第十一章 电感传感器.docx

1、第十一章 电感传感器第十一章 电感传感器课题：数字式传感器的原理及应用课时安排：3课次编号：16教材分析难点：二线制编码与角度的关系重点：角度分辨力与分辨率教学目的和要求（机械制造、机电一体化、数控专业的重点章节）1了解直接测量和间接测量的区别；2了解绝对式和增量式角编码器的原理；3掌握角编码器的分辨力、分辨率计算；4、了解光栅的原理和细分计算；5了解磁栅的原理和计算；6了解容栅的原理和计算；采用教学方法和实施步骤：讲授、课堂讨论、分析教具：角编码器、光栅、磁栅、容栅各教学环节和内容演示：做以下的实验：将一只角编码器拆开，观察内部的光栅和sin、cos读数头。上电后，观察正转和反转时，数码管读

2、数的增加和减少以及读数的正负值。从而引入角编码器的原理、结构，转角、转速测量，直线位移的测量等。第二节 角编码器角编码器（码盘）：是一种旋转式位置传感器，它的转轴通常与被测旋转轴连接，随被测轴一起转动。它能将被测轴的角位移转换成二进制编码或一串脉冲。角编码器分类：绝对式编码器和增量式角编码器。一、绝对式角编码器绝对式角编码器的基础原理接触式编码器结构图11-2 接触式码盘a）电刷在码盘上的位置 b）4位8421二进制码盘 c）4位格雷码码盘1码盘 2转轴 3导电体 4绝缘体 5电刷 6激励公用轨道（接电源正极）分辨的角度（即分辨力）为=360/2n （11-1）分辨率=1/2n （11-2）提

3、问：码道越多，位数n越大，所能分辨的角度就越？若要提高分辨力，就必须增加码道数，即二进制位数。例：某12码道的绝对式角编码器，其每圈的位置数为212=4096，能分辨的角度为=360/212=5.27；若为13码道，则能分辨的角度为=360/213=2.64。2绝对式光电编码器的特点没有接触磨损，允许转速高。码盘材料：不锈钢薄板、玻璃码盘。二、增量式编码器增量式光电码盘结构示意图如图11-4所示。光电码盘与转轴连在一起。码盘可用玻璃材料制成，表面镀上一层不透光的金属铬，然后在边缘制成向心的透光狭缝。透光狭缝在码盘圆周上等分，数量从几百条到几千条不等。这样，整个码盘圆周上就被等分成n个透光的槽。

4、增量式光电码盘也可用不锈钢薄板制成，然后在圆周边缘切割出均匀分布的透光槽。图11-4 增量式光电码盘结构示意图a）外形 b）内部结构1 转轴 2发光二极管 3光栏板 4零标志位光槽5光敏元件 6码盘 7电源及信号线连接座光电码盘的光源最常用的是自身有聚光效果的发光二极管。当光电码盘随工作轴一起转动时，光线透过光电码盘和光栏板狭缝，形成忽明忽暗的光信号。光敏元件把此光信号转换成电脉冲信号，通过信号处理电路后，向数控系统输出脉冲信号，也可由数码管直接显示位移量。光电编码器的测量准确度与码盘圆周上的狭缝条纹数n有关，能分辨的角度为=360/n （11-3）分辨率=1/n （11-4）例：码盘边缘的透

5、光槽数为1024个，则能分辨的最小角度=360/1024=0.352。为了判断码盘旋转的方向，必须在光栏板上设置两个狭缝，其距离是码盘上的两个狭缝距离的（m+1/4）倍，m为正整数，并设置了两组对应的光敏元件，如图11-4中的A、B光敏元件，有时也称为cos 、sin元件。光电编码器的输出波形如图11-5所示。有关A、B信号如何用于辨向、细分的原理将在本章第三节中论述。为了得到码盘转动的绝对位置，还须设置一个基准点，如图11-4中的“零位标志槽”。码盘每转一圈，零位标志槽对应的光敏元件产生一个脉冲，称为“一转脉冲”，见图11-5中的C0脉冲。图11-5 光电编码器的输出波形 A超前于B，判断为

