8215SH Pick and Place Machine维修保养手册Word文档格式.docx

1、4-3、 模組對照表 204-4、 耗材表 214-5、 建議備庫料件 21附录一、机构模块爆炸图附录二、机台电路图修订纪录修订版本修订说明修改部分撰写者100610初版Sunny Lo第1章、定期维护计划项次项目说明频率方法日周月季年酒精真空润滑特殊工具索引A、取放头组件（取放头、光学模块）1清洁吸嘴与吸嘴连杆2确认真空来源及检测器数值3清洁镜头拭镜纸4检查检取及放置位置5润滑连接Z轴培林6清洁润滑滚珠螺杆7清洁润滑导向滑块8润滑交叉滑轨9润滑T型连接杆10检查取放头放置力度力度计11清洁传感器12检查各传感器感应位置13各部螺丝旋紧B、顶针座组件清洁顶针座之Cap平面检查顶针损耗显微镜C、

2、晶圆平台清洁晶圆平台台面清洁润滑各滚珠螺杆清洁润滑各导向滑块清洁润滑各汽缸检查Y轴马达皮带张力清洁各部传感器D、放置台清洁放置台台面检查X轴马达皮带张力调整放置位置第2章、一般维护说明2-1、 8215-SH 主要模块8215-SH Pick and Place Machine大部介绍如下所述：包含晶粒取放头（LB15C）、晶圆平台&扩片环（WT&FF）、顶针座（DE07H）、检取影像定位CCD （CCD46C）、放置台机构（BT28A）。2-2、 取放头取放头为主要由X向平台、Z向平台、Y向平台及Bond Force四个组件构成取放头PM检查清单项目注意事项配合工具次数润滑滚珠螺杆关闭马达注

3、油枪M润滑滑块HY棉花棒、酒精S清洁取放头吸嘴管路W2-2-1、 清洁调整X向平台2-2-1-1、-滚珠螺杆滑块润滑目的：为保持作动模块高效率与良好性能，因为本身属于滚动接触，所以滚动的滚珠螺杆需要的润滑油需量较少。步骤：1.关闭取放头模块的马达电源2.使用清洁纸（无棉絮的布），将残留在螺杆上的废旧油渣去除3.定位珠螺杆的注油孔，用注油枪打进NSK-PS2润滑油加以润滑4.以手动转动马达方式驱动螺杆，使轴从一端移动至另一端来回34次，并确认来回过程中作动滑顺无顿点5.除去螺杆与螺母交接处多余的油6.开启取放头模块的马达电源2-2-1-2、清洁传感器使传感器作动正常，不会因感应错误造成偏移误差2

4、.在不拆除其它部件的状态下进行清洁3.以真空清洁器吸取清洁或清洁纸（无棉絮的布）沾拭酒精（不可用具 有腐蚀性的化学药品，如IPA）将传感器擦拭干净，无灰尘批覆4.检查传感器连接处及连接线材是否完整无磨损5.以手动转动马达方式驱动螺杆，来回34次测试传感器是否作动正常2-2-2、 清洁调整Z向工作模块2-2-2-1、滚珠螺杆润滑3.以NSK-PS2润滑油加以螺杆上润滑4.以手动转动马达方式驱动螺杆，使轴从一端移动至另一端来回34次，并确认来回过程中作动滑顺无顿点2-2-2-2、滑块润滑为保持作动模块高效率与良好性能，因为本身属于滚动接触，所以滚 动的滑块滚珠需要有润滑油加以润滑。2-2-2-3、

5、润滑清洁调整T型连接件为保证连接处的滑顺度与平行度，因为连接处上下为两个培林夹持固定亦属于滚动接触，故只需上一层薄油2.使用清洁纸（无棉絮的布），将残留在导杆及培林上的废旧油渣去除3.以低黏稠度的润滑油施加于导杆及培林上加以润滑4.以手动转动Y轴马达方式驱动T型连接板，使培林从导杆一端移动至另一端来回34次，除去培林及连接处多余的润滑油5.调整确认上下两个挟持培林的紧度与平行度（先将下方培林固定后再调整上方的固定培林）6.开启取放头模块的马达电源，注意Z轴检取、设定、放置高度的改 变以免发生撞机2-2-2-4、清洁传感器使传感器作动正常，回归原点时不会造成偏移误差3.以真空清洁器吸取清洁或清洁

6、纸（无棉絮的布）沾拭酒精（不可用具 有腐蚀性的化学药品，如IPA）将传感器擦拭干净，无灰尘批覆2-2-3、 清洁调整Y向平台2-2-3-1、滑块润滑动的滑块滚珠需要的润滑油需量较少。2.使用清洁纸（无棉絮的布），将残留在滑块导块上的废旧油渣去除3.以NSK-PS2润滑油施加于导块上加以润滑4.以手动转动马达方式驱动滑块，使滑块从导块一端移动至另一端来回34次，并确认来回过程中作动滑顺无顿点5.除去滑块与导块交接处多余的油2-2-3-2、清洁取放头吸嘴管路确保吸嘴真空气压管路顺畅，使检放晶粒位置正确且判定是否有捡放晶粒的真空值保持稳定，不会造成误判1.松开侧边的固定止付螺丝卸下吸嘴栓2.至显微镜

