直读光谱仪维护作业指导书.docx

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直读光谱仪维护作业指导书

直读光谱仪维护作业指导书

上海腾中机电有限公司

撰写：

于晓伟

2008年度

主题：

4460擦透镜

编号：

ZD4460-002

工具：

高纯度酒精、脱脂棉、洗耳球

LEVEL：

3

触发条件：

当各元素强度降低，且客户要求时清理透镜，清理时客户应有人员在场。

步骤：

1．关闭光闸

2．拔下透镜加热电缆插头

3．拔出透镜

4．观察是否有划痕，如发现应先向客户指出

5．取两块脱脂棉蘸上酒精分别放在透镜两侧，溶解污物约10分钟；

6．用脱脂棉轻轻擦拭透镜表面，力度要轻，注意指甲不要触及到透镜；

7．用洗耳球吹透镜，防止透镜上带有脱脂棉纤维；

8．对光源仔细观察透镜上是否有附着物；

9．擦拭完毕将透镜插入槽内约一半；

10．接上透镜加热线缆，加热10分钟；

11．完全插入透镜；

12．打开光闸；

13．开始做标准化；

14．完毕。

主题：

激发台清灰

编号：

ZD4460－001

工具：

螺丝刀、六棱扳手、洗耳球、压缩空气、吸尘器、手电

触发条件：

激发台内部清灰在每月应进行一次，主要包括CCS母板，CCS电源板，CCS逻辑板和激发板的清灰。

注：

当OE出现BITBUS报警，也可能是激发台内灰尘大引起。

步骤：

步骤如下，在操作时，特别应注意线缆插头的拔插，不能损坏插头。

1．进入OE初始化菜单，打印仪器状态。

2．关闭OE软件；

3．关闭负高压和电子箱电源；

4．打开仪器左侧面板，在关闭负高压和电子箱电源关闭20S后拔下CCS电源插头；

5．拆下激发台DOOR，和侧板；

6．拧开激发台罩固定螺丝，轻轻拆下激发台罩；

7．带静电环或触摸机器外壳发掉身体静电；

8．拔下OF光缆；

9．分别拆下CCS电源和逻辑板，用洗耳球或压缩空气清灰；

10．用同样方法清理CCS母板和台罩内各部分灰尘；

11．装好CCS电源板和逻辑板；

12．拆下激发板外壳风扇，先拔下风扇电源拆下时注意不要损坏风扇接地线，风扇清灰；

13．拔下激发板与母板连接的线缆插头XE1，拧下激发板底部4个螺丝，拆下激发板；

14．用同样的方法清灰；

15．安装激发板，注意电极底部插头，插入激发板高压插座，拧上螺丝；

16．插上OF电缆到CCS逻辑板和XE1到母板；

17．插上CCS电源插头，给上负高压和电子柜电源；

18．打开OE软件；

19．激发废样看，激发是否正常；如不正常，检查XE1和OF。

以及激发板安装位置。

20．正常后，退出OE，关闭负高压和电子柜电源，拔下CCS电源；

21．安装风扇；

22．安装激发台罩，安装时两人进行，一人负责安装，一人负责观察是否压到激发台内部线缆。

；

23．安装激发台DOOR和侧板；

24．重复16；

25．重复17，18；

26．正常后完毕。

主题：

真空泵换真空油

编号：

ZD4460－003

工具：

螺丝刀、六棱扳手、真空泵油、吸尘器、纱布、酒精

触发条件：

步骤：

1．打印机器状态；

2．关OE软件；

3．关电子柜电源，关负高压，关真空泵电源，关水泵电源；

4．除去机柜上杂物；

5．开机柜顶盖；

6．缓慢放掉真空后，拧紧真空阀；

7．扣上机体上盖；

8．拔掉真空泵电源线；

9．用吸尘器清除干净机柜后壳内灰尘，擦干净真空泵；

10．擦干净油管及线缆；

