镭射钻机作业指示三厂汇编.docx

1、镭射钻机作业指示三厂汇编文件更改履历(Document change history)版本Rev.更改性质及项号Nature of change and section no. 制订人Initiator制订日期Est. Date.(月/日/年)生效日期Eff. Date.(月/日/年)0首次发行 first issued季秉昭08/05/201308/15/20131增加 6.13和O-WI-PE-920-5/0表单删除O-WI-PE-920-2/0余昊栋10/08/201310/18/2013分 发 部 门 (制订人应用“”指出此文件的接收部门)Distributed departments

2、 (Initiator should indicate the accepting departments by symbol .)市场部/Mkt.生产部/Prod. 采购部/Pur.工艺部/PE维修部/Mai.品质部/QA 人政部/H.R.&Ad.计划部/PPC工程部/PPE资讯部/IT财务部/FIN厂长/PM管理者代表/MR中心总监/CD其它(Other)会签 (制订人应用“”指出此文件的会签者)Signature. (Initiator should indicate the signature of the document by symbol )审批者Approver签名Signat

3、ure审批者Approver签名SignatureQ.A Manager （ ）MKT. Manager （ ）PPE. Manager （ ）Pur. Manager （ ）PE. Manager ( )Mai. Manager ( )Prod. Manager ( )H.R &Ad. Manager ( )PPC. Manager ( )IT. Manager ( )FIN. Manager ( )CenterDirector( )MR. ( )Vice-President/ President ( )文件修订对照表原页码现页码版本号当页修订号修订前修订后封页0A0无220A0330A04

4、40A0550A0660A0770A0880A0990A010100A011110A012120A013130A014140A1增加6.13 停电、停水、停气处理程序15150A016160A017170A1增加O-WI-PE-920-5/0表单删除O-WI-PE-920-2/0备注：1.总页码数有增加需将文件版本号升级； 2.累积页码数修改超过本文件一半需将文件版本号升级； 1.0 目的： 规范生产，保证品质,为生产员工提供相关作业标准. 2.0 范围： 凡需经镭射作业之流程,均属本规范管制范围. 3.0 定义： 无 4.0 职责： 4.1 生产部:负责执行操作保持工作参数条件正常及日常保养

5、。 4.2 工艺部:负责对流程问题提供技术支援。 4.3 维修部:为生产设备提供保养及维修服务。 4.4 品质部:负责流程参数监控和督查。 5.0 三菱激光钻机（ML605TWIII(-H)5200U）操作内容 6.0 机台操作规范 6.1 开机指引： 6.1.1 打开机器总电源开关（发振器右下角） 6.1.2 打开空气压缩机电源 6.1.3 打开压缩空气，吸尘机 6.1.4 开机器控制电脑（按机器正面左上角 PC POWER 按键），选择LCP 登入，密码：lcp. 6.2 热机： 6.2.1 当机器电脑软件起动后，把触摸屏旁钥匙转至 ON 位置。 6.2.2 打开电脑软件 ON/OFF 画

6、面，点击进行Aging 热机（机器台面需放板，吸板压力需要在正常范围），过程需 二十分钟。 6.3 机器精度校正： （校正前需先选好是用一个头做板还是用二个头做板）点击 再点击F4 进入如下画面时，点击，当它由红色变为绿色时，按绿色Start 键（机器台面需放板，吸板压力需 要在正常范围）。此时机器会在压克力补偿板上打孔，然后会用CamB 看孔的位置，调节灯光亮度，再按Start 键，机器会用Cam B CCD 去抓这个孔，然后自动转换成Cam A看孔的位置,调节灯光亮度，再按Start 键，机器又会用Cam A CCD 去抓这个孔.之后机器会自动做完精度补偿。做完后，机器精度偏差会如图显示，

7、但精度偏差不能超过0.020mm.如超出则会报警。此时需重新做一次，如反复都不能通过，则需向主管报告此情况。 6.4 选择做板用的条件测能量 如下图：要做板材为 2116 孔径为5MIL 的板时，点击该条件的代号2，让其变为绿色。当其变为绿色时，表示 你已经选择好该条件（如下图所示）。 当选好条件时点击测能量画面中的 ，让其变为蓝色，然后按START 键，机器此时会先自动去测右头R 的能量，所测能量会在Output(proc.point) (mj)显示，如果能量与条件中的要求有差异，则修改 Collimation mag.让所测能量在设定范围。然所按START 确认。机器然后会去测左头L 的能

