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光伏电站运行专业知识题库
第一章光伏发电专业知识
第一节基础知识
一、选择题
1.下列太阳能光伏发电系统元件中,能实现DCAC直流一交流)转换的元件是()
答案:
C
A.太阳能电池板;B.蓄电池;C.逆变器;D.控制器
2.在太阳能光伏发电系统中,最常使用的储能元件是()。
答案:
C
A.锂离子电池:
B.镍铬电池;C.铅酸蓄电池;D.碱性蓄电池
3.蓄电池是一种储能元件,它能把电能转变为()
答案:
D
A.热能;B.光能;C.机械能;D.化学能
二、填空题
1.太阳能电池板的测量必须在标准条件(STC)下,其条件是光谱辐照度为光
谱为电池温度为25C
答案:
1000W/m2,AMI.5
2.在足够能量的光照条件,晶体硅太阳能电池板在PN结的建电场作用下,N区的
向P区运动,P区的向N区运动
答案:
空穴,电子
3.硅基太阳能电池板有单晶硅太阳能电池板、多晶硅太阳能电池板以及非品硅太
阳能电池板等。
通常情况其光电转换效率最高的是太阳能电池板能电池板,
光电转换效率最低的是太阳能电池板.
答案:
单晶硅,非晶硅
三、判断题
1.光伏组件方阵防雷保护器应有效,并在雷雨季节到来之前进行检测(V)
2.光伏组件方阵的设计,就是按照用户的要求和负载的用电量及技术条件计算太阳能电池板组件的串并联数(V)
3.光伏组件方阵的放置形式和放置角度对太阳能光伏发电系统接收到的太阳辐
射影响不大(x)
四、简答题
1.光是什么,具有什么特性?
答:
光是一种波,同时也是一种粒子。
光具有波粒二象性
2.什么是光生伏特效应?
答:
当太照射到光伏组件表面时,一部分光子被硅材料吸收;光子的能量传递给了硅原子,使电子发生了越迁,成为自由电子,在PN结两侧集聚形成了电位差,当外部接通电路时,在该电压的作用下,将会有电流流过外部电路产生一定的输出功率。
这个过程的实质是光子能量转换成电能的过程。
硅片是收集光能的基本单位,大量的硅片合成在一起构成光伏组件。
光伏组件主要包括晶体硅(包括单晶硅Mono-Si、多晶硅Multi--S)和薄膜组件。
3.什么是总辐射?
答:
水平表面在2n立体角所接受到的太阳直接辐射和散射辐射之和。
4.什么是直接辐射?
答:
从日面及其周围一小立体角发出的辐射。
5.什么是法向直接辐射?
答:
与太线垂直的平面上接收到的直接辐射
6.什么是散射辐射?
答:
太阳辐射经过大气散射或云的反射,从天空2n立体角以短波形式向下到达地面的辐射
7.什么是辐射能?
答:
以辐射形式发射、传播或接收的能量。
8.什么室辐射通量?
答:
在单位时间,由辐射体表面的一定面积上发出的,或通过一定接收截面的射能称为辐射通量,其单位为W或kW
9什么是辅照度?
答:
照射到面元上的辐射通量与该面元面积之比,单位为W/m2
10.什么是直射辐照度?
答:
照射到单位面积上的,来自天空太阳圆盘及其周边对照射点所开的半圆锥角为8°的辐射通量
11.什么是法向直射辐照度?
答:
直接辐射在与射束垂直的平面上的辐照度。
12.什么是散射辐照度?
答:
除去直射辐照度的贡献外,来自整个天空并照射到单位面积上的辐射通量
13.什么是总辐照度?
答:
入射于水平表面单位面积上的全部太阳辐射通量,又称总辐照单位为W/m2
14.什么是总辐照量?
答:
在给定时间段总辐射辐照度的积分总量,单位为J/m2
15.什么是日照时数?
答:
太阻直接幅射辐照度大于或等于120W/m3时段的总和,又称实盟
16.什么是可照时数?
答:
在无任何速藏条件下,太阳中心从某地地平线到进入西方地平线,其光线照射到地面所经历的时间
17。
什么是数值天气预报?
答:
根据大气实际情况,在一定的初值和边值条件下,通过大型计算机做数值计算,求解描写天气演变过程的流体力学和热力学方程组,预测未来一定时段的大气运动状态和天气现象的方法。
18。
什么是太阳高度角?