11．用扳手拧开真空泵与真空抽气管之间的压扣；

12．清洁真空抽气管的端口；

13．拿下真空泵放在合适位置，清洁真空泵上的灰尘和污垢；

14．用纱布和酒精清洁抽真空的气口；

15．拿下真空泵上的小端盖，露出注油口；

16．拧开顶部两个注油口；

17．用容器在出油口接好，缓慢拧开排油口，将泵内原有的真空油排除；

18．向出油口方向倾斜真空泵将油全部排除；

19．拧上出油口；

20．将烧杯内倒入少量真空油，倒入注油口中，轻轻摇动真空泵，洗出污物；

21．打开出油口排出清洗用的真空油；

22．拧上排油口；

23．用烧杯向真空泵注油，油位到达油位指示窗口最上面两道横线的中间部位；

24．拧上注油口螺丝；

25．安装好小端盖；

26．将真空泵在机柜内摆好位置；

27．装好真空抽气管，用扳手拧住，防止漏气；

28．插上真空泵电源线，检查确认无误；

29．送主电源开关，送水泵开关，送真空泵开关、送负高压、送电子柜电源；

30．开OE软件，监测真空状态

31．真空正常后，打点正常，工作完毕。

主题：

更换膜泵V3膜泵换膜片

编号：

ZD4460－001

工具：

螺丝刀、六棱扳手、洗耳球、吸尘器、镊子、专用工具、纱布

触发条件：

真空上不去膜泵异响年度维护

一、主机拆膜泵

步骤：

1．进OE软件，打印当前机器状态；

2．关闭仪器后面泵电源开关；

3．拿掉光谱仪顶盖上的杂物；

4．用六棱扳手拧开光谱仪顶盖的紧固螺栓，向后掀起顶盖；

5．用螺丝刀缓缓拧松真空放气阀螺丝，待听到细微的放气声，停止旋动，切忌不可一下完全拧松，防止光室受到冲击；

6．待真空室压力完全到大气压后，旋紧放气螺栓，至未放气前状态；

7．扣上光谱仪顶盖；

8．用吸尘器清理仪器后面的灰尘，纱布把后面的线缆尽量清理干净；

9．拔下膜泵上的电源线；

10．用平口螺丝刀或六棱扳手拧松膜泵与真空塑料管的铁箍螺丝，使膜泵能够取下；

11．用塑料盖或纱布堵住塑料管防止灰尘进入，用纱布时注意不要落下布纤维；

二、安装膜泵

步骤：

1．检查真空塑料管接口，注意有无杂物，如塑料管口有较大变形，可用电工刀适当切下一截，用偏口嗑丝钳剪断螺旋的钢丝；注意应保证真空塑料管仍有符合规定的长度；

2．将塑料管套上膜泵抽气管，保证重叠部分的长度；

3．套上密封铁箍并旋紧；

4．放置好膜泵的位置，平稳不能压在线缆上；

5．插上膜泵电源；

6．检查无误后，打开膜泵开关，打开仪器泵电源开关；

7．听膜泵的运转声音，应为正常的突突声，无异常杂音，有时刚送电膜泵会有异常声音，通长在20S内正常，如异常，应立即关闭仪器泵电源；

8．OE软件读状态，监测真空情况，正常情况下在20分钟左右，真空度达到30以下；

三、更换膜片

LEVEL：

3

触发条件：

旧膜泵膜片损坏后，如有膜片备件，应及时更换膜片，恢复膜泵正常功能；

工作应2人进行，一人操作，一人配合和提醒，不可两人同时上手。

步骤：

1．将膜泵外面擦拭干净，抽气口堵上原厂的防尘塑料帽，在桌子上放置平稳；

2．用活扳手拧下膜泵顶部压盖上的气管螺栓，通常为很色的，与底部连接；

3．用六棱扳手对角拧开膜泵方形压盖，小心取下，注意橡胶气门可能粘在压盖上，不要弄丢；

4．观察并纪录橡胶气门的位置和方向，不能上错；

5．用记号笔标记2个膜片压盖的位置，防止在安装的时候弄反，取下压盖放好；

6．用吸尘器除去黑色粉末状污物，并用纱布和酒精擦拭干净；

7．用标记笔记下膜片夹紧装置的位置；

8．用专用工具拧下一个膜片，拧松后要小心，防止下面的薄金属垫片掉入膜泵腔内；

