传感器实验讲义.docx

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传感器实验讲义

传

感

器

实

验

讲

义

江西师范大学物理与通信电子学院

2007-3-5

第一章产品说明

第二章实验指导

一、金属箔式应变片性能—单臂电桥

二、金属箔式应变片：

单臂、半桥、全桥比较

三、相敏检波器实验

四、交流全桥的应用—电子秤

五、差动变压器（互感式）的性能

六、电涡流传感器的静态标定

七、电涡流传感器的应用—振幅测量

八、霍尔式传感器的直流激励特性

九、霍尔传感器的应用—电子秤

十、压电传感器的动态响应实验

十一、光纤位移传感器静态实验

十二、光电开关的转速测量实验

第一章产品说明

一、CSY传感器实验仪简介（CSY-910、910A、998A、998A+、998B、998B+等六种型号）

实验仪主要由四部分组成：

传感器安装台、显示与激励源、传感器符号及引线单元、处理电路单元。

传感器安装台部分：

装有双平行振动梁（应变片、热电偶、PN结、热敏电阻、加热器、压电传感器、梁自由端的磁钢）、激振线圈、双平行梁测微头、光纤传感器的光电变换座、光纤及探头、小机电、电涡流传感器及支座、电涡流传感器引线Φ插孔、霍尔传感器的二个半圆磁钢、振动平台（圆盘）测微头及支架、振动圆盘（圆盘磁钢、激振线圈、霍尔片、电涡流检测片、差动变压器的可动芯子、电容传感器的动片组、磁电传感的可动芯子）、半导体扩散硅压阻式差压传感器、气敏传感器及湿敏元件安装盒，热释电传感器、光电开关、硅光电池、光敏电阻元件安装盒，具体安装部位参看附录三。

显示及激励源部分：

电机控制单元、主电源、直流稳压电源（±2V-±10V分5档调节）、F/V数字显示表（可作为电压表和频率表）、（5mV-500mV）、音频振荡器、低频振荡器、±15V不可调稳压电源。