答:
太线与观测点处水平面的夹角,称为该观测点的太阳高度角
第二节光伏组件
一、选择题太阳能电池板是利用半导体()的半导体元件。
答案:
C
A。
光热效应;B。
热电效应;C。
光生伏特效应;0热斑效应
2。
太阳能电池最大输出功率与太入射功率的比值称为()
答案:
B
A。
填充因子;B。
转换效率;C。
光谱响应;D。
串联电阻
3.在太阳能电池板的外电路接上负载后,负载中便有电流通过,该电流称为太阳能电池板的()
答案:
C
A。
短路电流;B。
开路电流;C。
工作电流;D。
最大电流
4.太阳能光伏发电的最核心元件是()
答案:
C
A。
控制器;B。
逆变器:
C。
太阳能电池板;D。
蓄电池
5.使用金属边框的光伏组件,边框和支架应结合良好,两者之间接触电阻应为
()
答案:
D
A。
大于4;B。
小于4QG等于4QD。
小于或等于4
6.在无阴影遮挡条件下工作时,当太阳辐射照度为500W/m2以上,风速不大于
2m/s的条件下,同一光伏组件外表面(电池正上方区域)温度差异应为()
答案:
B
A.大于20C;B.小于20C:
C.等于20C;D.小于或等于20C
7.太阳能光伏发电系统中,太阳能电池板组件表面被污物遮盖,会影响整下太阳能电池板方阵所发出的电力,从而产生()
答案:
D
A.霍尔效应:
B孤岛效应:
C.充电效应:
D.热斑效应
8安装太阳能电池板方阵时要进行太阳能电池板方阵测试,其测试条件是太阳总辐照度不低于()
答案D
A400mW/cm':
B500mW/cm':
C600mW/cm':
D700mW/cm
9.光伏组件应在辐照度低于()的情况下清洁光伏组件,不宜使用与组件温差较大的液体清洗组件
答案:
C
A300W血;B.350W加;C.200W加
10.使用直流钳形电流表在太阳辐射强度基本一致的条件下测量接入同直流汇流
箱光伏组件串的输入电流,其偏差应()
答案:
D
A.大于5%:
B小于5%;C.等于5%;D.不超过5%
二、填空题
1.光伏组件应在辐照度低于的情况下清洁光伏组件,不宜使用与组件__较
大的液体清洗组件
答案:
200W/m2,温差
2.严禁在风力大于雨或气象条件下清洗光伏
答案:
4级,大雪
3.太阳能电池板方阵分为式和式两大类
答案:
平板,聚光
4.太阳能电池板组件为了获得更高的工作电压,可以把电池组件起来,为了
获得更大的输出电流,可以将组件使用
答案:
串联,并联
5.太阳能电池板组件的工作寿命与封装的和有很大的关系
答案:
材料,工艺
三、判断题
1。
使用金属边框的光伏组件,边框可以不接地。
(X)
2。
支架表面的防腐涂层,不应出现开裂和脱落现象,否则应及时补刷。
(V)
3。
在制作多晶硅太阳能电池时,将作为原料的高纯硅不提纯成单晶而是将其熔化后浇铸成正方形的硅锭。
(V)
4。
对光伏组件进行检查、清洗、保养、维修时所采用的机具设备必须牢固,操
作灵活方便,安全可靠,并应有防止撞击和损伤光伏构件的措施。
(V)
5。
光伏组件的密圭寸胶可以有脱胶、开裂、起泡等不良现象,密圭寸胶条不应发生脱落或损坏。
(X)
6。
光伏组件上的带电警告标识不得丢失。
(V)
7。
支架表面的防腐涂层,出现开裂和脱落现象时,不用补刷。
(X)
四、简答题
1。
什么是光伏组件?
答:
光伏组件是指具有封装及部连接的、能单独提供直流电、不可分割的最小太阳能电池组合装置,又称为太阳能电池组件
2。
什么是光伏组件串?
答:
在光伏发电系统中,将若干个光伏组件串联后,形成具有一定直流输出电压的电路单元,简称组件串或组串。
3。
什么是光伏组件方阵?
答:
将若干个光伏组件在机械和电气上按一定方式组装在一起,并且有固定支撑结构的直流发电单元,又称为光伏阵列
4。
什么是光伏组件支架?
答:
光伏发电系统中为了摆放、安装、固定光伏组件而设计的专用支架,简称支架
5。
什么是单晶硅光伏组件?
