1、镭射钻机作业指示三厂汇编文件更改履历(Document change history)版本Rev.更改性质及项号Nature of change and section no. 制订人Initiator制订日期Est. Date.(月/日/年)生效日期Eff. Date.(月/日/年)0首次发行 first issued季秉昭08/05/201308/15/20131增加 6.13和O-WI-PE-920-5/0表单删除O-WI-PE-920-2/0余昊栋10/08/201310/18/2013分 发 部 门 (制订人应用“”指出此文件的接收部门)Distributed departments
2、 (Initiator should indicate the accepting departments by symbol .)市场部/Mkt.生产部/Prod. 采购部/Pur.工艺部/PE维修部/Mai.品质部/QA 人政部/H.R.&Ad.计划部/PPC工程部/PPE资讯部/IT财务部/FIN厂长/PM管理者代表/MR中心总监/CD其它(Other)会签 (制订人应用“”指出此文件的会签者)Signature. (Initiator should indicate the signature of the document by symbol )审批者Approver签名Signat
3、ure审批者Approver签名SignatureQ.A Manager ( )MKT. Manager ( )PPE. Manager ( )Pur. Manager ( )PE. Manager ( )Mai. Manager ( )Prod. Manager ( )H.R &Ad. Manager ( )PPC. Manager ( )IT. Manager ( )FIN. Manager ( )CenterDirector( )MR. ( )Vice-President/ President ( )文件修订对照表原页码现页码版本号当页修订号修订前修订后封页0A0无220A0330A04
4、40A0550A0660A0770A0880A0990A010100A011110A012120A013130A014140A1增加6.13 停电、停水、停气处理程序15150A016160A017170A1增加O-WI-PE-920-5/0表单删除O-WI-PE-920-2/0备注:1.总页码数有增加需将文件版本号升级; 2.累积页码数修改超过本文件一半需将文件版本号升级; 1.0 目的: 规范生产,保证品质,为生产员工提供相关作业标准. 2.0 范围: 凡需经镭射作业之流程,均属本规范管制范围. 3.0 定义: 无 4.0 职责: 4.1 生产部:负责执行操作保持工作参数条件正常及日常保养
5、。 4.2 工艺部:负责对流程问题提供技术支援。 4.3 维修部:为生产设备提供保养及维修服务。 4.4 品质部:负责流程参数监控和督查。 5.0 三菱激光钻机(ML605TWIII(-H)5200U)操作内容 6.0 机台操作规范 6.1 开机指引: 6.1.1 打开机器总电源开关(发振器右下角) 6.1.2 打开空气压缩机电源 6.1.3 打开压缩空气,吸尘机 6.1.4 开机器控制电脑(按机器正面左上角 PC POWER 按键),选择LCP 登入,密码:lcp. 6.2 热机: 6.2.1 当机器电脑软件起动后,把触摸屏旁钥匙转至 ON 位置。 6.2.2 打开电脑软件 ON/OFF 画
6、面,点击进行Aging 热机(机器台面需放板,吸板压力需要在正常范围),过程需 二十分钟。 6.3 机器精度校正: (校正前需先选好是用一个头做板还是用二个头做板)点击 再点击F4 进入如下画面时,点击,当它由红色变为绿色时,按绿色Start 键(机器台面需放板,吸板压力需 要在正常范围)。此时机器会在压克力补偿板上打孔,然后会用CamB 看孔的位置,调节灯光亮度,再按Start 键,机器会用Cam B CCD 去抓这个孔,然后自动转换成Cam A看孔的位置,调节灯光亮度,再按Start 键,机器又会用Cam A CCD 去抓这个孔.之后机器会自动做完精度补偿。做完后,机器精度偏差会如图显示,
