隧道式硅微加速度计设计

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2、硅微加速度计调研报告资料I. 近十年硅微电容式加速度计发展综述I.1. 概述 MEMS加速度计具有非常广泛的应用,由于其批量制造低成本的特性,在过去的若干年广泛应用于消费电子市场,取得了巨大的成功.然而MEMS加速度计的发展并不止步于此,新。

3、MEMS CAD硅微加速度计的实体建模及网格化分和加载求解分析硅微加速度计的实体建模及网格化分和加载求解分析一 实验目的1学会如何进行实体建模和实体的基本结构分析;2学会如何将实体网格化并求解;3学会如何对求解结果后处理并据此优化设计模型。

4、隧道式硅微加速度计的设计及仿真平时上课出勤及表现20实验课出勤实验结果检查实验报告期中测试30课程结业试题理论设计总结报告50课程最终成绩上面表格为该课程最终成绩记入方式.20132014学年 第2学期MEMS CAD课程毕业试题学 院: 。

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