6、正向旋转， A滞后于B，判断为反向旋转三、角编码器的应用角编码器除了能直接测量角位移或间接测量直线位移外，还有数字测速：由于增量式角编码器的输出信号是脉冲形式，因此，可以通过测量脉冲频率或周期的方法来测量转速。角编码器可代替测速发电机的模拟测速，而成为数字测速装置。图11-6 M法和T法测速原理a）M法测速 b）T法测速在一定的时间间隔t s内（又称闸门时间，如10s、1s、0.1s等），用角编码器所产生的脉冲数来确定速度的方法称为M法测速。若角编码器每转产生N个脉冲，在闸门时间间隔ts内得到m个脉冲，则角编码器所产生的脉冲频率f为 （11-5）则转速n（单位为r/min）为例11-2 某角编

7、码器的指标为2048个脉冲/r（即N2048P/r），在0.2s时间内测得8K脉冲（1K=1024），即ts=0.2s，m=8K=8192个脉冲，f4096/0.2s20480Hz，求转速n。解 角编码器轴的转速为适合于M法测速的场合：要求转速较快，否则计数值经较少，测量准确度经较低。例如，角编码器的输出脉冲频率f=1000Hz，闸门时间ts=1s时，测量精度可达0.1%左右；而当转速较慢时，角编码器输出脉冲频率的较低，1误差（多或少计数一个脉冲）将导致测量精度的降低。闸门时间ts的长短对测量精度的影响：ts取得较长时，测量精度较高，但不能反映速度的瞬时变化，不适合动态测量；ts也不能取得太小

8、，以至于在ts时段内得到的脉冲太少，而使测量精度降低。例如，脉冲的频率f仍为1000Hz，ts缩短到0.01s时，此时的测量准确度将降到10%左右。工位编码 由于绝对式编码器每一转角位置均有一个固定的编码输出，若编码器与转盘同轴相连，则转盘上每一工位安装的被加工工件均可以有一个编码相对应，转盘工位编码如图11-9所示。当转盘上某一工位转到加工点时，该工位对应的编码由编码器输出给控制系统。图11-9 转盘工位编码1 绝对式编码器 2电动机 3转轴 4转盘 5工件 6刀具例：要使处于工位4上的工件转到加工点等待钻孔加工，计算机就控制电动机通过带轮带动转盘逆时针旋转。与此同时，绝对式编码器（假设为4

9、码道）输出的编码不断变化。设工位1的绝对二进制码为0000，当输出从工位3的0100，变为0110时，表示转盘已将工位4转到加工点，电动机停转。第三节 光栅传感器一、光栅的类型和结构光栅种类：可分为物理光栅和计量光栅。在检测中常用的是计量光栅。计量光栅分类：透射式光栅和反射式光栅。结构;光源、光栅副、光敏元件三大部分组成。光敏元件：可以是光敏二极管，也可以是光电池。透射式光栅结构：用光学玻璃做基体并镀铬，在其上均匀地刻划出间距、宽度相等的条纹，形成连续的透光区和不透光区，如图11-10a所示；反射式光栅：使用不锈钢作基体，在其上用化学方法制出黑白相间的条纹，形成反光区和不反光区，如图11-10

10、b所示。图11-10 计量光栅的分类示意图a）透射式光栅 b）反射式光栅 1光源 2透镜 3指示光栅 4标尺光栅 5光敏元件计量光栅按形状分类：长光栅和圆光栅。长光栅用于直线位移测量，故又称直线光栅；圆光栅用于角位移测量计量光栅的组成：标尺光栅（主光栅）和指示光栅，又称光栅副。标尺光栅和指示光栅之间保持很小的间隙（0.05mm或0.1mm）。在长光栅中标尺光栅固定不动，而指示光栅安装在运动部件上，所以两者之间形成相对运动。在圆光栅中，指示光栅通常固定不动，而标尺光栅随轴转动。栅距：在图11-12中，a为栅线宽度，b为栅缝宽度，W=a+b称为光栅常数，或称栅距。通常a=b=W/2，栅线密度：10

11、线/mm、25线/mm、50线/mm、100线/mm和200线/mm等几种。角节距：对于圆光栅来说，两条相邻刻线的中心线之夹角称为角节距，每周的栅线数从较低精度的100线到高精度等级的21600线不等。例：某一长光栅的栅线密度为：25线/mm，求栅距W（可视为分辨力）：W1mm/25线0.04mm/线4m/线二、光栅与莫尔条纹演示莫尔条纹：将两块画有垂直方向的等间隔黑条（1mm/条）的有机玻璃叠合在一起。可以看到，在水平方向出现较宽的回条。黑条的间距随两块玻璃的角度而变化。可以大到50mm。这种莫尔条纹随两块玻璃的水平相对运动而上下移动。在光栅的适当位置（如图11-13中的sin位置或cos位