7、但精度偏差不能超过0.020mm.如超出则会报警。此时需重新做一次,如反复都不能通过,则需向主管报告此情况。 6.4 选择做板用的条件测能量 如下图:要做板材为 2116 孔径为5MIL 的板时,点击该条件的代号2,让其变为绿色。当其变为绿色时,表示 你已经选择好该条件(如下图所示)。 当选好条件时点击测能量画面中的 ,让其变为蓝色,然后按START 键,机器此时会先自动去测右头R 的能量,所测能量会在Output(proc.point) (mj)显示,如果能量与条件中的要求有差异,则修改 Collimation mag.让所测能量在设定范围。然所按START 确认。机器然后会去测左头L 的能
8、量,做法与测右头的方法 一样。当测好左头按了START 键后,机器会再次全自动测左头L 及右头R 的能量,且会显示在如图中。如果左头与右头能量偏差太大超出设定围,机器会自动报警,此时需向主管报告此情况。 6.5 选钻带 注意事项:所选做板的条件要与钻带中选钻带的指令需吻合所选的条件代号为 2,则钻中选条件的指令要改为M102(如下图所示).相同的做法,如果所选的条件代号为5,则钻中选条件的指令要改为M105.修改好钻带后点击所需钻带,再点击则已选好钻带 6.6 选择灯光 当选好条件,选好钻带后,选择做此板所需的灯光,如下 6.7 选择手动,半自动,全自动 靠自动上下板机用半自动上二块板到台面上
9、,过程中需调好自动上板机及下板机的车子,根据板的 尺寸调整好吸嘴,台面吸板的压力。做不同型号的板时第一块板需手动或半自动先抓一次靶标,让机器自动记忆所抓靶标的座标,然后第二块板开始就可以设置成自动。如下图设置 6.8 做板 靠自动上下板机用半自动上二块板到台面上,过程中需调好自动上板机及下板机的车子,根据板的尺 寸调整好吸嘴,台面吸板的压力。打开钻带图形及钻带 PRG 文件,要确认图形中X,Y 的座标方向是否正确。然后在钻带中找出第一个靶标的座标,再在钻带图形中找出第一个靶标的位置(用鼠标指红色三角形,在左下角就会显示该座标,与钻带中的靶标座标相对比就可找出)。由此类推找出第二,三,四个靶标的
10、位置。 START 起动机器做板,此时机器会自动测板厚(调整做板时Z 轴高度),然后用B 灯去抓(按钻带中 靶标座标的顺序), 做板的监控画面如下图: 同时生产时要注意事项: 1) 在做板的钻带是否正确 2) 在做板的条件是否正确 3) 首板要检测,而生产过程中也必需抽检 4) 机器是否要做精度校正(正常 240Min 做一次) 5) 机器是否要测能量(正常 240Min 做一次) 6) 机器是否要换激光气(小换气二天一次,大换气半个月一次) 当做完板后台面会自动停在 WORK POSITION 位置,放掉吸板真空,然后鸣蜂器响提示板已做 完,此时才可以打开门取板。至此,以上为手动做板的操作步
11、骤. 6.9 自动做板 如果生产板较多的话就要用到自动做板,操作就继续接着下面的方法操作,此时如需要自动做板则按 以下方法: 6.10 选钻带及条件步骤: 打开如下画面。点击F10 Parameter 显示Parameter set 画面,点击2 个REF 找出生产用的钻带及条 件所在的路径,然后单OK.(注:不能点击P1 MEMO)如下图: 然后点击英文字母 V,选择钻带,条件,板的尺寸。在SCH SHEET 中输入要做板的数量。再点击前 6.11 选择全自动 做板前准备: 当选择好灯光,条件,钻带,全自动抓靶标后,在触摸屏上按 RUNNING START 开始做板。 此时机器将开始自动做板
12、。 同时生产时要注意事项: 1.在做板的钻带是否正确 2.在做板的条件是否正确 3.首板要检测,而生产过程中也必需抽检 4.机器是否要做精度校正(正常240Min 做一次) 5.机器是否要测能量(正常240Min 做一次) 6.机器是否要换激光气(小换气二天一次,大换气半个月一次) 自动做板的监控画面如下图: 6.12 关机 6.12.1 要关机时,点击 Mach.End 键(如图),等待1 分钟后,发振器停止工作,此时把机器触摸屏旁钥 匙转 OFF 位置,动力电自动关闭。停几秒后再按机器正面左上角PC POWER 按键关闭电脑。 6.12.2 关闭干燥机电源 6.12.3 关闭压缩空气,吸尘
13、机 6.12.4 关闭机器总电源开关(发振器右下角) 6.12.5 关闭电箱上面 UPS 电源开关 6.13 停电、停水、停气处理程序 6.13.1 加工过程中出现突然停电情况,当复电后按正常开机程序开机、归零、暖机;重新调入资料调整光标点定 位,检查原生产板所钻孔的位置,选择未打孔区域按正常作业参数钻完整板,下板后进行检查,有无漏孔。 6.13.2 停水、停气机台会自动报警,并停止下来,此时应该确认所钻孔位置,机台运转正常后,选择未打孔区域按正常作业参数钻完整板,下板后进行检查,有无漏孔。 7.0.日常保养事项 7.1 更换所需物料器材: 7.1.1 Y STRAINER 更换吸板真空泵的过
