plasma 机台维护保养.docx

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plasma机台维护保养

PLASMA機台保養類別

Ø週保養

Ø季保養

Ø年度保養

Plasma機台週保養

1、將掉落於電極的鋁粉及Chamber壁的污染物用酒精擦拭（操作員手可觸及的範圍）

2、添加Oilpump真空油至8份滿（注意用油型號）

3、檢查pump是否漏油

4、檢查RF的反射功率是否太高

當反射功率大於8W時請通知鈦昇服務人員

當反射功率大於15W時請關機

5、機台的散熱風扇是否運轉

Plasma機台季保養

1、機台外觀擦拭

2、chamber內壁及o-ring溝槽用酒精擦拭

3、察看電極的濾網是否破裂

4、電極外觀用酒精擦拭

5、更換Oilpump真空油

Plasma機台年度保養

ØChamber清洗

ØOilpumpoverhaul

ØRootspumpoverhaul

Ø電極清洗

Ø玻璃shield清洗

ØMFC校正　

Chamber清洗

Oilpumpoverhaul

Rootspumpoverhaul

基本上兩年overhaul一次，視使用狀況而定

電極清洗

玻璃shield清洗

MFC校正

送回原廠校正