8215SH Pick and Place Machine维修保养手册Word文档格式.docx
《8215SH Pick and Place Machine维修保养手册Word文档格式.docx》由会员分享，可在线阅读，更多相关《8215SH Pick and Place Machine维修保养手册Word文档格式.docx（39页珍藏版）》请在冰豆网上搜索。
4-3、模組對照表20
4-4、耗材表21
4-5、建議備庫料件21
附录一、机构模块爆炸图
附录二、机台电路图
修订纪录
修订版本
修订说明
修改部分
撰写者
100610
初版
SunnyLo
第1章、定期维护计划
项次
项目说明
频率
方法
日
周
月
季
年
酒精
真空
润滑
特殊工具
索引
A、取放头组件（取放头、光学模块）
1
清洁吸嘴与吸嘴连杆
ˇ
2
确认真空来源及检测器数值
3
清洁镜头
拭镜纸
4
检查检取及放置位置
5
润滑连接Z轴培林
6
清洁润滑滚珠螺杆
7
清洁润滑导向滑块
8
润滑交叉滑轨
9
润滑T型连接杆
10
检查取放头放置力度
力度计
11
清洁传感器
12
检查各传感器感应位置
13
各部螺丝旋紧
B、顶针座组件
清洁顶针座之Cap平面
检查顶针损耗
显微镜
C、晶圆平台
清洁晶圆平台台面
清洁润滑各滚珠螺杆
清洁润滑各导向滑块
清洁润滑各汽缸
检查Y轴马达皮带张力
清洁各部传感器
D、放置台
清洁放置台台面
检查X轴马达皮带张力
调整放置位置
第2章、一般维护说明
2-1、8215-SH主要模块
8215-SHPickandPlaceMachine大部介绍如下所述：
包含晶粒取放头（LB15C）、晶圆平台&
扩片环（WT&
FF）、顶针座（DE07H）、检取影像定位CCD（CCD46C）、放置台机构（BT28A）。
2-2、取放头
取放头为主要由X向平台、Z向平台、Y向平台及BondForce四个组件构成
取放头PM检查清单
项目
注意事项
配合工具
次数
润滑滚珠螺杆
关闭马达
注油枪
M
润滑滑块
HY
棉花棒、酒精
S
清洁取放头吸嘴管路
W
2-2-1、清洁调整X向平台
2-2-1-1、-滚珠螺杆滑块润滑
目的：
为保持作动模块高效率与良好性能，因为本身属于滚动接触，所以滚动的滚珠螺杆需要的润滑油需量较少。
步骤：
1.关闭取放头模块的马达电源
2.使用清洁纸（无棉絮的布），将残留在螺杆上的废旧油渣去除
3.定位珠螺杆的注油孔，用注油枪打进NSK-PS2润滑油加以润滑
4.以手动转动马达方式驱动螺杆，使轴从一端移动至另一端来回3~4次，并确认来回过程中作动滑顺无顿点
5.除去螺杆与螺母交接处多余的油
6.开启取放头模块的马达电源
2-2-1-2、清洁传感器
使传感器作动正常，不会因感应错误造成偏移误差
2.在不拆除其它部件的状态下进行清洁
3.以真空清洁器吸取清洁或清洁纸（无棉絮的布）沾拭酒精（不可用具有腐蚀性的化学药品，如IPA）将传感器擦拭干净，无灰尘批覆
4.检查传感器连接处及连接线材是否完整无磨损
5.以手动转动马达方式驱动螺杆，来回3~4次测试传感器是否作动正常
2-2-2、清洁调整Z向工作模块
2-2-2-1、滚珠螺杆润滑
3.以NSK-PS2润滑油加以螺杆上润滑
4.以手动转动马达方式驱动螺杆，使轴从一端移动至另一端来回3~
4次，并确认来回过程中作动滑顺无顿点
2-2-2-2、滑块润滑
为保持作动模块高效率与良好性能，因为本身属于滚动接触，所以滚
动的滑块滚珠需要有润滑油加以润滑。
2-2-2-3、润滑清洁调整T型连接件
为保证连接处的滑顺度与平行度，因为连接处上下为两个培林夹持固
定亦属于滚动接触，故只需上一层薄油
2.使用清洁纸（无棉絮的布），将残留在导杆及培林上的废旧油渣去除
3.以低黏稠度的润滑油施加于导杆及培林上加以润滑
4.以手动转动Y轴马达方式驱动T型连接板，使培林从导杆一端移动
至另一端来回3~4次，除去培林及连接处多余的润滑油
5.调整确认上下两个挟持培林的紧度与平行度（先将下方培林固定后
再调整上方的固定培林）
6.开启取放头模块的马达电源，注意Z轴检取、设定、放置高度的改
变以免发生撞机
2-2-2-4、清洁传感器
使传感器作动正常，回归原点时不会造成偏移误差
3.以真空清洁器吸取清洁或清洁纸（无棉絮的布）沾拭酒精（不可用具
有腐蚀性的化学药品，如IPA）将传感器擦拭干净，无灰尘批覆
2-2-3、清洁调整Y向平台
2-2-3-1、滑块润滑
动的滑块滚珠需要的润滑油需量较少。
2.使用清洁纸（无棉絮的布），将残留在滑块导块上的废旧油渣去除