答:
单晶硅光伏组件,是以路纯的单晶硅棒为原料的光伏组件
6。
什么是多品硅光伏组件?
答:
多晶硅光伏组件是由多晶硅高效太阳能电池片按照不同的串,并排列而构成的太阳能组件,由EVA交膜、钢化玻璃、轻质电镀铝合金等
7。
什么是光伏组件的衰减率?
答:
衰减率是指每经过一个波动周期,被调量波动幅值减少的百分数也就是同方向的两个相邻波的前一个波幅与后一个波幅之差与前一个波幅的
8。
什么是光伏组件的隐裂?
答:
隐裂是电池片的缺陷。
由于晶体结构的自身特性,晶硅电池片十分容易发生破裂。
晶体硅组件生产的工艺流程长,许多环节都可能造成电池片隐裂,隐裂产生的本质原因,可归纳为在硅片上产生了机械应力或热应力
9。
什么是光伏组件的方位角?
答:
光伏组件的方位角是指光伏组件平面的法线在水平面的投影与正南方向的夹角
10。
什么是光伏组件的倾斜角?
答:
光伏组件的倾斜角是指光伏组件平面与水平面的夹角。
11。
什么是固定支架?
答:
光伏组件方阵的方位角和倾斜角都不随太阳移动轨迹而发生变化的支架。
12。
什么是跟踪支架?
答:
光伏组件方阵的方位角和倾斜角至少有一种随太阳移动轨迹而发生变化的支架
13.什么是光伏组件的转换效率?
答:
光伏组件的转换效率是指受光照的光伏组件输出的最大功率与入射到该光伏组件上的全部辐射功率的百分比
14。
什么是光伏组件的热斑效应?
答:
在一定条件下,一串联支路中被遮蔽的光伏组件,将被当做负载消耗其他光伏组件所产生的能量,被遮蔽的光伏组件阻增大发热,这就是热斑效应
15。
光伏组件热斑效应的危害答:
热斑效应会使光伏组件所产生的部分能量被遮蔽的光伏组件所消耗,从而导致光伏组件功率衰减失效甚至直接将光伏组件烧毁报废。
热斑效应会引起所在光伏组串回路的电压降低,回路电压降低会导致光伏组串功率降低,逆变器提前退网,直接影响发电量。
16。
可调式光伏支架的调节需要注意什么?
答:
(1)可调式光伏支架应按照设计要求的时间调节到合适的倾斜角。
(2)调节时应缓慢,光伏组件应平稳,避免损坏光伏组件和与组件相连接的电缆设备
(3)严禁在风力大于4级、大雨或大雪的气象条件下调节可调支架
17。
光伏组件应如何退出运行?
答:
光伏组件需退出运行时,先断开该光伏组件串对应支路的直流熔断器或断路器,然后再断开对应光伏组件的插头。
18。
简述光伏组件中防反充二极管的作用。
答:
光伏组件防反充二极管作用是避免由于光伏组件方阵在阴雨和夜晚不发电或出现短路故障时,逆变器等设备给光伏组件反向的电流作用
19光伏组件投运前应具备哪些主要条件?
答:
(1)光伏组件安装应符合设计,规规定
(2)光伏组件按照电压、电流参数进行分类和组串。
(3)光伏组件的外观及接线盒、插头不应有损坏
(4)光伏组件间接地及与光伏组件方阵接地系统的连接牢固可靠光伏组件的接地电阻应符合设计要求
(5)光优组件的数量及串,并联方式符合设计要求
(6)光伏组件串与外接电缆连接可靠。
(7)光伏支架材质、基础、埋设部件安装应符合设计、规规定。
(8)光伏组件完好、表面清洁。
(9)相同测试条件下的相同光伏组件串之间间的开路电压偏差不为但最大偏差不
应超过5V
(10)光伏组件正、负极线路绝缘电阻符合规定,无接地情况
(11)光优组件各个支路接线牢固,无松动现象,对地电压正常,划现反接、漏接情况,无接地情况。
(12)光伏组件与汇流箱连接的通信模块等装置正常,无接地情况
(13)上级汇流箱均能正常工作,无异常情况。
20。
如何投运光伏组件?