12、置）安装2只光敏元件（有时为4只）。当指示光栅沿x轴自左向右移动时，莫尔条纹的亮带和暗带（图11-12中的a-a线和b-b线）将顺序自下而上（图中的y方向）不断地掠过光敏元件。光敏元件“观察”到莫尔条纹的光强变化近似于正弦波变化。光栅移动一个栅距W，光强变化一个周期。光电元件随着两块玻璃的水平相对运动，而输出连续的正弦波。图11-14 光栅位移与光强及输出电压的关系由于光栅的刻线非常细微（例如上例中的4m），如果只用一块玻璃，光电元件很难直接分辨到底从面前移动过去了多少个栅距，利用能放大栅距的莫尔条纹的价值：莫尔条纹的黑白条纹比栅距大几十倍，十一能让光敏元件“看清”随光栅刻线移动所带来的光强变

13、化。莫尔条纹的间距是放大了的光栅栅距，它随着指示光栅与主光栅刻线夹角而改变。由于很小，所以其关系可用下式表示LW/sinW/ （11-8）式中 L莫尔条纹间距； W光栅栅距； 两光栅刻线夹角，必须以弧度（rad）为单位，式（11-8）才能成立。从式（11-8）可知，越小，越大，相当于把微小的栅距扩大了1/。由此可见，计量光栅起到光学放大器的作用。例：对25线mm的长光栅而言，0.04mm。若=0.016rad，则L=2.5mm，光敏元件可以分辨这2.5mm的间隔，但若不采用两块玻璃组成莫尔条纹的光学放大，则无法分辨0.04mm的间隔。三、辨向及细分（一）辨向原理如果传感器只安装一套光电元件，则

14、在实际应用中，无论光栅作正向移动还是反向移动，光敏元件都产生相同的正弦信号，是无法分辨移动方向的。为此，必须设置辨向电路。举例：人有两只耳朵，它们的输出信号经大脑处理后，可以判断脑后物体移动的左右方向。在上例中，左边的耳朵称为sin耳朵，右边的耳朵称为cos耳朵。通常可以在沿光栅线的y方向上相距（m1/4）L（相当于电相角1/4周期）的距离上设置sin和cos两套光电元件（见图11-13中的sin位置和cos位置）。这样就可以得到两个相位相差/2的电信号uos和uoc，经放大、整形后得到uos和uoc两个方波信号，分别送到计算机的两路接口，由计算机判断两路信号的相位差。当指示光栅向右移动时，u

15、os滞后于uoc；当指示光栅向左移动时，uos超前于uoc。计算机据此判断指示光栅的移动方向。（二）细分技术细分技术又称倍频技术。如将光敏元件的输出电信号直接计数，则光栅的分辨力只有一个W的大小。为了能够分辨比W更小的位移量，必须采用细分电路。细分电路能在不增加光栅刻线数（线数越多，成本越昂贵）的情况下提高光栅的分辨力。该电路能在一个W的距离内等间隔地给出n个计数脉冲。细分后计数脉冲的频率是原来的n倍，传感器的分辨力就会有较大的提高。通常采用的细分方法有4倍频法、16倍频法等，可通过专用集成电路来实现。例11-4 细分数n=4，光栅刻线数N =100根/mm，求细分后光栅的分辨力。解 栅距W=

16、1/ N =（1/100）mm=0.01mm= W/n=（0.01/4）mm=0.0025mm=2.5m由此可见，光栅通过4细分电路处理后，相当于将原光栅的分辨力提高了3倍。（三）零位光栅在增量式光栅中，为了寻找坐标原点、消除误差积累，在测量系统中需要有零位标记（位移的起始点），因此在光栅尺上除了主光栅刻线外，还必须刻有零位基准的零位光栅（参见图11-12中的序号5），以形成零位脉冲，又称参考脉冲。把整形后的零位信号作为计数开始的条件。轴环式数显表图11-17是ZBS型轴环式光栅数显表示意图。它的主光栅用不锈钢圆薄片制成，可用于角位移的测量。图11-17 ZBS型轴环式数显表a）外形 b）内部

