晶圆芯片ICLEDTFTLCD紧急呼吸系统设计施工规范.docx

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晶圆芯片ICLEDTFTLCD紧急呼吸系统设计施工规范

晶圆、芯片、IC、LED、TFT-LCD紧急呼吸系统设计施工规范

目录

1．一般说明

2．产品、材料

3．施工

3

1．一般说明

1.1通则

1.2说明

供应制程机台操作人员呼吸使用来源,POU2-3kg/c㎡,dewpoint2-5℃,1.8cmm,oilfree

buffertank3m3

压缩空气系统的设计、建造、检验和测试等之一般要求。

本章说明气控用压缩空气系统的设计、建造、检验和测试等之一般要求。

1.3适用范围

1.3.1.空气压缩机及空气槽

1.3.2.压缩空气管路及其专用设备

1.3.3.冷冻式空气干燥机

1.3.4.设备基座及避震安装

1.4相关法规及标准

1.4.1.空气压缩机试验法

1.4.2.ASTMB280空调及冷冻现场用SUS304钢管

1.4.3.ANSI/ASMEB1622锻造钢及钢合金软焊接合压力管件

1.5质量保证

1.5.1.承包商所提供本章所规范之产品应为专业制造至少有五年以上之生产经验并有

相同使用实绩。

1.5.2.空气质量验收标准：

lSO8573-1CLASS1.4.1.。

1.6文件送审

1.6.1.承包商应提送器材设计数据，包括制造厂名称、型号、尺寸、性能及结构.，性

能曲线，噪音，震动，材质说明。

1.6.2.设计数据：

检送计算及选择压缩机，空气管线计算之设计数据。

1.6.3.检送厂商证明书以证明产品符合或优于规范要求。

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2.产品

2.1.空压机、驱动马达及传动部品

2.1.1所有的空压机必须是采大气进气无油式，无油式，整台无需外置无油润滑，确

保吸气空气质量。

2.1.2.空压机需经良好之平衡，内附减震系统，并于场内测试完成之整组空压机。

压

缩机并备有冷却水系统，故空压机之设计所需条件，为气冷式，但需在环境温度46℃时，机器

仍能正常运转。

2.1.3.空压机以低转速运行较佳，有进排气阀装置，需有足够之尺寸并在操作时不发

生振动。

压缩机需配备完整之配件如排放阀、排放管、释压阀、进排气阀、压力表、其它能够

显示运转状态、及运转装置必须之配件。

2.1.4.空压机之设计需符合BS1751，ASMEPTC-P或相等之标准。

2.1.5.空压机需用电动马达驱动，马达之动力需有1.15-1.20负荷系数之运转系数以

克服最低之进气温度时最大之力矩。

2.1.6.设备需有隔离声音及振动的设计。

机器内部使用减震器设计，以供正常运转时

之振动频率与设备之自然频率间不致产生共振现象，且其运转范围内需无临界转速之问题。

（静

音型）在空压机组正常运转时，需无地板振动发生，必要时空压机组加装避震器。

2.2.空气过滤器

2.2.1进气过滤器需能处理个别空压机之最大进气量。

所有其它之过滤器，其最大处理

量须等于空压机运转之输出量。

所有过滤器必须设计为在正常运转下能旋风过滤杂质不需维护

待过滤器压差上升时提供压差显示。

2.2.2.进气过滤器须能在充满灰尘之空气情况下工作。

最低寿命须为6，000小时以上。

2.2.3.精密过滤器须为可移动匣式设计，能处理最大压力下之最大空气量。

它必须能

移除压缩空气中之灰尘及其它外来物质。

精密过滤器须配置自动泄水器，可自动泄水。

2.2.4.活性炭初级精密过滤器，满足食品级CGNP制造。

2.2.5.中级精密过温器以lSO8573-1CLASS1为基准颗粒残存量为0.1μm以下油气残存

量：

0.01mg/m3。

2.3.空气干燥机

空气干燥机须为冷冻式出口空气需能在露点2℃，并以露点显示5%值为主，TIMER为辅控制干燥

机之切换。

2.4.压缩空气储

2.4.1.压缩空气储槽须遵照ASTM标准，DlN，BS5169相等标准设计与制造。

2.4.2.压缩空气储槽须为立式，盘式端板，焊接构造并经适当地防蚀涂装，唯其中仪

表用空气储槽若位于空气干燥器上游，则其材质须为不锈钢。

附有接头、仪表、释放阀、冷却

水等。

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2.5.工具

厂商须提供设备安装及保养所需之特殊工具和量具，以及完整的操作手册。

2.6产品、材料

POU8kg/c㎡,dewpoint2℃,1.8cmm,oilfreebuffertank3m3

Atlas

2.6.1设备数量：

2台

2.6.2规格说明：

2.6.2.1每台压缩机主要配备：

2.6.2.1.1马达及联轴器

2.6.2.1.2气水分离器

2.6.2.1.3水冷式（或气冷）热交换器

2.6.2.1.4基座,整体防噪音箱DB<65

2.6.2.1.5控制及起动盘

2.6.2.2型式：

气冷式

2.6.2.3流量：

1.8NM3/min

2.6.2.4工作压力：

8KG/cm2调压pou3-5kg/c㎡

2.6.2.5环境操作温度：

:

20℃~35℃

2.6.2.6马达：

2.6.2.6.1电源：

3φ、380V、50Hz

2.6.2.6.2马力：

依厂商选用

2.6.2.7外观：

需具有防噪音、防尘（整体防噪音箱）

2.6.2.8油漆：

防酸、耐蚀、抗擦伤之灰色漆

2.6.2.9本设备需为整体式,整组机组组合安装于一坚固之钢质基座上,且需考虑设备震动

之问题及保护、压缩机之入出口需接防震接头,震动标准为设备本身水平及垂直震

动值≦10mm/sec。

2.6.2.10DRYER,冷冻式

2.6.2.11buffertank3m3碳钢烤漆

2.6.2.12界面:

设备所需水,电,气由厂商自配接至预留点

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3.施工

3.1.安装

3.1.1.依照供应设备厂商说明书安装。

3.1.2.将空气压缩机安装于基础台上，以金属线加强橡胶软管作气管振动隔离。

3.1.3.制程用空气之供给是将压缩机之出气经由过滤器、减压阀、释压阀，以及阻断

阀、旁通阀而送达制程气源。

3.1.4.装设减压站，包括减压阀及其管路、进出口压力表及释压阀。

3.1.5.冷冻式空气干燥机安装于空气槽出气端，垫以橡皮，再安置干燥机，将调压器

安装于干燥机下游，自动排水管配至最近之地板落水。

3.1.6.管路须隐蔽，唯机房、储藏室及类似地方亦得使用配置，整齐且其适当吊架支

撑之明管。

3.1.7.在连接控制组件以前，空气管路应以干燥无油之压缩空气吹净。

3.1.8.管路系统上，每间隔100米即应安装一只不锈钢防震软管，且在通过结构体之

伸缩缝处亦然。

3.1.9.整套呼吸系统SUS304不锈钢配管氢焊，最终过滤器后至各使用点配管依设计图

说要求。

3.2.检验和测试

3.2.1.配有驱动机构之完整的压缩机组须在交运前，在制造厂的工厂内做好检验和测

试工作并于验收前提出原厂试车报告。

3.2.2.压缩机的原设计数据上，将依据原厂指明所需之测试项目。

3.2.3.所有受压零件均须做最大允许工作压力的1.15倍的压力试验而且持压30分钟

以上并提供原厂压力容器证明文件。

3.2.4.在呼吸系统设备的额定容量下，至少保持1小时以上的机械运转测试。

然后进

行性能测试去检查并记录出口温度、压力、容量、振动和消耗功率。

3.2.5.制造厂厂内合格之测试及检验，并不能构成厂商免除设备在现场使用时的保固

责任，亦不能因检验而解除在任何状况所应负之责任。

3.2.6.设备测试时所使用的测量设备与仪器，必须有有效的校正报告。

3.2.7.设备组件在测试时发现其特性或机械性能未能符合技术规范之要求，必须加以

修理改善时，其先前测试项目均将不予接受，并于设备改善完成后重新进行各项测试。

3.3施工

不锈钢管及管件配管

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3.3.1材料

3.3.1.1直管及管件

管材应采[AISUS304]焊接用不锈钢，其管壁厚应符合[Sch.10S]之规定。

3.3.1.2接头

直管及管件接头为焊接或螺纹接头。

若需以突缘连接时，突缘接头应按[JIS

5kgf/cm2]规格制造。

3.3.1.3弯头，Ｔ型，渐缩管及管端接头（StubEnd）等管配件为氩焊制成，其管壁

厚应符合[Sch.10S]以上之规定或同等级成型之产品。

又若以螺纹接头连接时，当D＞50mm

时，其连接另件包括弯头、Ｔ型、渐缩管及管端接头等，采用[铸铁]或[不锈钢]制；又当D

≦50mm时，采用[青铜]制。

3.3.1.4突缘及螺栓均须为不锈钢。

3.3.2准备工作

3.3.2.1管端须整孔并去除毛头。

3.3.2.2组合前先去除管内外之锈皮及杂物。

3.3.2.3准备管线与设备连接用之凸缘及管套节。

3.3.3施工期间之防护措施

在整个管路施工期间以及每日工作结束时，须对所有管路开口予以覆盖及适

当防护，以预防脏物或其它污物进入管路。

3.3.4管线之组合制造

3.3.4.1一般要求