答:
(1)依次将每路光伏组件串的插头连接起来。
(2)依次合上各光伏组件串到汇流箱各支路的直流熔断器或断路器
(3)在汇流箱监测单元上查看各支路电压、电流等数据是否正常
(4)若出现异常现象,将该支路直流熔断器或断路器断开进行检查电压,电流等数据正常,合上汇流箱输出直流断路器或直流熔断器
21。
光伏组件运行的基本要求有哪些?
答:
(1)光伏组件封装面应完好无损,表面应洁净无污浊
(2)光伏组件引出线及接线盒应完好。
(3)光伏组件插头接触良好,满足防水要求,并绑扎整齐
(4)使用金属边框的光伏组件,边框应牢固接地
(5)光伏组件的铭牌应清晰、固定牢固
(6)光伏发电单元应在明显位置标示编号
(7)光伏组件表面的防腐涂层不应出现开裂和脱落现象,所有的螺焊缝和支架连接牢固可靠
(8)光伏组件接地牢固可靠
22。
光伏组件检修维护项目有哪些?
答:
(1)检查光伏组件安装是否松动,对压块进行紧固。
(2)检查光伏组件封装是否完好,背面引出线密封是否良好。
(3)检查光伏组件与光伏组件、光伏组件与电缆之间的连接是否牢固绝缘包扎是否可靠
(4)检查光伏组件玻璃有无裂纹,背板是否完整有无起包现象,电池片颜色是否一致,有无明显的变化
(5)更换组件边缘或任何电路之间有连通通道气泡的光伏组件。
(6)更换接线盒变形或烧毁、接线端子无法良好连接的光伏组件
(7)更换变形、不能与支架良好固定的光伏组件
(8)更换烧毁的插头
(9)重新粘贴掉落的光伏组件警告标识、铭牌。
(10)对于严重损坏的光伏组件,如出现玻璃破碎、背板灼焦、明显的颜色变化、网状隐裂、EVA兑层、焊带脱裂、硅胶有气泡等情况,应进行更换,所更换组件应为相同规格参数。
(11)在太阳辐照强度基本一致的条件下,测量接入同一个汇流箱的各光伏组件串的输入电流,其偏差应不超过6%,如果偏差过大,将偏差较大的光伏组件串断开,依次对每块光伏组件进行检查更换
(12)在太阳辐照强度基本一致的条件下,测量接入同一个汇流箱的各光伏组件串的开路电压,其偏差应不超过5%,如果偏差过大,将偏差较大的光伏组件串断开,依次对每块光伏组件进行检查更换。
23。
什么情况下应当及时更换光伏组件?
答:
(1)光伏组件存在玻璃破碎、背板灼焦、明显的颜色变化
(2)光伏组件中存在与组件边缘或任何电路之间形成连通通道的气泡
(3)光伏组件接线盒变形、扭曲、开裂或烧毁,接线端子无法良好连接
24。
光伏组件维护有哪些注意事项?
答:
(1)严禁触摸光伏组件的金属带电部位
(2)严禁在雨中进行光伏组件的连线及更换工作。
(3)严禁敲打、振动光伏组件
(4)光伏组件的更换优先考虑选择同型号、同规格的光伏组件进行
25。
光伏组件在检修后的验收容有哪些?
答:
(1)核对光伏组件设备、系统的变动情况
(2)临时设施已拆除,光伏组件铭牌、警示牌牢固,工作现场整洁。
(3)光伏组件压块及螺栓牢固、可靠
(4)光伏组件无破碎、背板灼焦等情况
(5)光伏组件边缘或任何电路之间未出现有连通通道的气泡
(6)光伏组件接线盒无变形、烧毁情况。
(7)光伏组件插头无烧毁情况,接触良好可靠。
(8)同一光伏组件外表面(电池正上方区域)温度差异未出现大于20C的情况
(9)同等条件下,接入同一个汇流箱的各光伏组件串的输入电流偏差不超过6%
(10)监控系统中所有汇流箱支路电流正常,无0值或者死数
26。
光伏支架的维护应符合哪些规定?
答:
(1)所有螺栓、焊缝和支架连接应牢固可靠。
(3)支架表面的防腐涂层,不应出现开裂和脱落现象,否则应及时补刷。
(3)光伏支架的接地应良好可靠,光伏支架应进行两点可靠接地。
(4)光伏支架不应产生生不均匀沉降
五、论述题
1。
光伏组件的巡检周期有何规定?