实验主面板上传感器符号单元：

所有传感器（包括激振线圈）的引线都从内部引到这个单元上的相应符号中，实验时传感器的输出信号（包括激振线圈引入低频激振器信号）按符号从这个单元插孔引线。

处理电路单元：

电桥单元、差动放大器、电容变换放大器、电压放大器、移相器、相敏检波器、电荷放大器、低通滤波器、涡流变换器等单元组成。

二、主要技术参数、性能及说明

（一）传感器安装台部分：

双平行振动梁的自由端及振动圆盘下面各装有磁钢，通过各自测微头或激振线圈,接入低频激振器V0可做静态或动态测量。

应变梁：

应变梁采用不锈钢片，双梁结构端部有较好的线性位移。

（或采用标准双孔悬臂梁传感器应变梁）

1．差动变压器（电感式）

量程：

≥5mm直流电阻：

5Ω-10Ω由一个初级、二个次级线圈绕制而成的透明空心线圈，铁芯为软磁铁氧体。

2．电涡流位移传感器

量程：

≥1mm直流电阻：

1Ω-2Ω多股漆包线绕制的扁平线圈与金属涡流片组成。

3．霍尔式传感器

量程：

±≥2mm直流电阻：

激励源端口800ΩΩ；输出端口300Ω-500Ω

日本JVC公司生产的线性半导体霍尔片，它置于环形磁钢构成的梯度磁场中。

4．热电偶

直流电阻：

10Ω左右由两个铜一康铜热电偶串接而成，分度号为T，冷端温度为环境温度。

5．电容式传感器

量程：

±≥2mm由两组定片和一组动片组成的差动变面积式电容。

6．热敏电阻

半导体热敏电阻NTC：

温度系数为负，25℃时为10KΩ。

7．光纤传感器

由多模光纤、发射、接收电路组成的导光型传感器，线性范围≥2mm。

红外线发射、接收、直流电阻：

500ΩΩ2×60股Y形、半圆分布。

8．半导体扩散硅压阻式压力传感器

量程：

10Kpa（差压）供电：

≤6V

美国摩托罗拉公司生产的MPX型压阻式差压传感器。

9、压电加速度计

PZT-5压电晶片和铜质量块构成。

谐振频率：

≥10KHZ，电荷灵敏度：

q≥20pc/g。

10．应变式传感器

箔式应变片电阻值：

350Ω、应变系数：

2，平行梁上梁的上表面和下梁的下表面对应地贴有4片应变片，受力工作片分别用符号↑和↓表示。

在910、998B型仪器中，横向所贴的两片为温度补偿片，用符号表示。

11．PN结温度传感器

利用半导体P-N结良好的线性温度电压特性制成的测温传感器，能直接显示被测温度。

灵敏度：

℃。

12.磁电式传感器

φ×1000

直流电阻：

30Ω-40Ω由线圈和动铁（永久磁钢）组成，灵敏度：

m/s

13.气敏传感器

MQ3（酒精）：

测量范围：

50-200ppm。

14.湿敏电阻

高分子薄膜电阻型（RH）：

几兆Ω-KΩ响应时间：

吸湿、脱湿小于10秒。

温度系数：

%/℃测量范围：

10%-95%工作温度：

0℃-50℃

15.光电开关：

（反射型）

16.光敏电阻：

cds材料：

几Ω-几MΩ

17.硅光电池：

Si日光型

18.热释电红外传感器：

远红外式

（二）信号及变换

1．电桥：

用于组成直流电桥，提供组桥插座，标准电阻和交、直流调平衡网络。

2．差动放大器通频带0~10kHz可接成同相、反相，差动结构，增益为1-100倍的直流放大器。

3．电容变换器由高频振荡，放大和双T电桥组成的处理电路。

4．电压放大器增益约为5倍同相输入通频带0～10KHz

5.移相器允许最大输入电压10Vp-p移相范围≥±20°（5KHz时）

6.相敏检波器可检波电压频率0-10KHz允许最大输入电压10Vp-p

极性反转整形电路与电子开关构成的检波电路

7.电荷放大器电容反馈型放大器，用于放大压电传感器的输出信号。

8．低通滤波器由50Hz陷波器和RC滤波器组成，转折频率35Hz左右。

9．涡流变换器输出电压≥|8|V（探头离开被测物）

变频调幅式变换电路，传感器线圈是振荡电路中的电感元件

10．光电变换座由红外发射、接收管组成。

（三）二套显示仪表

1．数字式电压/频率表：

3位半显示，电压范围0—2V、0—20V，频率范围3Hz—2KHz、10Hz—20KHz，灵敏度≤50mV。

2.指针式毫伏表：

85C1表，分500mV、50mV、5mV三档，精度%

（四）二种振荡器

1.音频振荡器：

—10KHz输出连续可调，Vp-p值20V输出连续可调，180°、0°反相输出，LV端最大功率输出电流0.5A。

2.低频振荡器：

1-30Hz输出连续可调，Vp-p值20V输出连续可调，最大输出电流0.5A，Vi端可提供用做电流放大器。

（五）二套悬臂梁、测微头

双平行式悬臂梁二副（其中一副为应变梁，另一副装在内部与振动圆盘相连），梁端装有永久磁钢、激振线圈和可拆卸式螺旋测微头，可进行位移与振动实验（右边圆盘式工作台由“激振I带动，左边平行式悬臂梁由Ⅱ带动）。

