PCB电镀沉铜药水控制工艺Word文档下载推荐.docx

1、1.5L100 m2 5000室温13、14、15、16、17、18 （共有6个大铜缸，两个集液槽总体积13000L）参加1/2体积DI水，小心参加50% H2SO4 3720 L，参加CuSO45H2O 910 kg，加DI水至适宜液位。冷却后分析调整Cl-含量，调整氯离子含量到达5070ppm；参加40 L酸铜添加剂，循环充分后做赫氏槽片，根据试验效果添加酸铜补充剂和酸铜添加剂进度调整，按5：1比例，化学室分析并试产。化学成分由化学室分析调整。酸铜补充剂，酸铜添加剂均采用自动添加，一般为每100AH添加8- 10ml，特殊情况下由工艺确定。20-28过滤10m滤芯，每月更换打气打气充分液位

2、深蓝色42300L有退镀母液先参加退镀母液,，然后参加HNO3（浓）,按加硝酸量的13补水,保证循环正常;化学室分析并调整硝酸至适宜浓度。新配退镀缸需加硝酸120L,加水40L1020L/1000 m2平板药缸工艺操作标准药缸名称 槽积L范围测量频次循环过滤槽寿命45025-301次/天有无8000 m2 镀铜13000L22-251次/班 适当退镀工艺通知图电工艺参数及其控制范围、监测频次分析 方法900L员工实测5-8%6%化学分析微蚀480LNPS20-60 g40 g/L40-60ml/L50 ml/L60-100 ml/L 80 ml /L22400L100-120 ml /L110

3、 ml /LCuSO45H2O60-80 g /L55ppm化学室23预浸氟硼酸氟硼酸25-45 g/L35 g/L镀锡铅4200L100-160 g/L130 g/L氟硼酸铅812 g/L10 g/L氟硼酸亚锡1220 g/L16 g/L26退镀缸 200-280 g/L250 g/L图电开缸及补充、换缸要求14/15参加1/2体积DI水，参加硫酸50%140 L，再参加除油剂FR 54 L，加DI水至适宜液位。30518留母液50L左右，参加1/2体积DI水，参加50%硫酸60L；再参加20 kg NPS，最后参加DI水至适宜液位每周更换322参加1/2体积DI水，参加50%硫酸100 L

4、 ，参加DI水至适宜液位500 m2 800024-39 （22400）参加1/2体积DI水，小心参加50% H2SO4 6400 L，参加CuSO45H2O 1560 kg，加DI水至适宜液位。冷却后分析调整Cl-含量，参加67 L酸铜添加剂，循环充分后做赫氏槽片，根据试验效果添加酸铜补充剂和酸铜添加剂进度调整，按5：酸铜补充剂，酸铜添加剂均采用自动添加，一般为每1000Ah添加 8-10 ml，特殊情况下由工艺确定。20-2513预浸氟硼酸缸参加1/2体积DI水，参加氟硼酸 36L搅拌均匀；再参加DI水至适宜液位每200m2补充1L、特殊情况由工艺人员酌定1012镀锡铅缸参加1/2体积DI

5、水、参加氟硼酸980 L、 氟硼酸锡182 L、氟硼酸铅63 L、参加硼酸84 kg （用60DI水预先溶解）加锡添加剂B 126 L、 锡添加剂A 84 L参加DI水至适宜液位，拖缸处理30分钟，电流密度1.5A/dm2 。定期补充硼酸（遇特殊情况由有关工艺人员酌定）57400L有退镀母液先参加退镀母液,然后参加HNO3（浓）,按加硝酸量的13补水,保证循环正常;新配退镀缸需加水60L,加硝酸 180L,开启循环,调整循环缸液位,保证循环正常,化学室分析硝酸浓度并调整铜离子浓度.20L/1000m2图电药缸工艺操作标准药缸名称槽积L酸性除油9008000 m2480每周更换或铜含量超过35g

6、/l换缸22400工艺要求浸氟硼酸缸10000 m24200400沉铜线各药水缸工艺控制要求：（罗门哈斯药水体系）序号参考时间min规格范围1溶胀340L6-9澎松剂MLB211NaOH10%-13%-16%30g/L-40g/L70-8013%35g/L752凹蚀430L9-12KMnO4K2MnO4再生电流40-60g/L25g/L40-50g/L100-150A50g/L45g/L3预中和H2O2 30% H2SO4（50%）5-15mL/L10-20mL/L10mL/L15mL/L4中和2-3中和剂3316H2O230%40-50ml/L10-30mL/L10ml-20ml/L45ml

7、/L20ml/L15ml/L2255-7除油剂33258%-10%-12%60-7010%676370L1-2NPS Cu2+ 微蚀速率15-25mL/L30-70g/LCu2+20g除油调整21#1）放入半缸DI水，2）参加34L除油剂CC3325，搅拌均匀；3）加DI水至溢流位4）开启循环过滤及加热至工作温度。（67）500017#1）放入半缸DI水；2）参加50%的硫酸20 L；3）参加NPS 18.5 Kg,4）加D I水至溢流位。5）开启过滤、打气及加热至工作温度。（28）每周2次或Cu2+酸洗142）参加12.5L硫酸搅拌均匀。12#2）参加80kg 预浸剂CP404，搅拌至完全溶