9．注意观察安装关系，放置号拧下的膜片、夹紧装置和垫片；

10．可观察膜片损坏程度；

11．用吸尘器清理膜泵腔内的粉尘，用纱布和酒精擦拭干净腔口；

12．用纱布和酒精擦拭干净取下的膜片夹持装置，夹上一个新膜片；

13．放置好金属垫片，不要滑入膜泵腔内；

14．用专用工具夹持好膜片夹持装置（将膜片向外侧即工具侧翘起，工具夹住膜片下部的六方形；

15．对准螺丝拧入，力度以拧紧为止；

16．重复6－12换好另一个膜片；

17．将膜片的压盖按标记放到膜片上；

18．把新的气门按正确的方向放在膜片压盖上；

19．把方形顶盖轻轻放置在膜片压盖上，注意不能把气门碰错位；

20．用手带上6个紧固螺丝，按对角方向，递进拧紧螺丝；

21．拧上气管气路螺丝，膜泵一侧的膜片更换完毕；

22．将膜泵反转，底部朝上，重复2－20步骤，另一面2个膜片更换完毕；

23．将换下的旧膜片4个，橡胶气门4个以及专用工具交与客户；

24．换好后，在220V下，可开机试验，听声音如正常，条件允许可上机试验，不允许的话，入库待有机会上机试验；

25．如不正常，分析工作过程，重复上面的过程，切忌心急；

26．如不正常，也有可能膜泵其他地方也有损坏，不要再动，等高水平工程师指导。

主题：

更换分子泵分子泵注油

编号：

ZD4460－001

工具：

触发条件：

主题：

描迹和标准化

编号：

ZD4460－001

工具：

螺丝刀、六棱扳手、洗耳球、压缩空气、吸尘器、手电

触发条件：

主题：

布置光谱氩气气路

编号：

触发条件：

光谱加净化器气路重新布置

工具：

扳手、纱布

步骤：

1．氩气净化器上电，检查正常；

2．面对净化器后面，左边为出气端，右边为进气端，中间为反清洗时的废气端；

3．布置净化器与氩气瓶连接铜管，并在连接处分别圈出圆形缓冲环；

4．布置净化器出气端与光谱仪进气端铜管，在净化器出气端留出缓冲环；

5．铜管与气嘴的连接要仔细，可加一些密封带，保证不漏气；

6．测试密封螺母和气嘴是否能顺利和气瓶、净化器、仪器连接；

7．拧紧铜管与气瓶的密封螺丝，必要时可以加密封带；

8．打开气瓶二次压，用氩气吹出管路的灰尘约半分钟，关闭二次压；

9．插入气瓶出气铜管嘴到净化器的进气，同时在净化器出气口插入单个气嘴，打开二次压，开净化器电源，吹洗半分钟后，关闭二次压；

10．拔出气嘴，接好净化器出气铜管，吹洗半分钟；关二次压；

11．连接仪器与铜管的密封螺丝，缓缓开二次压至0.25-0.3Mpa；

12．用纱布醮肥皂水检查铜管，以及各连接处是否漏气；

13．调整仪器激发电极位置；

14．激发废样，观察激发点形状和颜色；

15．正常情况下，激发10－15个点后，激发点应该正常，可以带控样或标准化；

16．如不正常，怀疑气路污染或净化器不正常；

注意：

净化器电源应与仪器电源共地

主题：

换废气过滤油

工具：

真空油、纱布，记号笔

触发条件：

三月维护

步骤：

1．从过滤器拔下废气排放管，并检查是否完好，应没有漏气或明显的死褶，如发现应更换，更换时需拆开激发台罩，参考ZD4460-001；

2．用双手逆时针拧开储油器蓝色塑料密封螺母，一人拧，一人扶住储油器，防止落下倾倒后，污染仪器；

3．拔出滤芯，用记号笔记下此时的油位，倒掉废油；

4．用纱布擦干净滤芯和储油罐以及密封螺母；

5．倒入适量的真空油到储油器内与原油位相同的位置；

6．插入滤芯，注意不要插反，有孔的一端朝下插入油内；

7．顺时针旋紧螺母，装好；

8．插好废气管

9．打点正常，工作完成