（六）电加热器二组

电热丝组成，加热时可获得高于环境温度30℃左右的升温。

（七）测速电机一组

由可调的低噪声高速轴流风扇组成，与光电开关、光纤传感器配合进行测速

（八）二组稳压电源

直流±15V，主要提供温度实验时的加热电源，最大激励1.5A。

±2V—±10V分五档输出，最大输出电流1.5A。

提供直流激励源。

（九）计算机联接与处理

数据采集卡：

十二位A/D转换，采样速度10000点/秒，采样速度可控制，采样形式多样。

标准RS-232接口，与计算机串行工作。

良好的计算机显示界面与方便实用处理软件，实验项目的选择与编辑、数据采集、数据处理、图形分析与比较、文件存取打印。

使用仪器时打开电源开关，检查交、直流信号源及显示仪表是否正常。

仪器下部面板左下角处的开关为控制处理电路±15V的工作电源，进行实验时请勿关掉，为保证仪器正常工作，严禁±15V电源间的相互短路，建议平时将此两输出插口封住。

指针式毫伏表工作前需对地短路调零，取掉短路线后指针有所偏转是正常现象，不影响测试。

注意，本仪器是实验性仪器各电路完成的实验主要目的是对各传感器测试电路做定性的验证，而非工业应用型的传感器定量测试。

三、各电路和传感器性能建议通过以下实验检查是否正常。

1.应变片及差动放大器，进行单臂、半桥和全桥实验，各应变片是否正常可用万用表电阻档在应变片两端测量。

各接线图两个节点间即一实验接插线，接插线可多根迭插。

2.进行“相敏检波器实验”，相敏检波器端口序数规律为从左至右，从上到下，其中5端为参考电压输入端。

3.进行“电容式传感器特性”实验，当振动圆盘带动动片上下移动时，电容变换器Vo端电压应正负过零变化。

4.进行“光纤传感器—位移测量，”光纤探头可安装在原电涡流线圈的横支架上固定，端面垂直于镀铬反射片，旋动测微仪带动反射片位置变化，从差动放大器输出端读出电压变化值。

5.进行光纤（光电）式传感器测速实验，从F/V表Fo端读出频率信号。

F/V表置2K档。

6.低通滤波器：

将低频振荡器输出信号送入低通滤波器输入端，输出端用示波器观察，注意根据低通输出幅值调节输入信号大小。

7.进行“差动变压器性能”实验，检查电感式传感器性能，实验前要找出次级线圈同名端，次级所接示波器为悬浮工作状态。

8.进行“霍尔式传感器直流激励特性”实验，直流激励信号不能大于2V。

9.进行“电涡流传感器的静态标定”实验，接线参照图19，其中示波器观察波形端口应在涡流变换器的左上方，即接电涡流线圈处，右上端端口为输出经整流后的直流电压。

10.进行“光电开关（反射）”实验。

11.如果仪器是带微机接口和实验软件的，请参阅《微机数据采集系统软件》使用说明。

数据采集卡已装入仪器中，其中A/D转换是12位转换器。

仪器后部的RS232接口与计算机串行口相接，信号采集前请正确设置串口，否则计算机将收不到信号。

仪器工作时需要良好的接地，以减小干扰信号，关尽量远离电磁干扰源。

仪器的型号不同，传感器种类不同，则检查项目也会有所不同。

上述检查及实验能够完成，则整台仪器各部分均为正常。

实验时请注意实验指导书中的实验内容后的“注意事项”，要在确认接线无误的情况下再开启电源，要尽量避免电源短路情况的发生，实验工作台上各传感器部分如位置不太正确可松动调节螺丝稍作调整，用手按下振动梁再松手，各部分能随梁上下振动而无碰擦为宜。

本实验仪器需防尘，以保证实验接触痕好，仪器正常工作温度0℃-40℃

第二章实验指导

实验一金属箔式应变片性能一单臂电桥

一、实验目的：

了解金属箔式应变片，单臂单桥的工作原理和工作情况。

二、实验原理：

本实验说明箔式应变片及单臂直流电桥的电源的原理和工作情况。

应变片是最常用的测力传感元件。

当用应变片测试时，应变片要牢固地粘贴在测试体表面，当测件受力发生形变，应变片的敏感栅随同变形，其电阻也随之发生相应的变化，通过测量电路，转换成电信号输出显示。

电桥电路是最常用的非电量电测电路中的一种，当电桥平衡时，桥路对臂电阻乘积相等，电桥输出为零，在桥臂四个电阻R1、R2、R3、R4中，电阻的相对变化率分别为ΔR1/R1、ΔR2/R2、ΔR3/R3、ΔR4/R4，当使用一个应变片时，

；当二个应变片组成差动状态工作，则有

；用四个应变片组成二个差对工作，且R1=R2=R3=R4=R，

。

由此可知，单臂、半桥、全桥电路的灵敏度依次增大。

所需单元及部件：

直流稳压电源、电桥、差动放大器、双平行梁、测微头、一片应变片、F/V表、主、副电源。

旋钮初始位置：

直流稳压电源打到±2V档，F/V表打到2V档，差动放大增益最大。

三、实验步骤：

（1）了解所需单元、部件在实验仪上的所在位置，观察梁上的应变片，应变片为棕色衬底箔式结构小方薄片。

上下二片梁的外表面各贴二片受力应变片和一片补偿应变片，测微头在双平行梁前面的支座上，可以上、下、前、后、左、右调节。

（2）将差动放大器调零：

用连线将差动放大器的正（+）、负（-）、地短接。

将差动放大器的输出端与F/V表的输入插口Vi相连；开启主、副电源；调节差动放大器的增益到最大位置，然后调整差动放大器的调零旋钮使F/V表显示为零，关闭主、副电源。

