太阳能电池工艺技术员值班规范.docx

1、太阳能电池工艺技术员值班规范1.0 目的 12.0 适用范围 13.0 工作内容 13.1 交接班 13.2 当班细则 23.3 电池车间异常处理程序 44.0 更改记录 7正文1.0 目的规范工艺技术员工作;2.0 适用范围天合东区电池车间工艺技术员;3.0 工作内容3.1 交接班3.1.1 交接细项1) 参数调整表。交接现行参数与工艺方案中参数是否一致，此时SPC是否OK？若不一致需交接清楚方可下班。2) 生产状况。（如切线、某线未生产等）记录时间，时间，影响，措施3) 设备状况。（如更换石英管，更改设备参数等）记录时间，事件，影响，措施及设备动作之后工艺的措施及跟踪结果。 4) 工艺状况

2、（如前清洗换药等）记录时间，事件，影响，措施及设备动作之后工艺的措施及跟踪结果。 5) 本道工序质量状况（若SPC alarm，色差等）记录异常时间，事件，影响,措施及跟踪结果，异常图片要有记录。 6) 因前道工序异常导致本道工序质量情况（如扩散蓝点片）措施及跟踪结果。 7) 每班次各台机台电性能成绩，异常者给予原因说明。 8) 每班次各台机台 SPC/CPK成绩，异常者给予原因说明。 9) 实验交接：目前进展状况，数据搜集是否到位，遇到的困难等。 10) 下一班需要继续关注的方面。11) 工作上的其他需要协助的困难（如同生产的沟通问题） 3.1.2 交接注意事项 1) 各项记录力求真实，字迹

3、清晰，时间点准确，所有事件应以数据或图片说明，严禁编写数据，涂改数据旁边应有工号标注。2) 交接需双方都在工作现场当面进行，如有疑问及时交流。3.2 当班细则3.2.1 工艺参数1) 进行首检，将重要的参数记录，以便在机台出现问题设备排除后恢复工艺提供可靠的支持。2) 工艺参数的修改权仅限于工艺，若生产或设备擅自更改应及时请QC制止并更正参数。3) 在参数进行较大修改后，若设备稳定运行则应及时更改recipe并登记（如RENA滚轮速度，R&SiH4流量等）。3.2.2 监控当段SPC/CPK保证数据的有效性，如出现异常及时调整3.2.3 监控好各机台电性能差异若达到0.1%左右则需引起重视，并

4、安排对切。3.2.4 异常片的隔离、记录与处理1) 及时隔离找出原因，若是前道工序异常则应及时反馈给迁到生产及技术员，并在交接本上作必要解释。2) 返工片处理参见各道工序返工作业指导书。若用MES，注意比对返工路径是否定义正确。3) 异常点定位及排查表见下图，具体常见问题及解决办法参见各道工序SOP.3.2.5 监控机台状况并做好记录：1) 设备更改机台参数应记录以便跟踪。2) 监督机台状态参数的变动（如RENA温度异常，R&R真空泵实际输出功率等）。3) 监控各parts的使用状况（石墨框是否沉积太厚氮化硅等），若发现在寿命内出现影响产品的事故无法用工艺参数调整来修复，则应提前将parts提

5、前更换或隔离。4) 监控机台运行状况（如R&R卡框等）。3.2.6 监督设备大修或月/年PM情况及更换parts的情况，以及PM后工艺点检。 1) PM前工艺汇总机台总存在的问题。2) 设备PM时，工艺应尽可能在场协助，将存在的问题向设备反馈，并记录设备的具体动作。3) 设备PM后，我们工艺要检查影响工艺的一些参量，具体操作项目参见各道工序SOP。3.2.7 复机在设备换完parts或设备维修或生产结线等条件下，对设备参数不确定时，要试片，具体操作参见各道工序SOP.3.2.8 机台差异跟踪及改善安排对切实验及协调设备在PM时对问题机台进行排查。3.2.9 监督生产1) 上片，卸片监督：不多放

6、片，不少放片，档片规范使用2) 工艺卫生监督：不发生污染事件3) 量测监督：取片，数据输入及时正确 4) 更换parts监督（更换网板等） 3.2.10 生产借线1) 由于设备维修等原因，生产需要借用其他线继续生产，参照以下方法：2) 对于被借用的线应该先对切，对切结果差异0.1%之内方可交付生产，并做好监控（当段SPC及电性能）。3.2.11 监控新材料的推进，统计各电性能参数变异情况。3.2.12 实验跟进 参见实验管理SOP 1) 明确实验目的、实验原理、实验步骤以及实验结果分析要求。 2) 实验片批号、片数、框数顺序不能搞混，实验数据与实际量测片数要一一对应。 3) 判断量测结果是否在

7、要求范围之内，若不在及时通知工程师；4) 判断所收集量测资料是否完毕。5) 密切监控，不要将片子搞混，实验片与正常片之间加挡片区分。 6) 请不要跟丢。请不要搞混。不要篡改数据。 3.2.13 当班注意事项 1) 注意安全，操作严格按照作业指导书/SOP等相关规定，不懂不会请找工程师，严禁乱操作。 2) 不准越权处理异常。3) 当班遇到原则性问题不得妥协（如设备交付工艺时机台状况应达到的标准等），不可帮别人隐瞒问题。3.3 电池车间异常处理程序电池车间工艺异常处理程序发现工艺异常1. 工艺人员进行工艺验证，观察工艺运行状况，符合工艺要求，工艺工程师交接给生产人员。2. 操作人员在工艺记录本上做记录。3. 工艺工程师在修改完程序后应知会其他工艺工程师或主管通知设备人员进行验证，进入设备突发故障处理程序设备问题通知工艺技术员 yes 解决工艺问题事发30分钟内不能解决设备问题通知工艺工程师 Yes 事发30分钟内不能解决解决工艺问题事发30分钟内不能解决如果工艺主管不在或没有工艺主管通知工艺主管， 工艺主管视情况通知工艺工程师到现场 yes 解决工艺问题事发30分钟内不能解决通知工艺经理，由工艺经理解决或给出处理意见使用硅片权限:技术员: 50片/ 工程师: 100片/ 主 管: 150片4.0 更改记录NO.更新内容版本申请者日期1新建00陈红09.10.12