P5000SiO2DryEtcherPMSOP.docx
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P5000SiO2DryEtcherPMSOP
1.目的：
……………………………………………………………………………………………...2
2.
适用范围：
………………………………………………………………………………….…..2
3.定义：
……………………………………………………………………………………………..2
4.权责：
……………………………………………………………………………………………..2
5.材料、工具和易损配件：
…………………………………………………………......3
6.相关文件：
……………………………………………………………………………………..4
7.作业安全卫生环保须知：
……………………………………………….……………..4
7.1作业安全……………………………………………………………………………….….4
7.2卫生环保须知……………………………………………………………..……………5
8.作业内容………………………………………………………………………………………....5
8.1PM执行频率……………………………………………………………………………..5
8.2操作步骤………….……………………………………………………………………….5
9.记录………………………………………………………………………………………………..19
10.文件更改记录…………………………………………………………………………………19
编制
黄相如
批准
1．目的（purpose）
为工程师机台保养提供一个保养规范，提高保养效率；
AstandardofthemaintenanceforMachinemaintenanceengineer,toimprovemaintenanceefficiency;
2．实用范围（Scope）
SiO2PM机台的保养
SiO2machine’sPM
3．定义（Definition）
SOP:
standardoperationprocedure（标准操作流程）
PM:
preventingmaintenance（预防保养）
TMP:
turbomolecularpump（分子泵）
4．权责（Responsibility）
本类机台归属于芯片工程部，主要用于二氧化硅钝化层的刻蚀，机台管理人为黄相如
Themachinesbelongtotheetchingofthechipsegment,mainlyusedforetchingSiO2passivation,ownerisXiangruHuang
5．材料，工具和易损配件（material，toolsandvulnerableparts）
名称（name）
作用function
图片picture
异丙醇IPA
清洗备件cleanparts
内六角扳手allenwrench
拧螺丝turnscrew
氮气枪N2GUN
清除灰尘cleanpartical
无尘布cleancloth
清洗备件cleanparts
吸尘器cleaner
清楚灰尘cleanpartical
清洗机cleaningmachine
清洗备件cleanparts
烘烤机bakeingmachine
烘烤备件bakeparts
盖板cover
盖住静电吸盘，防止灰尘掉在
上面
Covertheelectrodestaticchuck,
Incaseparticalfallonit
6．相关文件（RelatedDocuments）
参照AMATP5000OperationManual
RefertoAMATP5000OperationManual
7．作业安全卫生环保须知（operationsecurity,healthandenvironmentalnotes）
7.1作业安全（operationsecurity）
在做机台保养前需要对机台挂好保养状态，防止外人操作机台对保养人员造成损伤，由于此机台用到的制程气体含有含氟气体，因此设备保养人员在对机台进行保养时需要佩戴防毒面具；
LinkPMstatusforequipmentbeforedoPMtotools,IncaseotherpersonoperatetoolanddamagePMpersons.BecausethetoolsuseprocessgascontainingCF4,PMpersonmustweargasmaskwhendoingPMtotools.
7.2卫生环保须知（environmentalnotes）
由于机台的尾气中含有CF4，因此需要在泵浦的排气端加入湿法静气器；
ExhaustofequipmentcontainsCF4，soweneedequipthewetscrubberatthebackendofdrypupm.
8．作业内容（Operationcontent）
8.1PM执行频率（PMimplementationfrequence）
在机台无异常情况下，每2000片wafer做一次保养，误差为正负150片
Inthenormalstatus,dooncePMevery2000pics.Theerrorofplusorminusis150pics
8.2操作步骤（step）
1.首先确认下机台的状态，确保需要PM的腔体没有Run货，挂好PM工作牌，把Automatic改成Manual。
FirstensurethatthechamberneedPMisnotrunning,displaythePMindicateboard,modifytheequipmentmodefromautomatictomanual.
2.将需要PM的腔体切换成OFFLINE。
TakethePMchambertooffline
3.对PM的腔体做Cyclepurge（30次）
Cyclepurge（30times）tochamberofPM
4.等Cyclepurge完了之后，就可以VentChamber。
Ventchamberaftercompletedcyclepurge.
