制绒清洗工艺文件.docx
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制绒清洗工艺文件
制绒清洗工艺文件．
江西天能电力股份有限公司工艺文件
江西天能电力股份有限公司
文件名称：
156多晶硅片绒面制备工艺
文件编号：
版本：
TNSC-01:
编制部门：
技术部
生效日期：
页数：
标题1.156mm*156mm多晶硅片绒面制备和清洗甩干工艺。
2.目的2.1清洗多晶硅片表面油污和损伤层、氧化层的去除。
2.2在多晶硅片表面制备一个反射率较低的织构表面。
3.适用范围型清洗QSJ-03DUZQJ-9000型多晶硅制绒清洗机及适用于无锡市瑞能科技有限公司甩干机。
156mm*156mm）（硅片型号：
多晶硅片绒面制备
4.定义多晶硅在去清洗腐蚀后，目视硅片表面呈均匀的灰黑色，没有明显的斑点，多晶晶
界不明显。
显微镜下，绒面形貌均匀，硅片表面无明显台阶。
职责5.5.1所有操作人员都必须严格按照本文件进行操作；5.2在操作过程中遇到问题应及时向相关技术人员反应，相关技术员及时提供帮助。
内容6.插片6.16.1.1主要原材料：
合格的多晶硅片工装、设备：
6.1.2片架（小花蓝）清洗花篮美工刀
2
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6.1.3工艺过程穿戴好工作服、工作帽、口罩和一次性手套。
6.1.3.1准备好片架、装片记录表以及工序流程卡。
6.1.3.2查看配料单，确认原材料信息以及数量，并填写装片记录和工序流程卡。
6.1.3.3检查硅片包装箱确认包装无撞击破损后打开，取出硅片包装盒，在装片记录上6.1.3.4记录相关信息。
打开硅片包装盒，从中抽取一片，按照检验标准分别检查其外观。
6.1.3.5取出包装盒内的硅片，并撵成扇形轻轻插入片架内。
6.1.3.6将装好硅片的片架分批按顺序整齐摆放在台面上，并将工序流程卡记录准确。
6.1.3.7准备下一步个插片后的片架。
×46.1.3.8将片架放入清洗花篮中每个清洗花篮中放置3腐蚀清洗。
6.1.3.8注意事项片。
插片过程中对硅片进行检验，不合格硅片挑出。
每每个片架最多可以插片251.100片硅片需要更换一次手套，如装片过程中手套破损需及时更换。
装2.插片处打开包装箱拿取硅片时，遵循少量多次的原则，不允许一次拿过量的硅片。
片。
50-1003.插片时，手中拿的硅片数量在确保没有缺陷片流出。
4.确认在单个片槽内没有双片现象；各项数据的准确性和完整性。
5.不相符合的硅片挑出，并做装片过程中需及时将碎片、裂纹片以及其它与检验标准好记录。
腐蚀清洗6.26.2.1开机PLC电源→各分电源打开氮气阀门、压缩空气阀门、纯水阀门，打开总电源→准备工作6.2.2确认各机械手是否在原点位置。
6.2.2.1《清洗配液作确认各槽清洗状态正常，各槽内按工艺条件正确配液，见6.2.2.2业指导书》。
确认各槽排水阀关闭，无漏液等，各槽内注入规定的溶液。
6.2.2.3
3
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6.2.2.4确认各槽控制系统工作正常，程序准确，参数设定准确。
6.2.2.5点检各设备动力参数在规定范围内。
6.2.3关机，把机械手打6.2.2.1关机前先把水及药液完全排出（各槽逐个排液，防止副槽水溢流）回原点。
电源→总电源→氮气、压缩空气、纯水阀。
6.2.2.2关闭各分电源→PLC
工艺过程6.2.4（时间10sec℃，时间120±槽清洗机中的第1槽，工作温度7℃±1酸腐蚀制绒：
8～0.55g。
长短根据硅片减薄量控制，156硅片减薄量控制在每片0.40。
～5min2槽，水洗槽时间2漂洗/喷淋：
8槽清洗机中的第。
～12sec百分浓度2.4%，时间6KOH碱洗：
8槽清洗机中的第3槽，KOH4sec。
时间2～8漂洗：
槽清洗机中的第4槽，水洗槽4sec。
，时间2～HCl＋HF百分浓度5～10%槽，HCl酸洗：
8槽清洗机中的第5。
