Quantification,选上如图的选项，点Apply就会得到含量报告。

元素含量和峰重合，看不清，怎样将它们分开呢？

方法1：

如下所示快捷键，任意点击一个按钮可以将谱图移动，按自己的需要来点击这两个按钮，直至达到要求为止。

方法2：

如下图，在annotation窗口下，点击annotationhistory,将其激活，会出现左图，有红色方框的说明能够移动，点住name上的红色方框，向右移动即可。

一些常用的快捷键

这些快捷键相关的操作在option下均可以找到。

2.用casaxps处理精细谱

具体操作步骤：

扣背底--分峰、拟合--含量计算

打开vms格式的窄谱文件，点击工作区使其处于激活状态，点击quantify按钮，出现下面界面，点regions，再点creat，

点creat出现下面界面后，如图中红箭头所指位置处，左右移动边界，选定要分峰的区域，即扣背底

扣背底后出现下面界面

点component，在component状态下点击creat，根据谱图特点点击creat分出一个峰后先拟合一下，再点击creat分第二个峰，拟合

在component状态下点击creat，直至分出所有峰，点击Fitcomponent，出现以下界面。

点annotation按钮，激活component，点apply，出现以下界面。

完成分峰、拟合、含量计算。

荷电校正

由于在测试过程中会发生结合能的偏移，完成分峰拟合含量计算之后就要进行荷电校正，我们的仪器一吸附碳的结合能284.6eV作为标准，进行校正，步骤如下：

点击processing按钮，出现如下窗口，点击calibration,在measured后面的空格中输入吸附碳测量值，在true后面的空格中输入标准值284.6，将有图红色框中的两个选项打钩，点apply即可

下面的结果就是经过校正后的最终结果

3.将拟合好的数据保存为.TXT格式

点击saveTabAsclltoclipbard按钮,出现如下界面，点击copyalltoclipboard键，将clipboardsection界面关闭后，将复制的数据粘贴到txt文档即可。

如果该步操作无法进行，可能是没有输入该软件的用户名和序列码，点击help下拉菜单aboutCasaxps,输入正确的用户名和序列号（用户名和序列号保存在SN.txt文本文档中），其它的操作如上。

将从casaxps转换出的数据导入到origin后的谱图

导入到origin后可以像处理其它数据一样，去掉第一列（动能列），修改一下坐标，作图，标注峰名称，就得到可以应用的最终结果。

导入到origin后可以像处理其它数据一样，去掉第一列（动能列），修改一下坐标，作图，标注峰名称，就得到可以应用的最终结果。