4.1首先将Gatevalve关闭；
FirstclosetheGatevalve
4.2然后将Turbooff掉，看到TurboController上显示“LEVITATION”就表示Turbo已经停止转动了，可以做下一步动作了；
Closeturbo,whenturbocontrollershow“LEVITATION”message,itmeanstheturbohavecompletedstop.Wecoulddonextaction.
4.3将Forelinevalve和N2关闭;
CloseForelinevalveandN2
4.5将腔体Ventvalve打开;
Opentheventvalveofchamber.
4.6待Chambervent到ATM后，就可以开腔了。
OpenthechamberafterchamberventtoATM.
5.作业人员佩戴好防毒面具，开始PM作业。
ThepersonofPMneedwearmaskanddoPM.
6.关闭Gas手动阀，卸下ChamberLID的螺丝，打开ChamberLID，并拿下ChamberLID.拿下后要去关闭腔体Ventvalve。
Closethegasmanualvalve,takedownthescrewofchamberlid,openchamberlidandtakedownthechamberlidandclosethechamberventvalve.
7.用一字螺丝刀拧开Innerquartzwindow上的12个螺丝帽（要当心这个是很脆弱的，容易坏），拿走之后就能看见下面的螺丝了，拆下螺丝并拿走Innerquartzwindow.
Useflatheadscrewdrivertotakedown12screwsoftheinnerquartzwindow（youmustcarefullybecauseoffragile）,youwillseetheunderscrewsandtakedownthemandquartzwindow.
8.取出Quartzexternalring，小心放在塑料膜上（易碎）。
Takeoutthequartzexternalringandcarefullyputitonplasticfilm（fragile）.
9.取下Quartzclampringcover，小心放在塑料膜上（易碎）。
Takedownquartzclampringcoverandcarefullyputitonplasticfilm（fragile）
10.取下Quartzpipering和ESCClampO-ring，小心放在塑料膜上。
Takedownthequartzo-ringandESCclampO-ring,carefullyputthemonplasticfilm.
11.清洗腔体以及LoadLock，先用吸尘器吸走肉眼看得见的粉尘颗粒，再用沾了IPA的无尘布去擦拭腔体内壁以及ESC。
Cleanchamberandloadlock,firstusecleanercleanvisibleparticle.thenusecleanroomwipercleanchamberinnerwallandESC.
12.清洗Parts，用IPA清洗刚刚从Chamber内拆除下来的Parts。
CleanthepartsuninstallfromthechamberusingIPA
13.安装Parts，先装Quartzpipering；接着安装ESCClampO-ring；然后安装Quartzclampringcover；再装Quartzclampringcover；然后安装Quartzexternalring；装上Innerquartzwindow；最后装上ChamberLID
InstallQuartzpipering,ESCClampO-ring,Quartzclampringcover,thaninstallQuartzclampringcover,Quartzexternalring,atlast,installthechamberLid.
14.Pumpdown:
先打开腔体的粗抽阀Roughvalve，将腔体的压力抽到200mT以下，打开Forelinevalve,点击Turbo的“ON”;等Turbo完全开起来之后，打开Gatevalve和N2.
Pumpdownchamber:
firstopentheroughvalve,pumpingthechamberpressureunder200mT,openForelinevalve,thenturnonturbo,afterturbopumpfullstart,openthegatevalveandN2valve.
15.完成PM现场的6S；
Finishedthe6SofPMscole
16.Leakratetest，等腔体压力抽下去之后，就可去设置Leakratetest，让腔体Purge30分钟之后再做Leaktest（LeakRate<5mT/min）。
Leakratetest,setleakratetestandpurge30minutestochamberandthendoleaktestafterpumpdownchamber.（LeakRate<5mT/min）.
17.等LeakcheckOK后，拿测试片去做测试，测试没问题了通知作业员。
AfterleakOK,usetestwafertodotest,iftestoktheninformoperator.
附件
Attachments
名称
Name
编号
Code
版本号
Edition
附件1
No1
二氧化硅刻蚀机保养记录
SIO2etcherPMrecord
3E-WH-CM-PM-0023-1
A
附件2
No2
SIO2etcherPMCheckList
3E-WH-CM-PM-0023-2
A
9.记录（Record）
10．文件更改记录
DocumentChangeHistory
Rev.
EffectiveDate
Author
ChangeDescription
A
2011-10-14
黄相如
Xiangru
机台保养规范的撰写
Machinemaintenancespecificationwriting
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