3.3.4.2管线之组合制造，应考虑以尽量减少现场焊接为原则。

3.3.4.3焊于管上之吊环，应使用与管子相同之材料。

3.3.4.4管子切割须使用切管机或管子割刀，断口应用锉刀或刮刀锉平，避免损

伤管子。

3.3.4.5在厂组合制造完成之管线，运往工地前，应按规范予以清洗，清洗后管

端应用厚金属板，予以点焊封盖，在未作最后焊接时，不得拆除。

3.3.4.2不锈钢管之接合

3.3.4.2.1螺纹接合（50mm及以下）

将管端切割平整，修去毛边，并清除锉屑及灰尘，使用适当之螺纹纹割工具，绞

割成带斜面之管螺纹，接合时，先将螺纹表面净洁，在公螺纹部分[贴上PTFE胶

带][涂氧化铅与甘油之混合剂，加绕油麻丝][涂含石墨之润滑油][其它经认可之

螺纹接合剂][其它经核可工法]，旋入母螺纹予以绞紧，以防漏水。

螺纹之深度，

长度应合于标准规定，管子接合后露出管外之螺绞数，不得超过三条。

3.3.4.2.2对焊接合（65mm以上）

不锈钢管之焊接应采用氩气（TIG）焊接，并依据焊接规范施工。

除应慎选焊工

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及焊条外，应注意管材之焊前处理。

管壁厚[3mm]及以上者，应开V型焊口。

对

接焊深度约为板厚之1/2。

V型开口焊接深度与板厚同。

焊缝应连续，不得中断，

首尾衔接应重迭[10mm]。

焊接凸缘时，管插入凸缘其管端应与底部保持与管壁同

厚之距离，凸缘面与管接触部位应作开口，两面焊接，凸缘一面焊于管端，另一

面焊于管外壁。

3.3.4.2.3突缘接头接合

3.3.5管线之安装

3.3.5.1一般规定

3.3.5.1.1设计图所示之管线配置位置，并非绝对遵循之路线，承包商应在施工前，

充分了解工地情况，以及与其它工程间之关系，对有冲突之处，应与有关人员协

调，作适当之调整[并依据「工程管理需求」规定提送施工详图，经工程司核准

后施工]。

如因疏忽及缺乏协调而蒙受损失，应由承包商自行负责，不得要求追

加工程价款或补偿。

3.3.5.1.2管线应尽可能采用直线配置，避免不必要之偏位或交错，以及凹陷及造

成气囊。

管线排列应与梁柱及地坪面保持平行，以及适当之斜度，倾向泄水或排

气位置，预留空间以便安装保温材料，并考虑阀及管配件之检修通路。

如阀及管

配件安装于未露明处所，须预留检修门（孔），其大小应符合规定。

3.3.5.1.3安装管线须能允许膨胀或收缩，无应力作用于管子、接头或所连接之设

备上。

3.3.5.1.4不论图说有无说明，所有水管，应于必要高点装设排气阀，低点装设泄

水阀。

3.3.5.1.5所有与机器设备相连接之管子，或管线日后有拆卸保养顾虑处，应采用

管套接或凸缘连接，不同材质之金属管，使用隔电管套接。

3.3.5.1.6管线穿越墙面或地板者应按设置套管。

3.3.5.1.7主管进入建筑设施内部前，以及各支管之起点，应设置隔离阀，以利日

后维修，但另有规定者除外。

3.3.5.1.8焊接歧管，以及使用焊接管件改变管路方向，必须使用标准管件，不允

许使用管子互相切角插接或交接，去代替肘管及T型管。

3.3.5.1.9地下金属管须防蚀包覆。

3.3.5.1.10管线油漆依「油漆」规定办理。

3.3.5.1.11所有管线须有良好的支撑，并应考虑设备的振动、流体温度及压力。

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