2～4sec6、7槽，漂洗槽时间槽清洗机中的第漂洗：
8。
～3sec槽，喷淋槽槽清洗机中的第8时间1喷淋：
8
工艺说明6.2.5。
6.2.5.1表面绒面均匀、无亮块、无白斑（干燥硅片在日光灯或聚光灯下检查）～（0.479.1μm8去除厚度要求：
硅片腐蚀去除厚度范围7.7～9.4μm，以～6.2.5.2片）为宜。
0.53g/2
工艺条件见附表6.2.5.3槽需要经常补液，补液有消耗性补液和液面高度不足补53、16.2.5.4八槽清洗机的、3
清洗工序制绒质量异常处理见附表液两种6.5HNO3之间的关系见附表7.硅片去除厚度及重量与消耗1超声清洗工艺条件见附表8.4.1补液
前清洗补液制绒补液：
1
消耗性补液：
1-1
4
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补液配方：
1-1-1
升氢氟酸升硝酸加23.51:
2.35（体积比），即10硝酸:
氢氟酸＝制绒补液时间和量：
1-1-2
1.13L。
1.61L；或者加入硝酸0.48L和氢氟酸300每做片156硅片后补液一次，液面高度不足补液：
1-25:
1:
3.4（体积比）氢氟酸:
水＝:
液面不足时添加原始制绒液，即硝酸1万片（暂定）1-3槽液寿命：
KOH补液：
2
45%KOH
配方：
。
升45%KOH补液时间和量：
每做2000片补液一次，每次加入0.2万片（暂定）槽液寿命：
1
补液：
HCl3
盐酸配方：
37%37%升盐酸。
补液时间和量：
每做2000片补液一次，每次加入11万片（暂定）槽液寿命：
后清洗补液49%氢氟酸配方：
1万片（暂定）槽液寿命：
注意事项6.2.5操作时，必须按酸、碱清洗要求穿戴好相关的个人防护用品。
1定时检查各槽内的实际温度，温度要在正确范围内，否则汇报工序负责人解决。
2每一批抽一片观察绒面，发现异常情况及时解决，若解决不了的及时反馈。
3面将片子从片架的底部托起，用另一只手夹住片子抽取片子时，用手在片架的H4两边缘将片子取出，尽量不要用手指接触片子的表面。
操作时必须安全使用化学试剂及安全使用清洗机。
若皮肤沾到化学试剂则立刻用5大量水冲洗，严重的要立即就医。
、溢流槽内的溢流水，保证槽内无碎按规定补充和更换制绒槽内的药液（见附表）6。
片、无沾污（将槽放满水后排空，循环冲洗一到两次）7在硅片准备进行制绒前，制绒槽温度必须在规定范围内。
初始配制的制绒液或者停止生产两小时以上的制绒液需要活化才能继续进行生8产，活化方法是利用低等级硅片经过一个正常工艺流程。
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在接触硅片、片架、花篮等需要保持干净的物品时需要带好一次性手套。
9
甩干7.3开机7.3.1打开电源开关、及各控制开关；7.3.1.1打开压缩空气、氮气、纯水总阀门和分阀门。
7.3.1.2操作过程见《甩干作业指导书》关机7.3.2关闭电源开关、及各控制开关，关闭压缩空气、氮气、纯水总阀门和分阀门。
7.3.2.17.3.3注意事项当出现故障时，应立刻按下“急停”按钮，在故障清除后，向右旋转“急停”按1.钮，再重新启动。
2.在盖未完全关闭或打开时切勿将手伸进机器内。
3.甩干后用来装片架的周转箱必须无碎片、无水，保持清洁。
6注意事项，去离子水。
、HCLKOH1.清洗腐蚀所用药品HNO3、HF、以损伤层去除干净为准，可适当增加去损伤槽浓度或时间或温度。
2.每隔三小时对制绒槽及温水溢流槽各测温一次，记录在清洗加液记录的备注栏里，3.如厚度超出或低于工艺规定范围，可适当增加或减少去损伤层或者制绒的时间、4.浓度等，并及时调整添加量。
异常处理7.如因过度沾污引起的色差，返工无效，可由技术员签字后往下流通。
1.对于一批产品中有一两个片架有异常，如果是一面表面质量合格的重新插片后技2.术员签字往下流；如果两面都有异常则需留下来与下一批异常产品进行并批，将合格的产品往下流通，不合格的由技术员安排是否流通或者返工。
对于需整批返工的产品一律在早班进行返工处理。
3.