17、结构 c）测量电路框图1电源线（+5V） 2轴套 3数字显示器 4复位开关 5主光栅6红外发光二极管 7指示光栅 8sin光敏三极管 9cos光敏三极管在轴环式数显表中，定片（指示光栅）固定，动片（主光栅）可与外接旋转轴相联并转动。动片边沿被均匀地镂空出500条透光条纹，见图11-17b的A放大图。定片为圆弧形薄片，在其表面刻有两组与动片相同间隔的透光条纹（每组3条），定片上的条纹与动片上的条纹成一角度。两组条纹分别与两组红外发光二极管和光敏三极管相对应。当动片旋转时，产生的莫尔条纹亮暗信号由光敏三极管接收，相位正好相差/2，即第一个光敏三极管接收到正弦信号，第二个光敏三极管接收到余弦信号。经

18、整形电路处理后，两者仍保持相差1/4周期的相位关系。再经过细分及辨向电路，根据运动的方向来控制可逆计数器做加法或减法计数，测量电路框图如图11-17c所示。测量显示的零点由外部复位开关完成。光栅型轴环式数显表可以安装在中小型机床的进给手轮（刻度轮）的位置，可以直接读出进给尺寸，减少停机测量的次数，从而提高工作效率和加工精度。第四节 磁栅传感器磁栅与其他类型的位置检测元件相比，结构简单，录磁方便，测量范围宽（可达十几米），但要注意防止退磁和定期更换磁头。磁栅分类：长磁栅和圆磁栅。长磁栅用于直线位移测量，圆磁栅主要用于角位移测量。一、磁栅结构：磁尺、磁头和信号处理电路组成。1磁尺磁尺按基体形状有带

19、状磁尺、线状磁尺（又称同轴型）和圆形磁尺，如图11-20所示。通过录磁磁头在磁尺上录制出节距严格相等的磁信号作为计数信号。节距（栅距）W通常为0.05mm、0.1mm、0.2mm。2磁头为了辨别磁头运动的方向，采用两只磁头（sin、cos磁头）来拾取信号。它们相互距离为（m1/4）W，m为整数。为了保证距离的准确性，通常将两个磁头做成一体。二、磁栅数显表及其应用磁头、磁尺与专用磁栅数显示表配合，可用于检测机械位移量，其行程可达数十米，分辨力优于1m。图11-22 ZCB-101鉴相型磁栅数显表的原理框图功能：直径/半径、公制/英制转换及显示功能、数据预置功能、断电记忆功能、超限报警功能、非线性

20、误差修正功能、故障自检功能等。能同时测量x、y、z三个方向的位移磁敏电阻磁头：可不必设置励磁电路，检测速度提高。第五节 容栅传感器容栅：是一种基于变面积工作原理的电容传感器。因为它的电极排列如同栅状，故称此类传感器为容栅传感器。精度稍差，但造价低、耗电省，应用于电子数显卡尺、千分尺、高度仪、坐标仪和机床行程的测量中。 一、结构及工作原理容栅传感器分类：直线容栅、圆容栅和圆筒容栅。直线容栅和圆筒容栅用于直线位移的测量，圆容栅用于角位移的测量。图11-23 直线型容栅传感器结构简图a）定尺、动尺上的电极 b）定尺、动尺的位置关系 c）发射电极和反射电极的相互关系1反射电极 2屏蔽电极 3接收电极

21、4发射电极容栅传感器由动尺和定尺组成，两者保持很小的间隙。一般用于数显卡尺的容栅的节距W=0.635mm（25毫英寸），最小分辨力为0.01mm，非线性误差小于0.01mm，在150mm范围内的总测量误差为0.020.03mm。二、容栅传感器在数显尺中的应用容栅定尺安装在尺身上，动尺与单片测量转换电路（专用IC）安装在游标上，分辨力为0.01mm，重复精度0.02mm。功能：自动断电，因此1.5V氧化银扣式电池可使用一年以上。通过复位按钮可在任意位置置零，消除累积误差；可通过公/英制转换钮实现公/英制转换；通过串行接口可与计算机或打印机相连，经软件处理，可对测量数据进行统计处理。课外学习指导安排每周二下午进行答疑课堂补充作业课外作业P260：3、9（机械专业），其余作为讨论内容。检测教学目标实现程度考察学生能否掌握辨向、细分和有关的计算。