（3）根据图1接线。

R1、R2、R3为电桥单元的固定电阻；Rx=R4为应变片。

将稳压电源的切换开关置±4V档，F/V表置20V档。

调节测微头脱离双平行梁，开启主、副电源，调节电桥平衡网络中的W1，使F/V表显示为零，然后将F/V表置2V档，再调电桥W1（慢慢地调），使F/V表显示为零。

（4）将测微头转动到10mm刻度附近，安装到双平等梁的自由端（与自由端磁钢吸合），调节测微头支柱的高度（梁的自由端跟随变化）使F/V表显示最小，再旋动动测微头，使F/V表显示为零（细调零），这时的测微头刻度为零位的相应刻度。

图1

（5）往下或往上旋动测微头，使梁的自由端产生位移记下F/V表显示的值。

建议每旋动测微头一周即△X=0.5mm记一个数值填入下表：

（6）据所得结果计算灵敏度S=△V/△X（式中△X为梁的自由端位移变化，△V为相应F/V表显示的电压相应变化）。

（7）实验完毕，关闭主、副电源，所有旋钮转到初始位置。

四、注意事项：

（1）电桥上端虚线所示的四个电阻实际上并不存在，仅作为一标记，让学生组桥容易。

（2）做此实验时应将低频振荡器的幅度关至最小，以减小其对直流电桥的影响。

（3）电位器W1、W2，在有的型号仪器中标为RD、RA。

五、问题：

（1）本实验电路对直流稳压电源和对放大器有何要求

（2）根据所给的差动放大器电路原理图，分析其工作原理，说明它既能作差动放大，又可作同相或反相放大器。

实验二金属箔式应变片：

单臂、半桥、全桥比较

一、实验目的：

验证单臂、半桥、全桥的性能及相互之间关系。

二、实验原理：

说明实际使用的应变电桥的性能和原理。

已知单臂、半桥和全桥电路的∑R分别为ΔR/R、2ΔR/R、4ΔR/R。

根据戴维定理可以得出测试电桥的输出电压近似等于1/.∑R，电桥灵敏度Ku=V/ΔR/R，于是对应单臂、半桥和全桥的电压灵敏度分别为1/4E、1/2E和E.。

由此可知，当E和电阻相对变化一定时，电桥及电压灵敏度与各桥臂阻值的大小无关。

所需单元和部件：

直流稳压电源、差动放大器、电桥、F/V表、测微头、双平行梁、应变片、主、副电源。

有关旋钮的初始位置：

直流稳压电源打到±2V档，F/V表打到2V档，差动放大器增益打到最大。

三、实验步骤：

（1）按实验一方法将差动放大器调零后，关闭主、副电源。

（2）按图1接线，图中Rx=R4为工作片，r及W1为电桥平衡网络。

（3）调整测微头使双平行梁处于水平位置（目测），将直流稳压电源打到±4V档。

选择适当的放大增益，然后调整电桥平衡电位器W1，使表头显示零（需预热几分钟表头才能稳定下来）。

（4）旋转测微头，使梁移动，每隔0.5mm读一个数，将测得数值填入下表，然后关闭主、副电源：

（5）保持放大器增益不变，将R3固定电阻换为与R4工作状态相反的另一应变片即取二片受力方向不同应变片，形成半桥，调节测微头使梁到水平位置（目测），调节电桥W1使F/V表显示表显示为零，重复（4）过程同样测得读数，填入下表：

（6）保持差动放大器增益不变，将R1，R2两个固定电阻换成另两片受力应变片（即R1换成，R2换成，）组桥时只要掌握对臂应变片的受力方向相同，邻臂应变片的受力方向相反即可，否则相互抵消没有输出。