8、量，做法与测右头的方法 一样。当测好左头按了START 键后，机器会再次全自动测左头L 及右头R 的能量，且会显示在如图中。如果左头与右头能量偏差太大超出设定围，机器会自动报警，此时需向主管报告此情况。 6.5 选钻带 注意事项：所选做板的条件要与钻带中选钻带的指令需吻合所选的条件代号为 2，则钻中选条件的指令要改为M102（如下图所示）.相同的做法，如果所选的条件代号为5，则钻中选条件的指令要改为M105.修改好钻带后点击所需钻带，再点击则已选好钻带 6.6 选择灯光 当选好条件，选好钻带后，选择做此板所需的灯光，如下 6.7 选择手动，半自动，全自动 靠自动上下板机用半自动上二块板到台面上

9、，过程中需调好自动上板机及下板机的车子，根据板的 尺寸调整好吸嘴，台面吸板的压力。做不同型号的板时第一块板需手动或半自动先抓一次靶标，让机器自动记忆所抓靶标的座标，然后第二块板开始就可以设置成自动。如下图设置 6.8 做板 靠自动上下板机用半自动上二块板到台面上，过程中需调好自动上板机及下板机的车子，根据板的尺 寸调整好吸嘴，台面吸板的压力。打开钻带图形及钻带 PRG 文件，要确认图形中X,Y 的座标方向是否正确。然后在钻带中找出第一个靶标的座标，再在钻带图形中找出第一个靶标的位置（用鼠标指红色三角形，在左下角就会显示该座标，与钻带中的靶标座标相对比就可找出）。由此类推找出第二，三，四个靶标的

10、位置。 START 起动机器做板，此时机器会自动测板厚（调整做板时Z 轴高度），然后用B 灯去抓（按钻带中 靶标座标的顺序）， 做板的监控画面如下图： 同时生产时要注意事项： 1） 在做板的钻带是否正确 2） 在做板的条件是否正确 3） 首板要检测，而生产过程中也必需抽检 4） 机器是否要做精度校正（正常 240Min 做一次） 5） 机器是否要测能量（正常 240Min 做一次） 6） 机器是否要换激光气（小换气二天一次，大换气半个月一次） 当做完板后台面会自动停在 WORK POSITION 位置，放掉吸板真空，然后鸣蜂器响提示板已做 完,此时才可以打开门取板。至此，以上为手动做板的操作步

11、骤. 6.9 自动做板 如果生产板较多的话就要用到自动做板，操作就继续接着下面的方法操作,此时如需要自动做板则按 以下方法： 6.10 选钻带及条件步骤： 打开如下画面。点击F10 Parameter 显示Parameter set 画面，点击2 个REF 找出生产用的钻带及条 件所在的路径，然后单OK.(注：不能点击P1 MEMO)如下图： 然后点击英文字母 V，选择钻带，条件，板的尺寸。在SCH SHEET 中输入要做板的数量。再点击前 6.11 选择全自动 做板前准备： 当选择好灯光，条件，钻带，全自动抓靶标后，在触摸屏上按 RUNNING START 开始做板。 此时机器将开始自动做板

12、。 同时生产时要注意事项： 1.在做板的钻带是否正确 2.在做板的条件是否正确 3.首板要检测，而生产过程中也必需抽检 4.机器是否要做精度校正（正常240Min 做一次） 5.机器是否要测能量（正常240Min 做一次） 6.机器是否要换激光气（小换气二天一次，大换气半个月一次） 自动做板的监控画面如下图: 6.12 关机 6.12.1 要关机时，点击 Mach.End 键（如图），等待1 分钟后,发振器停止工作，此时把机器触摸屏旁钥 匙转 OFF 位置,动力电自动关闭。停几秒后再按机器正面左上角PC POWER 按键关闭电脑。 6.12.2 关闭干燥机电源 6.12.3 关闭压缩空气，吸尘

13、机 6.12.4 关闭机器总电源开关（发振器右下角） 6.12.5 关闭电箱上面 UPS 电源开关 6.13 停电、停水、停气处理程序 6.13.1 加工过程中出现突然停电情况，当复电后按正常开机程序开机、归零、暖机；重新调入资料调整光标点定 位，检查原生产板所钻孔的位置，选择未打孔区域按正常作业参数钻完整板，下板后进行检查，有无漏孔。 6.13.2 停水、停气机台会自动报警，并停止下来，此时应该确认所钻孔位置，机台运转正常后，选择未打孔区域按正常作业参数钻完整板，下板后进行检查，有无漏孔。 7.0.日常保养事项 7.1 更换所需物料器材： 7.1.1 Y STRAINER 更换吸板真空泵的过