3.以NSK-PS2润滑油施加于导块上加以润滑
4.以手动转动马达方式驱动滑块，使滑块从导块一端移动至另一端来
回3~4次，并确认来回过程中作动滑顺无顿点
5.除去滑块与导块交接处多余的油
2-2-3-2、清洁取放头吸嘴管路
确保吸嘴真空气压管路顺畅，使检放晶粒位置正确且判定是否有捡放
晶粒的真空值保持稳定，不会造成误判
1.松开侧边的固定止付螺丝卸下吸嘴栓
2.至显微镜下检查吸嘴是否完整，若破损请立即更换新品
3.将吸嘴栓以IPA清洗，确认无锡膏或异物残留
4.点击[设定]=>
[取放头]将取放头吸嘴吹气打开，以IPA清洁吸嘴栓
固定座，若气管内有锡膏异物残留请更换气管
5.清洁完成将所有零组件装回后，重新设定真空感知器的数值（其设定
值为介于未吸取晶粒及吸取晶粒的数值中间）
2-3、顶针座
顶针座为主要由Z向平台、XY交叉滑轨二个组件构成
顶针座PM检查清单
清洁顶针帽
D
2-3-1、清洁顶针帽、顶针
2-3-1-1、顶针帽清洁
为保持顶针帽上的清洁，将蓝膜残留下来的残屑给予清除干净，确保真空作动的稳定。
1.使用清洁纸（无棉絮的布），沾上酒精或IPA以擦拭方式加以清洁
2-3-2、清洁调整Z向平台
2-3-2-1、-滚珠螺杆滑块润滑
1.关闭机台的马达电源
2.小心地将顶针座拆下自晶圆平台中取出机台
3.使用清洁纸（无棉絮的布），将残留在螺杆上的废旧油渣去除
4.将NSK-PS2润滑油涂于螺杆之螺牙上加以润滑
5.以手动转动马达方式驱动螺杆，使轴从一端移动至另一端来回3~4次，并确认来回过程中作动滑顺无顿点
6.除去螺杆与螺母交接处多余的油
7.小心地将顶针座装回机台上的晶圆平台中
8.开启机台的马达电源
9.校正三点同心（确保镜头中心轴与晶圆平台面为相互垂直,顶针座与晶圆平台与CCD的中心点必须在同一垂直线上）
2-3-2-1、滑块润滑
3.使用清洁纸（无棉絮的布），将残留在滑块导块上的废旧油渣去除
4.以NSK-PS2润滑油施加于导块上加以润滑
5.以手动转动马达方式驱动滑块，使滑块从导块一端移动至另一端来
6.除去滑块与导块交接处多余的油
2-3-2-3、清洁传感器
6.开启机台的马达电源
2-4、晶圆平台
晶圆平台主要由X向平台机构、Y向平台机构及扩片机构三大部分所组成
滚珠螺杆润滑
滑块润滑
调整皮带张紧度
润滑汽缸
关闭主气源
2-4-1、润滑调整X向平台机构
2-4-1-1、滚珠螺杆润滑
1.关闭该模块的马达电源
6.开启该模块的马达电源
2-4-1-2、滑块润滑
为保持作动模块高效率与良好性能，因为本身属于滚动接触，所以滚动的滑块滚珠需要的润滑油需量较少。
2.使用清洁纸（无棉絮的布）将残留在滑块导块上的废旧油渣去除
4.以手动转动马达方式驱动滑块，使滑块从导块一端移动至另一端来回3~4次，并确认来回过程中作动滑顺无顿点
2-4-1-3、调整皮带张紧度
为保证马达带动螺杆转动正常，能精准快速到位
1.关闭该模块电源
2.检查皮带齿痕是否完整无破损
3.调整皮带张紧度，用手压缩皮带两侧检查其允许压缩空间范围为1~2mm
4.用手动方式转动马达，检视带动是否顺畅无顿点
5.开启该模块马达
2-4-1-4、清洁传感器
2-4-2、润滑调整Y向平台机构
2-4-2-1、滚珠螺杆润滑
2-4-2-2、滑块润滑
2-4-2-3、清洁传感器
2-4-3、清洁调整扩片机构
2-4-3-1、调整皮带
为保持θ轴模块转动正常，能精准快速到位
3.使用调整螺来调整皮带张紧度，用手压缩皮带两侧检查其允许压缩空间范围为1~2mm
2-4-3-2、汽缸润滑
为保持扩片机构功能正常
1.将主气压源关闭
2.适用清洁纸（或无棉絮之清洁的布）将汽缸上的旧润滑油清除
3.用低黏稠度的润滑油（无腐蚀性）涂抹在汽缸上
4.用手动方式左右移动使润滑油均匀附着在导柱上
5.清除在导柱与汽缸相接触残留的润滑油
6.将主气压源开启至规范内
2-4-3-3、清洁传感器
2-5、放置台机构
放置台主要由X向平台机构、Y向平台机构及石墨盘放置台三大部分所组成
2-5-1、润滑调整X向平台机构
2-5-1-1、滚珠螺杆润滑
2-5-1-2、滑块润滑
2-5-1-3、调整皮带张紧度
2-5-1-4、清洁传感器
2-5-2、润滑调整Y向平台机构
2-5-2-1、滚珠螺杆润滑
2-5-2-2、滑块润滑
2-5-2-3、清洁传感器
2-6、光学机构
光学机构为检取CCD定位影像模块
交叉滑轨润滑
Y
镜头清洁
2-6-1、捡取影像对位模块
2-6-1-1、交叉滑轨润滑
为保持作动模块高效率与良好性能，因为本身属于滚动接触，所以滚动的
升级会员 