1、场发射扫描电镜技术标书场发射扫描电镜技术标书附件:场发射扫描电镜技术标书一、设备用途扫描电镜是一种多功能的仪器,广泛地用于材料的微观组织观察、微区成分分析、材料的断口分析、材料的晶粒度分析、夹杂物分析及织构表征等,可对导电及不导电的固体材料进行表面形貌的观察及成分分析。场发射电镜能够实现更高分辨率的形貌观察,可实现对超细晶材料尤其是纳米材料的表征。基于相关附件,也可以对材料在温度及应力作用下的动态变化进行原位观察。仪器包括电子光学系统、真空系统、样品室和样品台、探测器及成像系统、图像处理系统、应用软件及数据处理软件、X射线能谱分析仪(EDS)、背散射电子衍射分析仪(EBSD)、原位加热台。二、
2、技术参数1运行环境1.1工作温度:可以在1525环境温度工作1.2 相对湿度:湿度小于60%RH时正常工作1.3工作电压:在220V(10%)、50Hz电压下,仪器可连续使用次电子探测器1个,高灵敏度低电压固体背散射探测器1个4.3相机:样品室红外高清CCD相机4.4检测器分辨率*4.4.1二次电子分辨率:30kV时小于1.0nm或20kV时小于1.3nm,1kV时优于3.0 nm*4.4.2背散射电子分辨率:30kV时小于2.5nm,1kV时优于3.0nm5样品室和样品台5.1样品台:自动马达驱动5轴以上(X、Y、Z 、T 、R)*5.2移动范围:X100mm、Y 100mm、Z50mm、T
3、=-570、R=360连续旋转5.3移动精度:优于2m5.4样品室尺寸:内径不小于300mm,高度不小于200mm,可容纳样品直径不小于200mm5.5样品室有EDS、EBSD接口*5.6可加配加热台和原位拉伸台,加热台运行时应保证成像系统和EBSD能够同步运行6图像处理系统6.1存储分辨率:不低于30002000像素6.2活动窗口:多个活动窗口,可同时显示背散射及二次电子图像6.3图像格式:TIFF、BMP、JPEG等多种图像格式6.4图像帧数:不小于256帧,可降噪处理6.5能够进行数字动画记录6.6具有图像注释、测量等图像处理功能7控制和数据处理系统7.1基于以太网架构的数据传输系统7.
4、2软件平台适用于windows操作系统7.3显示器:24”LED显示器8X射线能谱分析仪(EDS)8.1能量探测器:电制冷硅漂移探测器(SDD)*8.2有效采集面积:SDD晶体有效活区面积不小于30mm2,窗口有效面积不小于20mm2,可实现低电压或者小束流条件下的高质量、高效率分析*8.3探测器定位:探测器由马达控制精确定位,软件可控,能够实时监测和控制采集计数率,保证不同样品的数据重复性和测试条件重复性的目的*8.4能量分辨率:Mn K优于127eV,C Ka优于50eV,F Ka优于60eV8.5元素分析范围:至少为Be4U92*8.6峰背比:优于20000:18.7谱峰稳定性:分辨率变
5、化在1eV以内,48小时内峰位漂移小于1.5eV8.8计数率:输出最大计数率大于800,000CPS,可处理最大计数率大于1,500,000CPS8.9具有轻元素定量分析和修正功能,可对Be、B、C、N等进行浓度定量检测以及修正8.10采集界面:采用32位和64位双系统,采集界面方便简单,智能化设定参数,兼容原有EBSD数据,能实现能谱的采集与定量分析、线扫描及全息面扫描,包含常规面分布、定量面分布和快速面分布、快速智能面分布等 *8.11定性分析:具备点、线、面扫描分析功能,可自动和手动进行全谱元素谱峰识别,并具有检验重叠峰剥离准确性以及合峰效应的有效方法,能够分析夹杂和偏析等微量元素和微量
6、相8.12定量分析:采用最先进的修正技术和虚拟标样数据库,系统能够自动有效修正元素之间的相互吸收,可对抛光表面或粗糙表面进行点、线和面的分析,谱峰稳定,数据重现性好,不需要多元素校准峰位。具备方便的虚拟标样分析方法,且可以得到高级的非归一化定量结果,各元素定量误差没有相互干扰,数据格式可以和电子探针等高级分析方式的数据直接对应;*8.13智能软件系统:中英文任意切换的软件界面,能谱与电镜一体化,可实现自动读取和控制电镜参数,完整的离线能谱分析软件,具备实时跟踪能力和智能定性,定量分析能力,自动漂移校正*8.14低电压分析:在电镜低电压条件下能正常分析,3KV下可获取轻元素的定性定量信息,5KV
7、下具备虚拟标样数据库,可实现全谱定性定量分析8.15系统可靠性:采用独立的图像采集处理器和波形采集处理器,各自独立封装,防止集成式设计存在的故障可能点多、更换零部件成本高的问题8.16计算机:原装工作站,CPU四核,主频高于3 GHz,三级缓存不小于8M,内存32G,硬盘500G*2,可实时备份,27” LCD显示器,可刻录DVD光驱8.17配有彩色激光打印机8.18与电镜操作台一体化风格的原装进口实验台9背散射电子衍射分析仪(EBSD)9.1与EDS一体化的用户界面,所有应用软件均可在同一个平台上打开,操作简单方便9.2支持包括中文在内的多种语言的智能能谱与EBSD系统 *9.3能够与能谱仪