接成一个直流全桥，调节测微头使梁到水平位置，调节电桥W1同样使F/V表显示零。

重复（4）过程将读出数据填入下表

（7）在同一坐标纸上描出X-V曲线，比较三种接法的灵敏度。

四、注意事项：

（1）在更换应变片时应将电源关闭。

（2）在实验过程中如有发现电压表发生过载，应将电压量程扩大。

（3）在本实验中只能将放大器接成差动形式，否则系统不能正常工作。

（4）直流稳压电源±4V不能打的过大，以免损坏应变片或造成严重自热效应。

（5）接全桥时请注意区别各片子的工作状态方向。

实验三相敏检波器实验

一、实验目的：

了解相每检波器的原理和工作情况。

二、实验原理：

相敏检波电路如图3A所示，图中为①输入信号端，③为输出端，②为交流参考电压输入端，⑤为直流参考电压输入。

当②⑤端输入控制电压信号时，通过开环放大器的作用场效应晶体管处于开关状态。

从而把①输入的正弦信号转换成半波整流信号。

所需单元和部件：

相敏检波器、移相器、音频振荡器、双踪示波器、直流稳压电源、低通滤波器、F/V表、主、副电源。

有关旋钮的初始位置：

F/V表置20K档。

音频振荡器频率为4KHz,幅度置最小（逆时针到底），直流稳压电湖输出置于±2V档，主、副电源关闭。

三、实验步骤：

（1）了解相敏检波器和低通滤波器在实验仪面板上符号。

（2）根据图3A的电路接线，将音频振荡器的信号0°输出端输出至相敏检波器输入端①，把直流稳压电源＋2V输出接至相敏检波器的参考输入端⑤,把示波器两根输入线分别接至相敏检波器的输入端①和输出端③组成一个测量线路。

图3A

（3）调整好示波器，开启主、副电源，调整音频振荡器的幅度旋钮，示波器输出电压为峰峰值4V，观察输入和输出波形的相位和幅度值关系。

（4）改变参考电压的极性，观察输入和输出波形的相位和幅值关系。

由此可得出结论，当参考电压为正时，输入和输出同相，当参考电压为负时，输入和输出相反。

（5）关闭主、副电源，根据图3B重新接线，将音频振荡器的信号从0°输出至相敏检波器的输入端①，并同时按相敏检波器的参考输入端②，把示波器的两根输入线分别接至相敏检波器的输入①和输出端③，将相敏检波器输出端③同时与低通滤波器的输入端连接起来，将低通滤波器的输出端与直流电压表连接起来，组成一个测量线路。

（此时，F/V有表置于20V档）。

（6）开启主、副电源，调整音频振荡器的输出幅度，同时记录电压表的读数，填入下表。

图3B

单位：

V

（7）关闭主、副电源，根据图3C的电路重新接线，将音频振荡器的信号从00端输出至相敏检波器的输入端①，将从1800输出端输出接至移相器的输入端，把移相器输出端接至相敏检波器的参考输入端②把示波器的两根输入线分别接至相敏检波器的输入端①和输出端③同时与低通滤波器输入端连接起来，将低通滤波器输出端与直流电压表连接起来，组成一测量线路。

图3C

（8）开启主、副电源，转动移相器上的移相电位器，观察示波器的显示波形及电压表的读数，使得输出最大。

（9）调整音频振荡器的输出幅度，同时记录电压表的读数，填入下表。

单位：

V

四、思考题：

（1）根据实验结果，可以知道相敏检波器的作用是什么移相器在实验线路中的作用是什么（即参考端输入波形相位的作用）

（2）在完成第五步骤后，将示波器两根输入线分别接至相敏检波器的输入端①和附加观察端⑥和⑦，观察波形来回答相敏检波器中的整形电路是将什么波转换成什么波，相位如何起什么作用

（3）当相敏检波器的输入与开关信号同相时，输出是什么极性的什么波，电压表的读数是什么极性的最大值。

实验四交流全桥的应用—电子秤

一、实验目的：

了解交流供电的金属箔式应变片电桥的实际应用。

所需单元及部件：

音频振荡器、电桥、差动放大器、移相器、低通滤波器、F/V表，砝码、主副电源、双平行梁、应变片。

二、实验步骤：

（1）差动放大调整为零，将差动放大（+）、（-）输入端与地短接，输出端与F/V表输入端Vi相连，开启主副电源后调差放的调零旋钮使F/V表显示为零，再将F/V表切换天关置2V档，再细调差放调零旋钮使F/V表显示为零，然后关闭主、副电源。

（2）按图4接线，图中R1、R2、R3、R4为应变片；W1、W2、C、r为交流电桥调节平衡网络，电桥交流激励源必须从音频振荡器的LV输出口引入，音频振荡器旋钮置中间位置。