答:
(1)应根据汇流箱的数据显示,对出现异常情况的光伏组件串进行及时巡检
(2)每月应对光伏组件的表面清洁情况进行了一次巡检
(3)每三个月应对光伏组件和光伏支架进行一次全面的巡检。
(4)每半年应对光伏组件和光伏支架的接地系统进行全面的巡检。
2。
光伏组件的清洁维护有何规定?
答:
(1)光伏组件的表面应保持清洁
(2)光伏组件定期清扫时间应根据光伏组件表面的清洁情况确定,需参考当地的风沙情况
(3)光伏组件表面有鸟粪、树叶、生活垃圾及南向杂草等对光伏组件造成遮挡时,
应及时清理
(4)当积雪覆盖光伏组件时,应及时进行清理,积雪融化后应及时清理光伏组件表面的污垢。
3。
清洁光伏组件时的注意事项?
答:
(1)应使用柔软洁净的布料擦拭光伏组件,严禁使用腐蚀性溶剂或用硬物擦拭光伏组件。
(2)不宜使用与组件温差较大的液体清洁光伏组件
(3)不宜在有碍运行维护人员人身安全的情况下清洁光伏组件
(4)严禁在风力大于4级、大雨或大雪的气象条件下清洁光伏组件。
(5)特殊地域环境需做针对性的清洁预案。
4。
简述光伏组件巡检容及要求。
答:
(1)光伏组件边框不应有变形。
(2)光伏组件玻璃不应有破损
(3)光伏组件不应有气泡、EVA兑层、水汽、明显色变
(4)光伏组件背板不应有划伤、开胶、鼓包、气泡等现象
(5)光伏组件接线盒塑料不应出现变形、扭曲、开裂、老化及烧毁等
(6)光伏组件导线连接应牢靠,导线不应出现破损
(7)光伏组件导线管不应有破损
(8)光伏组件铭牌应平整,字体清晰可见
(9)光伏组件上的带电警告标识不得缺失。
(10)光伏组件电池片不应有破损、热斑等。
(11)金属边框的光伏组件,边框必须牢固接地,边框和支架应结合
(12)光伏组件方阵整体不应有变形、错位、松动现象
(13)光伏支架受力构件、连接构件和连接螺栓不应损坏、松动、生锈,焊缝不应开焊
(14)光伏支架金属材料不应有剥落、锈蚀现象
(15)采取预制基座安装的光伏组件方阵,预制基座应保持平稳、整齐不得移动
(16)光伏支架等电位连接线应连接良好,不应有松动、锈蚀现象。
(17)光伏组件方阵应可靠接地。
5。
光伏组件运行分析容及要求有哪些?
答:
(1)光伏组件的运行分析包括发电量、组件完好率、各光伏组件串的输出电流及电压
(2)光伏组件的运行参数宜采用光伏组件FU特性测试仪进行测试,根据同等测试
条件下各个支路的数据偏差,进行故障判断
(3)光伏组件运行分析应结合光资源情况、设备参数、运行记录、设备巡回检查等情况,对光伏组件运行指标及材料消耗等进行综合分析
(4)光伏组件发生影响安全经济运行的因素和问题时,要进行专题分析,提出改进措施。
(5)根据光伏组件的运行分析情况,储备充足的备品备件
(6)若光伏电站有多个不同类型或厂家的光伏组件,应对各光伏组件的各项参数
进行对比分析
(7)光伏组件的运行分析宜每月进行一次
6。
光伏组件的主要种类有哪些?
答:
(1)单晶硅。
单晶硅光伏组f件的光电转换效率为15%左右,最高的达到24%,这是所有种类的光伏组件中光电转换效率最高的,但制作成本很大以至于它还不能被广泛和普遍地使用。
由于单晶硅一般采用钢化玻璃以及防水树脂进行封装,因此其坚固耐用,使用寿命一般可达15年,最高可达25年
(2)多晶硅。
多晶硅光伏组件的制作工艺与单品硅光伏组件差不多,但是多晶硅光伏组件的光电转换效率则要低不少,其光电转换效率为14%左右。
从制作成本上来讲,比单晶硅光伏组件要便宜一些,材料制造简便,节约电耗,总的生产成本较低,因此得到快速发展。
此外,多晶硅光伏组件的使用寿命也比单晶硅光伏组件短。
(3)非晶硅。
非晶硅光伏组件与单晶硅和多晶硅光伏组件的制作方法完全不同,工艺过程大大简化,硅材料消耗很少,电耗更低,它的主要优点是在弱光条件下也能发电。
但非晶硅光伏组件存在的主要问题是光电转换效率偏低,国际先进水平为10%左右,且不够稳定,随着时间的延长,其转换效率会衰减
(4)多元化合物光伏组件。
多元化合物光伏组件指不是用单一元素半导体材料制成的光伏组件。
各国研究的品种繁多,大多数尚未工业化生产,主要有以下几种
1)硫化镉光伏组件
2)砷化镓光伏组件
3)铜铟硒光伏组件[新型多元带隙梯度Cu(ln,Ga)Se2薄膜光伏组件]
7.光伏组件的构成及各部分功能是什么?