8、同时实现同步原位分析,EDS面分布和EBSD面分布扫描能够同时进行,并且任意切换图片显示9.4可根据能谱数据对EBSD花样进行预过滤,实现对未知相的相鉴定*9.5高灵敏度的CCD相机,焦距始终固定在荧光屏上,荧光屏和CCD相机像素对应,像素能完全利用,没有缩锥比9.6加速电压5V,束流小于100pA时可采集到明显的衍射花样*9.7直插式探头,具备马达自动伸缩控制和防碰撞功能,能够实时显示探头位置*9.8工作距离范围:具备专门的设计和接口,可以在540mm范围的任何WD位置进行EBSD采集分析,充分靠近样品而不遮挡能谱探头9.9在线解析速度高于100点/秒,可以记录原始菊池花样进行离线二次标定*
9、9.10在低束流条件下(5nA),用单晶镍(Ni)为标样,标定的成功率保证在100%*9.11取向测量精度:优于0.05度的取向精准度*9.12花样像素分辨率高于134410249.13提供专用的由电子衍射获得的EBSD晶体学数据库,支持所有主要的第三方数据库,可分析不少于6万种的晶体结构,能方便自建数据库和导入CIF数据9.14背景扣除技术:采用动态和静态扣除技术和自动曝光设定,可以自动扣除包括单晶在内的7个晶系的各种材质的背景花样9.15具备常用的EBSD分析功能,包括晶体结构模拟、晶粒尺寸、极图、ODF、取向差、晶界分析等全部的表征,同时可以对材料的弹性模量、泰勒因子、施密特因子等进行表
10、征,所有分析功能全部集成在一个软件平台*9.16核心算法和误差评判技术:具备4条以上条带一次标定的核心算法,提高角分辨率,可采用带宽标定技术改善相似相结构的剥离准确性,自动分析复杂材料和区分相似相,每一点的标定误差可以量化显示和控制,且具备角度单位9.17软件具有智能相分布、智能跟踪、智能数据复查、智能相机、智能背底处理、智能标定等功能9.18具备透射EBSD分析专用算法,自动修正透射菊池花样畸变和中心偏移问题;具备能谱仪辅助的EBSD物相鉴定功能,剥离相似的相结构10原位加热台*10.1 Gatan系列Murano 525热台*10.2保护措施:带有热量屏蔽装置,对物镜和样品仓不产生明显的热
11、影响,需有效保护电镜探测器,能够使电镜正常使用,并保证EBSD在加热台运行时正常工作10.3结构:结构紧凑,方便安装和取出,可以方便地用于EBSD的几何配置,同时保持适当的工作距离*10.4温度控制:PID自动控制和手动控制两种模式,可存储所有的加热参数,能够精确同步EBSD的面分布与温度曲线10.5加热速度:最大加热速度不小于100/min10.6温度范围:最高使用温度在950以上*10.7温度精度:0.510.8温度稳定性:1/h11配套设备11.1数据处理计算机一台,要求 CPU主频高于3 GHz,内存大于8G,硬盘容量大于500G,可刻录DVD光驱,24” LCD显示器,操作系统采用M
12、icrosoft Windows 7系统11.2离子溅射仪11.2.1 Cressington 108Auto全自动离子溅射仪1套11.2.2靶材为铂金11.2.3可镀最大样品直径大于60mm11.2.4镀金速率大于30nm/min11.2.5镀金颗粒小,镀层均匀11.3电解抛光仪11.3.1进口品牌电解抛光仪1套11.3.2输出电压:0100V11.3.3输出电流:020A11.3.4温度范围:室温400,可恒温控制11.3.5可恒流和恒压操作,负载调解率0.01%11.3.6稳定度:电压0.02%,电压偏移1mV,电流0.1%11.4 UPS稳压保护电源1套,整机供电不低于2h,电子枪系统
13、供电不低于200h11.5备用场发射灯丝系统1套(灯丝+光阑)11.6空气压缩机1台11.7冷却循环水机 1台11.8带除湿功能的空调一部三、技术及售后服务发货时间:合同生效后6个月内。 *厂商要求:同款型号设备国内用户不低于30家,同种品牌国内用户不低于200家。安装验收:卖方负责派技术员在买方确定的时间内到设备现场进行免费的安装、调试,按验收指标逐项测试至达到验收要求,出具验收报告,由用户确认签字,完成仪器验收工作。*人员培训:电镜厂家需提供初级培训、中级培训和高级培训三级培训模式: 初级培训:安装调试完毕后,马上对用户人员进行初级培训。培训时间不少于 7天,培训内容包括电镜及附件的操作、电镜及附件的日常维护、样品观测、分析、获取图象。 中级培训:仪器运行一段时间后,针对用户使用过程中遇到的问题,由卖方专家 到现场进行为期7天以上的免费培训指导。 高级培训:如买方有操作人员变更或其他操作电镜的问题,可去卖方专门的应用培训中心,聘请国内知名材料应用分析专家亲自授课,理论结合实际。*保修期:设备自验收之日起整机保修期一年。保修期过后,免费提供应用技术支持,并提供五年内免费维护保养。在不更换硬件的条件下,软件免费升级至最新版本。维修响应:厂家需在西安有售后服务点,在提出维修要求后,能在24小时内做出维修响应,2-5个工作日内达到用户现场。
copyright@ 2008-2022 冰豆网网站版权所有
经营许可证编号:鄂ICP备2022015515号-1