7、下检查吸嘴是否完整，若破损请立即更换新品3.将吸嘴栓以IPA清洗，确认无锡膏或异物残留4.点击设定=取放头 将取放头吸嘴吹气打开，以IPA清洁吸嘴栓固定座，若气管内有锡膏异物残留请更换气管5.清洁完成将所有零组件装回后，重新设定真空感知器的数值（其设定值为介于未吸取晶粒及吸取晶粒的数值中间）2-3、 顶针座顶针座为主要由Z向平台、XY交叉滑轨二个组件构成顶针座PM检查清单清洁顶针帽D2-3-1、 清洁顶针帽、顶针2-3-1-1、 顶针帽清洁为保持顶针帽上的清洁，将蓝膜残留下来的残屑给予清除干净，确保真空作动的稳定。1.使用清洁纸（无棉絮的布），沾上酒精或IPA以擦拭方式加以清洁2-3-2、 清

8、洁调整Z向平台2-3-2-1、-滚珠螺杆滑块润滑1.关闭机台的马达电源2.小心地将顶针座拆下自晶圆平台中取出机台3.使用清洁纸（无棉絮的布），将残留在螺杆上的废旧油渣去除4.将NSK-PS2润滑油涂于螺杆之螺牙上加以润滑5.以手动转动马达方式驱动螺杆，使轴从一端移动至另一端来回34次，并确认来回过程中作动滑顺无顿点6.除去螺杆与螺母交接处多余的油7.小心地将顶针座装回机台上的晶圆平台中8.开启机台的马达电源9.校正三点同心（确保镜头中心轴与晶圆平台面为相互垂直,顶针座与晶圆平台与CCD的中心点必须在同一垂直线上）2-3-2-1、滑块润滑3.使用清洁纸（无棉絮的布），将残留在滑块导块上的废旧油渣

9、去除4.以NSK-PS2润滑油施加于导块上加以润滑5.以手动转动马达方式驱动滑块，使滑块从导块一端移动至另一端来6.除去滑块与导块交接处多余的油2-3-2-3、清洁传感器6.开启机台的马达电源2-4、 晶圆平台晶圆平台主要由X向平台机构、Y向平台机构及扩片机构三大部分所组成滚珠螺杆润滑滑块润滑调整皮带张紧度润滑汽缸关闭主气源2-4-1、 润滑调整X向平台机构2-4-1-1、滚珠螺杆润滑1.关闭该模块的马达电源6.开启该模块的马达电源2-4-1-2、滑块润滑为保持作动模块高效率与良好性能，因为本身属于滚动接触，所以滚动的滑块滚珠需要的润滑油需量较少。2.使用清洁纸（无棉絮的布）将残留在滑块导块上

10、的废旧油渣去除4.以手动转动马达方式驱动滑块，使滑块从导块一端移动至另一端来回34次，并确认来回过程中作动滑顺无顿点2-4-1-3、调整皮带张紧度为保证马达带动螺杆转动正常，能精准快速到位1.关闭该模块电源2.检查皮带齿痕是否完整无破损3.调整皮带张紧度，用手压缩皮带两侧检查其允许压缩空间范围为12mm4.用手动方式转动马达，检视带动是否顺畅无顿点5.开启该模块马达2-4-1-4、清洁传感器2-4-2、 润滑调整Y向平台机构2-4-2-1、滚珠螺杆润滑2-4-2-2、滑块润滑2-4-2-3、清洁传感器2-4-3、 清洁调整扩片机构2-4-3-1、调整皮带为保持轴模块转动正常，能精准快速到位3.

11、使用调整螺来调整皮带张紧度，用手压缩皮带两侧检查其允许压缩空间范围为12mm2-4-3-2、汽缸润滑为保持扩片机构功能正常1.将主气压源关闭2.适用清洁纸（或无棉絮之清洁的布）将汽缸上的旧润滑油清除3.用低黏稠度的润滑油（无腐蚀性）涂抹在汽缸上4.用手动方式左右移动使润滑油均匀附着在导柱上5.清除在导柱与汽缸相接触残留的润滑油6.将主气压源开启至规范内2-4-3-3、清洁传感器2-5、 放置台机构放置台主要由X向平台机构、Y向平台机构及石墨盘放置台三大部分所组成2-5-1、 润滑调整X向平台机构2-5-1-1、滚珠螺杆润滑2-5-1-2、滑块润滑2-5-1-3、调整皮带张紧度2-5-1-4、清洁传感器2-5-2、 润滑调整Y向平台机构2-5-2-1、滚珠螺杆润滑2-5-2-2、滑块润滑2-5-2-3、清洁传感器2-6、 光学机构光学机构为检取CCD定位影像模块交叉滑轨润滑Y镜头清洁2-6-1、 捡取影像对位模块2-6-1-1、交叉滑轨润滑为保持作动模块高效率与良好性能，因为本身属于滚动接触，所以滚动的