答:
(1)钢化玻璃:
其作用为保护发电主体(如电池片)与透光。
(2)EVA:
用来黏结固定钢化玻璃和发电主体(如电池片)
(3)电池片:
主要作用就是发电
(4)背板:
作用为密封、绝缘、防水
(5)铝合金:
保护层压件,起一定的密封、支撑作用
(6)接线盒:
保护整个发电系统,起到电流中转站的作用
(7)硅胶:
密封作用,用来密封组件与铝合金边框
8.简述单晶硅与多晶硅的材料对比。
答:
单晶硅和多晶硅的区别是,当熔融的单质硅凝固时,硅原子以金刚石晶格排列成许多晶核,如果这些品核长成晶面取向相同的晶粒,则形成单晶硅;如果这些晶核长成晶面取向不同的晶粒,则形成多晶硅。
多晶硅与单晶硅的差异主要表现在物理性质方面。
例如,在力学性质、电学性质等方面,多品硅均不如单晶硅。
多晶硅可作为拉制单晶硅的原料。
单晶硅可算得上是世界上最纯净的物质了,一般的半导体元件要求硅的纯度为六个9以上。
大规模集成电路对硅的纯度要求更高,其纯度必须达到九个9。
目前人们已经能制造出纯度为十二个9的单晶硅.
9.简述单晶硅电池片与多晶硅电池片的生产流程
答:
(1)直拉单晶制造法。
直拉单品制造法(Czochralski,CZ法)是把原料多硅晶块放入石英坩埚中,在单品炉中加热熔化,再将一根直径只有10m的棒状品种(称籽晶)浸入融液中。
在合适的温度下,融液中的硅原扩会顺着晶种的硅原子排列结构在固液交界面上形成规则的结晶,成为单体把品种微微的旋转向上提升,融液中的硅原子会在前面形成的单品体上继续结品,并延续其规则的原子排列结构。
若整个结品环境稳定,就可以周而复始形成结品,最后形成一根圆柱形的、原子排列整齐的硅单晶晶体,即硅单品择单品硅的生产流程:
硅原料(石英砂提纯的多晶硅)一拉晶(原子结程重组)—切片清洗—一单晶硅硅片-单晶硅电池片单品在生产工艺中投料量小,对硅原料要求较高,采用(CZ法直术操作复杂,技术含量高,出产量小,成本高。
(2)多晶制造法。
多品硅的生产流程:
硅原料(石英砂提纯至多晶硅)-铸锭切片一清洗多品硅电池片
多晶硅在生产工艺中投料量大,直接进行溶硅铸锭操作简单,对硅原料要求较低,容易规模化,出产量大、成本低。
10.简述晶体硅光伏组件生产流程及目的。
答:
(1)清洗。
清洗的目的是去除硅片表面的机械损伤层。
清除表面硅酸钠、氧化物、油污以及金属离子杂质。
对硅片的表面进行凹凸面(金字塔绒面)处理,增加光在光伏组件表面的折射次数,利于光伏组件对光的吸收,以达到电池片对太阳能的最大利用率
(2)制绒。
制绒的目的是减少光的反射率,提高短路电流(1。
),最终提高电池的光电转换效率
(3)扩散。
扩散的目的是在P型晶体硅上进行N型扩散,形成PN结它是半导体元件工作的“心脏”
(4)周边刻蚀。
周边刻蚀的目的是将硅片边缘带有的磷去除干净,防止
(5)去磷硅玻璃。
去磷硅玻璃的目的:
扩散工艺会在硅片表面形成一层含有磷元素的S02称之为磷硅玻璃(PSG)。
它会阻止硅片对光的吸收,同时又是绝缘的。
⑹PECV镀减反射膜。
PECVI镀减反射膜的目的:
等离子增强型化学气相沉积
(PlasmaEnhaneedCh