14、滤桶 7.1.2 POWER PANEL FILTER 清洁发振器,电脑主机过滤网 7.1.3 QUICK GAS CHANGE 小换气 7.1.4 F-THETA LENS(WINDOW) 清洁保护境 7.1.5 LUBRICATING X,Y,Z 轴及自动上下板加油 7.1.6 COMPRESSOR DRAINAGE 放油水过滤器及干燥机排水 7.1.7 STICK FILTER 清洁吸板真空泵的过滤桶 7.1.8 CHANGE CCD LAMP 更换CCD 灯 7.1.9 ALL GAS CHANGE 大换气 7.1.10 REPLACE ION EXECHANG 更换树脂 7.2 稳态
15、工作时各个表的读数 7.2.1 电源电压输入380v,输出电压200v,输出电流050A 之间。 7.2.2 气瓶气压未换气时,应将激光气瓶关掉,表读数为0;N2 气瓶为设备供应商在维护时使用, 故常态 下读数也为0。换气时(包括快速换气和全部换气),激光气瓶上总气压表读数为010Mpa;减压气表为0.30.4Mpa。 7.2.3 冰水机冷水压力表都上表为0.10-0.30Mpa 下表为0.05-0.20Mpa,自动切换开关正常应打到 “切”为自动切换,打到“入”为手动切换。冰水机冷煤低压力0Mpa 以上,冷媒高压压力是2.0 Mpa 以下。 7.2.4 加工机右侧保护气体压力接近于0,另外一
16、个位0.022 Mpa。 7.2.5 LD/UNLD 气压表在0.50.6 之间,如果未出现吸盘漏气现象,仍抓板不稳,则可相应调整此 参数。 7.3. 试产条件 7.3.1 适用范围 A所有类型的样板。 B可钻制RCC (70T;75T;80T),1080 材料。 7.3.2 条件ConditionCondition #Pulse WidthShotMaskEnergyRemarkFile Name(usec)(0.01 mj)LASER DrillCu-FR4-108011312.01300FR4-CU-100um2731.850031312.31550FR4-CU-125um4732.05
17、5010911650T500烧靶116210 7.4 激光钻房的操作环境及注意事项 7.4.1 房间温度要求:19-25(温度太高或太低对机器均有很大影响)。湿度要求:50-75%。 7.4.2 尽量避免激光钻房与湿制程设备的空气流通(因湿制程设备主要用化学药水)。 7.4.3 激光钻房不能存放化学物品。 7.4.4 生产部用酒精清洗完机器的保护镜时,将酒精瓶盖好,同时将含有酒精的棉花置于密封的垃 圾桶内。 7.4.5 保持压缩空气,空调进风,新鲜空气进风不含对激光有影响的相关物质.(如:酒精, HCL.H2SO4,雪种等) 7.4.6 空调要求必须24H 开放,如空调关闭超过1小时以上,必须
18、在空调运行最少12 小时后才可开 机。 7.4.7 一天(24H)之内不准开机二次,如板间隔生产,也需要无板开机直至有板生产。 8.0 瓦斯的使用说明: 8.1 瓦斯容积:钢瓶 钢瓶内容积47L,充填压力10MPA 8.2 瓦斯组成比 8.2.1 CO2:CO:H2:HE = 14:5:0.15:18:62.85 8.2.2 精度为相对于各成份之5% 以下,但是H2为10% 以下 8.2.3 纯度为相对于各成份之99.99% 以上,但是CO为99.95% 以上 8.2.4 露点-48 以下 8.2.5 压力(发射器入口) 0.05-2MPA 8.2.6 消费量(封闭运转) 0.9L/H (标准状态) 8.3 镜片保护气体规格 8.3.1 过滤度:0.01UM 8.3.2 除去率(固体):99.999% 8.3.3 残油量 (油份):0.01PPM 8.3.4 露点:10以下 9.0 记录表: 9.1 三菱镭射钻孔机日常点检表 O-WI-PE-920-1/0 9.2镭射钻孔操作生产记录表 O-WI-PE-920-3/09.3 镭射钻孔首板检查记录表 O-WI-PE-920-4/09.4 三菱镭射钻孔机日常检查和保养记录表 O-WI-PE-920-5/0 10.0 附件: 无
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