1、交点表示刚好Vg相同,并且有效沟道长度为0的情况,由此算出L &Z7uJ%h0K半导体技术天地Semiconductor Technology World另外还有Weff,有效沟道宽度,道理一样。图片附件: Leff.jpg (2007-2-5 00:19, 64.19K)v s;v h,H$oT半导体技术天地Semiconductor Technology World2、Kappa与Beta()Ku1?#dd1A!x!i6T估计大家对Kappa的了解是最少的。qe Kappa实际上就是Poly能力的本质所在,只与Gox的厚度和电子迁移率有关,它决定了当gate开启的时候,电流的大小。但是电流
2、大小还会与Poly本身的尺寸有关,所以Beta是融合了Poly长宽(L/W)的Kappa。#j8UpfVL:XBo半导体技术天地Semiconductor Technology World当客户设计的时候,就会问fab的Kappa是多少,如果fab制程提供的Kappa不满足design的需求,客户就会在长宽(L/W)上动脑筋,长度增加,电流也增加了。 Kappa.jpg (2007-2-5 00:19, 63.48 K) 3.Isatk*e6y io)S芯片,设计,版图,晶圆制造,工艺,制程,封装,测试,wafer,chip,ic,design,fabrication,process,layo
3、ut,package,test,FA,RA,QA即饱和电流,即Gate开启后,电流在一定drain端电压范围内不再增加。沟道长度越短,Gate开启(VgVt)时的电流越大,就越早达到饱和电流。那么是不是Isat一定与Vt成反比呢?大家去查任何一本半导体的书,或者问自己的师傅,一定会告诉你:是。4p-I0G BJc$A但是答案是不一定。芯片制造过程中会遇到很多想像不到的问题,我带的产品确实是Isat和Vt成正比。这个案例非常复杂,以后我会告诉大家。芯片, 图片附件: Isat.jpg (2007-2-5 00:19, 52.05 K) 9d)n#k6b,3j!g4、Bv#g5r!?$i+S(i6
4、Kt芯片,设计,版图,晶圆制造,工艺,制程,封装,测试,wafer,chip,ic,design,fabrication,process,layout,package,test,FA,RA,QA这里特别说明,Bv与VBD本质上不同,Bv是Gate不开的时候,只在drain端加高压,量测drain端电流,所以量测的是source到drain的击穿,当然与沟道长度有关; VBD是量测drain到Gox的击穿,所以是评估Gox好不好的参数。 Bv.jpg (2007-2-5 00:19, 58.27 K)5、Swing和DIBLN-?8u;XT芯片,设计,版图,晶圆制造,工艺,制程,封装,测试,wa
5、fer,chip,ic,design,fabrication,process,layout,package,test,FA,RA,QA这两个参数都是MOS在subthreshold区的参数。在subthreshold区,Vg略小于Vt,这个时候的通道电流不应该是强反转时候的电流,而是弱反转,即npn或pnp之间的电流。所以一句话概括,当MOS关闭的时候,我们当然希望里面什么电流都没有,当MOS开启的时候才有电流。4aGaX Ym&q2KSwing就是这个变化程度大小的量度,如下所述。7E3A!w/-l&nt0HrDIBL,即是这个现象的描述。 swing.jpg (2007-2-5 00:19, 69.63 K)
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