8、解。，3）注入DI水至工作液位，开动过滤泵。1到2年或Cu2+11#2）参加85kg 预浸剂CP404，搅拌，并加热至42-44，直至所有预浸剂溶解；3）开启过滤，并补充液位；4）参加 CAT44，并搅拌均匀。化学沉铜3-4#或5-6#2）参加38LC/P880E，开启打气，等待2-5分钟；3）参加7.7L C/P880A，打气5分钟；4）参加19L C/P880C，打气5分钟；5）参加25.7L NaOH（300g/L） ；6）参加9.5L HCHO搅拌均匀；7）参加DI水至工作水位8）循环过滤、搅拌均匀加热至温度控制范围。每周倒槽说明：1）除微蚀、预浸、浸酸外，其他各缸开缸后化学分析并根据

9、分析结果进行调整，但凹蚀缸KMnO4减 K2MNO4浓度40g/l时不作额外补充。药水颜色及循环过滤要求过滤/循环要求药水颜色及特征膨胀缸10棉芯，每周更换浅黄色，生产时不能有分层或混浊现象强烈搅拌深紫红色开缸时无色，然后渐变为篮色，使用较久时呈绿色开缸时无色，然后渐变蓝色开缸时无色，然后渐变为蓝色5棉芯，每周更换黑色，不能有混浊现象。Pd浓度偏低时颜色会偏浅10u滤芯每周更换,循环:要求4-6个循环/小时天蓝色，反响时外表有一层小气泡，假设反响过于剧烈为异常各水洗缸凹蚀后一级水洗为紫色；除油后一级水洗为浅蓝色，微蚀后一级水洗也为浅蓝色并清澈，二级水洗应无色；活化后一级水洗乳白色,其他每个水洗

10、缸都应无色。沉铜自动添加药水准备及自动添加频次设置1）自动添加药水备料满量生产沉铜液880A每天需备料12桶沉铜液880E每天需备料10L甲醛每天需备料15L氢氧化钠每天需配制含300g/L的溶液100L,每桶50L配制时先加半桶DI水，参加NaOH 15搅拌均匀,补充DI水，再搅拌均匀，待冷却后使用。自动添加桶液位低于1/4时必须及时补充药剂 各个药水控制范围分析方法责任人退膜缸氢氧化钠退膜温度48直接测量操作者浓度%34%蚀刻缸pH8.0-8.8170-200g/l比重显示目测蚀刻温度48-52退锡缸HNO3含量160-220g/l1.30比重计测量退锡温度35-38生产线开缸方法体积开缸

11、方法650L加清水至缸液位23体积，将25 Kg氢氧化钠分次倒入配料桶,加水搅拌溶解后倒入缸中。补充清水至适宜液位。参加100200ml消泡剂。开机循环，将药水泵入退膜缸中，并开启加热使升温至47以上方可使用。做板量15002000块板换缸。800L泵入蚀刻母液650750L，分析各控制成份含量，并依情况用水、稀氨水、 蚀刻液进行调整，开机循环并开启加热使升温至48-52方可使用。退铅锡缸1000L参加退锡母液800L900L分析硝酸含量，测量比重，并依情况加退铅锡剂、硝酸至适宜液位开机循环并开启加热使升到35-40。 自动加药系统控制说明蚀刻自动添加原理及添加量 蚀刻段：比重到达设定值（例如

12、：1.193）时，开始自动添加蚀刻子液PH值低于设定值时，开始自动添加氨水PH值高于设定值时，开始自动添加氯化铵自动添加药水流量、添加频次每周由工艺确认、调整，每周比照重值、PH值设定、校准，由工艺负责。 生产控制工程 缸名工程退 膜蚀 刻退 锡退膜段水洗段上压下压压力（psi）253020252530设定474836控制4745，5235，38速度（m/min） /min /min烘干段温度55备注：A.电镀后经补黑油的板件，干膜较难退下，可根据实际情况，适当降低退膜速度。B. 孤立线路易夹膜的板件应适当降低退膜速度。/min。 5.1配制比例：配制50L标准碱性蚀刻液配方药品名称级别配制氨

13、水工业级18%标准25L氯化铵12.5硝酸钾250300g磷酸二氢钠碳酸氢铵硫脲1 g 工艺参数控制流程最正确控制值磨板磨刷压力磨痕宽度9-12mm速度/min2-3%2.5%烘干6060贴膜热压辊温度11010115压力45-60 psi （3.0-5.0bar）55 psi曝光曝光级数8-10级9级真空度85-99%90%显影显影压力20-25 psi22psi显影温度显影浓度Na2CO30.9-1.2%1.1%补充液浓度Na2CO3露铜点50-70%55%显影速度m/min露铜点：指冲板时刚好能把干膜全部洗掉所走过的距离,此距离占整显影段的百分率, 例如走在中间时停止，然后观察板面露铜的局部,假设只有一半即为50。 重氮片工艺参数控制：IMD-XT重氮片PhoTec21级第二级透明，第三级有棕色氨水速度30滴分钟45 干膜存放环境温度要求湿度要求最长贮存时间仓库10-153个月洁净间20-241个月 生产参数测量频次范 围水膜时间20秒时间测量酸洗浓度23%宽度测量级数曝光测量Na2CO30.2%补充液20-25psi直接读数