（3）按住振动梁（双平行梁）的自由端。

旋转测微头远离振动梁自由端。

将F/V表的切换开关置20V档，示波器X轴扫描时间切换到—，Y轴CH1和CH2切换开关置5V/div,音频振荡器的频率旋钮置5KHz，幅度旋钮置中间幅度。

开启主、副电源，调节电桥网络中的W1和W2，使F/V表和示波器显示最小，再把F/V表和示波器Y轴的切换开关分别置2V档和50mv/div，细调W1和W2及差动放大器调零旋钮，使F/V表的显示值最小，示波器的波形为一条水平线（F/V表显示值与示波器图形不完全相符时二者兼顾即可）。

现用手按住梁的自由端产生一个大位移。

调节移相器的移相旋钮，使示波器显示全波检波的图形。

放手后，梁复原，示波器图形基本成一条直线，否则调节W1和W2。

（4）在梁的自由端加所有砝码，调节差放增益旋钮，使F/V表显示对应的量值，去除所有砝码，调W1使F/V表显示零，这样重复几次进行标定。

（5）在梁自由端（磁钢处）逐一加上砝码，把F/V表的显示值填入下表。

并计算灵敏度。

W（g）

V（v）

（6）梁自由端放上一个重量未知的重物，记录F/V表的显示值，得出未知重物的重量。

三、注意事项：

砝码和重物应放在梁自由端的磁钢上的同一点。

四、思考题：

要将这个电子秤方案投入实际应用，应如何改进

图4

实验五差动变压器（互感式）的性能

一、实验目的：

了解差动变压器原理及工作情况

二、实验原理：

差动变压器由衔铁、初级线圈、次级线圈和线圈骨架等组成。

初级线圈做为差动变压器激励用，相当于变压器的原边，次级线圈由两个结构尺寸和参数相同的线圈反相串接而成，相当于变压器的副边，差动变压器是开磁路，工作是建立在互感基础上的。

其原理及输出特性见图5A。

所需单元及步件：

音频振荡器、测微头、示波器、主、副电源、差动变压器、振动平台。

有关旋钮室始位置：

音频振荡器4KHz—8KHz之间，双踪示波器第一通道灵敏度500mv/div，第二通道灵敏度10mv/div，触发选择打到第一通道，主、副电源关闭。

三、实验步骤：

（1）根据图5B接线，将差动变压器、音频振荡器（必须LV输出）、双踪示波器连接起来，组成一个测量线路。

开启主、副电源，将示波器探头分别接至差动变压器的输入和输出端，调节差动变压器源边线圈音频振荡器激励信号峰峰值为2V。

（2）用手提压变压器磁芯，观察示波器第二通道波形是否能过零翻转，如不能则改变两个次级线圈的串接端。

图5A图5B

（3）转动测微头使测微头与振动平台吸合，再向上转动测微头5mm，使振动平台往上位移。

（4）向下旋钮测微头，使振动平台产生位移。

每位移0.2mm，用示波器读出差动变压器输出端峰峰值填入下表，根据所得数据计算灵敏度S。

S=△V/△X（式中△V为电压变化，△X为相应振动平台的位移变化），作出V-X关系曲线。

读数过程中应注意初、次级波形的相应关系。

X（mm）

5mm

4.8mm

4.6mm

…

0.2mm

0mm

-0.2mm

…

-4.8mm

-5mm

Vo（p-p）

四、思考题：

（1）根据实验结果，指出线性范围。

（2）当差动变压器中磁棒的位置由上到下变化时，双线示波器观察到的波形相位会发生怎样的变化

（3）用测微头调节振动平台位置，使示波器上观察到的差动变压器的输出阻抗端信号为最小，这个最小电压是什么由于什么原因造成

注意：

示波器第二通道为悬浮工作状态。

实验六电涡流式传感器的静态标定

一、实验目的：

了解涡流式传感器的原理及工作性能

二、实验原理：

电涡流式传感器由平面线圈和金属涡流片组成，当线圈中通以高频交变电流后，与其平行的金属片上产生电涡流，电涡流的大小影响线圈的阻抗Z，而涡流的大小与金属涡流片的电阻率、导磁率、厚度、温度以及线圈的距离X有关。

当平面线圈、被测体（涡流片）、激励源已确定，并保持环境温度不