14、滤桶 7.1.2 POWER PANEL FILTER 清洁发振器，电脑主机过滤网 7.1.3 QUICK GAS CHANGE 小换气 7.1.4 F-THETA LENS(WINDOW) 清洁保护境 7.1.5 LUBRICATING X,Y,Z 轴及自动上下板加油 7.1.6 COMPRESSOR DRAINAGE 放油水过滤器及干燥机排水 7.1.7 STICK FILTER 清洁吸板真空泵的过滤桶 7.1.8 CHANGE CCD LAMP 更换CCD 灯 7.1.9 ALL GAS CHANGE 大换气 7.1.10 REPLACE ION EXECHANG 更换树脂 7.2 稳态

15、工作时各个表的读数 7.2.1 电源电压输入380v，输出电压200v，输出电流050A 之间。 7.2.2 气瓶气压未换气时，应将激光气瓶关掉，表读数为0；N2 气瓶为设备供应商在维护时使用， 故常态 下读数也为0。换气时（包括快速换气和全部换气），激光气瓶上总气压表读数为010Mpa；减压气表为0.30.4Mpa。 7.2.3 冰水机冷水压力表都上表为0.10-0.30Mpa 下表为0.05-0.20Mpa，自动切换开关正常应打到 “切”为自动切换，打到“入”为手动切换。冰水机冷煤低压力0Mpa 以上，冷媒高压压力是2.0 Mpa 以下。 7.2.4 加工机右侧保护气体压力接近于0，另外一

16、个位0.022 Mpa。 7.2.5 LD/UNLD 气压表在0.50.6 之间，如果未出现吸盘漏气现象，仍抓板不稳，则可相应调整此 参数。 7.3. 试产条件 7.3.1 适用范围 A所有类型的样板。 B可钻制RCC （70T；75T；80T），1080 材料。 7.3.2 条件ConditionCondition #Pulse WidthShotMaskEnergyRemarkFile Name(usec)(0.01 mj)LASER DrillCu-FR4-108011312.01300FR4-CU-100um2731.850031312.31550FR4-CU-125um4732.05

17、5010911650T500烧靶116210 7.4 激光钻房的操作环境及注意事项 7.4.1 房间温度要求：19-25（温度太高或太低对机器均有很大影响）。湿度要求：50-75%。 7.4.2 尽量避免激光钻房与湿制程设备的空气流通（因湿制程设备主要用化学药水）。 7.4.3 激光钻房不能存放化学物品。 7.4.4 生产部用酒精清洗完机器的保护镜时，将酒精瓶盖好，同时将含有酒精的棉花置于密封的垃 圾桶内。 7.4.5 保持压缩空气，空调进风，新鲜空气进风不含对激光有影响的相关物质.（如：酒精， HCL.H2SO4,雪种等） 7.4.6 空调要求必须24H 开放，如空调关闭超过1小时以上，必须

18、在空调运行最少12 小时后才可开 机。 7.4.7 一天（24H）之内不准开机二次，如板间隔生产，也需要无板开机直至有板生产。 8.0 瓦斯的使用说明: 8.1 瓦斯容积:钢瓶 钢瓶内容积47L,充填压力10MPA 8.2 瓦斯组成比 8.2.1 CO2:CO:H2:HE = 14:5:0.15:18:62.85 8.2.2 精度为相对于各成份之5% 以下,但是H2为10% 以下 8.2.3 纯度为相对于各成份之99.99% 以上,但是CO为99.95% 以上 8.2.4 露点-48 以下 8.2.5 压力(发射器入口) 0.05-2MPA 8.2.6 消费量(封闭运转) 0.9L/H (标准状态) 8.3 镜片保护气体规格 8.3.1 过滤度:0.01UM 8.3.2 除去率(固体):99.999% 8.3.3 残油量 (油份):0.01PPM 8.3.4 露点:10以下 9.0 记录表： 9.1 三菱镭射钻孔机日常点检表 O-WI-PE-920-1/0 9.2镭射钻孔操作生产记录表 O-WI-PE-920-3/09.3 镭射钻孔首板检查记录表 O-WI-PE-920-4/09.4 三菱镭射钻孔机日常检查和保养记录表 O-WI-PE-920-5/0 10.0 附件： 无