6
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HCl酸洗槽再走一遍。
4.片子甩干出来后，没有送入扩散超过6小时，需在75.甩干工艺条件见附表8.工艺条件8槽清洗机的工艺条件温度槽时间溶液目的用途（℃）号（sec）
7～11去除损伤层，制备绒面110～130制绒液制绒1
常温去离子水漂洗200±20/喷淋去除腐蚀液2
±210常温KOH碱洗去除多孔硅2.4%KOH3
去除碱液漂洗去离子水常温180
4
240～300酸洗HCl5～10%HCl去除金属离子常温5
漂洗去离子水去除酸液常温1806
180去离子水去除酸液漂洗常温7
去离子水喷淋去除酸液常温80
8
溶液配制表溶液组分溶液名称去离子水35-38%HCl49%HF67%HNO3
45%KOH
3.4份份5份1制绒液————（体积）（体积）（体积）
2.4%KOH——————KOH碱洗液余量百分浓度10%～5HCl——酸洗液————余量百分浓度
9.卫生要求制绒车间要保持清洁，不要把酸、碱滴到地面上。
9.19.2盛过酸碱液的塑料桶、杯要及时刷洗，不可无标识长时间用桶盛酸碱液。
每班下班前要对制绒机进行卫生打扫，冲掉设备上面的酸碱，清理槽体，无碎片、9.3杂物。
每月应安排打扫设备和槽，彻底清扫，具体清洗项目见《清洗机定期清洗项目及规9.4范》工装夹具10.
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设备、仪器名称8槽清洗机搬运车甩干机名材料多晶硅片125×125mm65-68%分析纯HNO3HF49%分析纯KOH45%分析纯37%分析纯HCl去离子水≥13MΩ
具具、夹工
号规格或代
名称
号代格或规
特制
花篮片架周转箱塑料量杯防酸手套防酸围裙一次性手套乳胶手套定性滤纸电子称
特制125×125M8910015L，，2L500mLM570006M570013M570001M570003M570029M880017C
称
力规格动
220V-50Hz156mm电源：
、156×℃±3温度：
25）（去离子水纯水氮气压缩空气0.5-0.7MPa在此处键×=1.3=13OOOKΩ
工艺卫生等级
入公式。
清洁Ω施防措预
穿戴工作服、帽、口罩、手套
防尘手套×Ω=1.33MΩ1Ω=13OOOK塑胶围裙
一次性手套长塑胶手套
附表1超声清洗工艺条件8
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附表３：
配液、加液规则方案名称配液加液附表４制绒质量异常处理
槽号
1槽
2槽
槽3
；槽
时间（分）
3
3
3
温度（度）
85
65
常温
方案Ｘ２Ｘ１方案=5:
3:
5:
纯水；槽硝酸:
氢氟酸=3:
1:
3硝酸:
氢氟酸:
纯水液成分：
g／L，液成分：
HNO3400±10。
5g／LHF80±
问题
解决对策
亮块
白点
片架边缘绒面不到位
直接制绒：
损伤层去除不干净
表面不清洁
绒面大小不均严重
去除重量达不到要求
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HNO3之间的关系附表5硅片去除厚度及重量与消耗多晶去除125厚度（μ去除重量需添加HNO3（瓶酸槽清洗机工艺条件附表5槽位时间（分）溶液
甩干工艺条件附表7——根据瑞能设备修改温度（℃）110-120
m）
5
10
12
多晶去除156m）厚度（μ
5
10
12
（g）
0.183-0.187
0.367-0.375
0.441-0.45
去除重量（g）
0.286-0.292
0.572-0.584
0.686-0.701
）
需添加）
HNO3（瓶
23
24
2625
2728
29
4
4
44
44
4
HCL:
21L每六小时配液
流动去离子水清洗鼓泡
流动去离HF:
12子水清洗L鼓泡
流动去流动去离离子水子水清洗清洗鼓泡鼓泡
流动去离子水清洗鼓泡
每班配液
每六小每班换液时配液
每班换液
每班换液
工作气体压力MPA）（纯水流量压缩空
清洗环节
烘干环节
气
氮气
时间（S）
转速（RPM）
RPM）转速（时间（S
≥0.5-0.74LPM
0.4-0.6
220
300
650350
）
10
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注：
甩干时间、转速只允许技术人员在可调整范围内进行修改，并记录。
自检11.主要原材料：
11.1甩干的硅片
工装、设备11.2显微镜
工艺过程11.3目视硅片表面呈均匀的灰黑色，没有明显的斑点，多晶晶界不明显。
11.3.1
5微米。
11.3.2显微镜下，绒面形貌均匀，绒面高度3—12微米。
11.3.3制绒后硅片厚度与原始硅片厚度相差不超过
附件12.
《集成流程卡》《清洗工序班前检查表》《清洗工序记录单》《清洗化学品领用登记表》《清洗工序过程巡检表》
编制
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