电子枪EBG203UB6S纳入调整手册.docx
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电子枪EBG203UB6S纳入调整手册
電子槍（EBG-203UB6S）納入調整手冊
日本電子DATUM株式會社
産業機器維修部
〈注意事項〉
因使用高電壓，注意[觸電]事項
·在真空槍體内，有大氣時，必須切斷電子槍電源的電流斷路開關。
·安裝測定器時，必須切斷電子槍電源的電流斷路開關。
·調整電子束時，必須把控制盘安裝在電子槍電源上。
電子槍（EBG-203UB6S）、電子槍電源（JST-3F、10F、16F）納入調整時，请按照下列程序，進行操作。
（1）電子槍的接線
1地線的確認
·確認地線與真空槍體的連接情況。
·地線的接地電阻值爲［10Ω以下（A種）］
2確認端子接線部位線圈導線的連接情況
3
·線圈的線色如圖所示黑、紅…X掃描線
蓝、黃…Y掃描線
4低壓導入端子和電子槍的連接情況
·低壓導入端子的軟管不能阻礙住鎢絲的交換或其它機器的正常作業。
·使用E圈，把低壓導入端子的軟管固定在連接部位封套上。
·切斷低壓導入端子底部的白色、綠色兩根導線。
·低壓導入端子的導線与線圈的導線使其顔色搭配一致。
·不要与其它顔色的導線壓着端子或封套接觸。
·安裝接線部位的封套時，注意不要夾住封套与電子槍本體間的接線。
5高壓導入端子和電子槍的連接
·確保高壓導線（銅線）之間的距離爲3mm以上。
·確保高壓導線（銅線）与高壓密封套間的距離爲10mm以上。
·儘量保持壓着端子、高壓導線（銅線）与電子槍之間的距離。
·連接銅線于高壓導入端子時，使用兩把螺絲鉗使其擰緊。
（參照右圖）
6高壓密封套的確認
·高壓密封套是完全覆蓋住高壓導入端子的。
※關於高壓密封套的形狀，请參照操作說明書（P4-6）
·確認高壓密封套的材質爲非磁性體（SUS、鋁等）
·確認電子槍与密封套之間沒有空隙
※一旦从空隙間混入垃圾掉進高壓部位（高壓導入端子、銅線），是常導致放電的原因，請注意。
·保持高壓部位（高壓導入端子、銅線）与高壓密封套之間有足夠的距離。
（10mm以上）
·安裝高壓密封套時，確認高壓部位与密封套間無接近部分。
（2）電子槍的確認
1gridassembly的確認
·確認（N18）的擰緊狀況（參照下圖）
※为防止由熱帶來的，N18旋轉30度左右最後向反方向回轉。
（N18最後稍微回轉）
·確認Gridassembly固定用的小螺釘（N14）的擰緊情況（參照下圖）
※旋緊扭矩爲50N/cm（注意不要旋得過緊）
·確認不要傾斜安裝gridassembly。
2磁極片的確認
·使用規尺等確認FIL側的磁極片（N61）的平行度。
·使用規尺等確認Hearth側的磁極片（N106）的平行度。
3
磁力的調整
·安裝磁性調整棒（以下列數量爲基準）
ACC6KV時…安裝￠14的磁性調整棒
ACC5KV時…安裝￠11的磁性調整棒
ACC10KV時…安裝￠7.5的磁性調整棒
·磁性調整板維持現狀
4冷卻水的確認
·確認冷卻水口左側爲IN，右側爲OUT。
（參照下圖）
·確認冷卻水的上水道（水溫在30℃以下）、10升/min以上、壓力在0.4Mpa以下。
※實際上，根據冷卻水配管徑，冷卻水在10升/min時，無流水現象。
通常，即使在6升/min時也沒關係，因燈絲等導致內部加熱時，必須規定冷卻水量爲（10升/min）。
（參考：
出力爲1KW時，冷卻水量必須爲1升/min）
因燈絲等導致內部加熱，而冷卻水量不足時，O型密封圈会燒焦而漏出水，请注意。
·真空槍體排气時，務必放出電子槍的冷卻水。
·因燈絲等導致內部加熱時，即使槍體内存有大氣时，也放出電子枪的冷卻水。
5擋板位置的確認
·確認擋板的高度比hearth的上面高70mm以上。
·確認擋板的材質（非磁性體）
6維護保養空間的確認
·由於鎢絲的交換，確認从電子槍側面的鎢絲交換口有80mm以上的空間。
·確認磁性調整棒有交換的空間。
7電子槍周邊的確認
·確認電子槍周邊無磁石、鐵等磁性體。
·確認在反射電子的情況下，沒有容易溶解的物質。
8hearth位置的確認
·確認hearth位置的正常性。
·Hearth回转軸每回轉一次，確認hearth移動一个位置。
9放入試用材料到hearth時，確認槍體内的真空。
（3）電子槍電源的點檢
1停止固定電子槍電源本體。
2拆卸電子槍電源的控制板。
3加強固定電子枪電源内各組件。
·在EB電源左側P部件内，加強扭緊部品（繼電器、電容、二極管等）。
·在EB電源左側P部件内，確認安裝部品（二極管、電阻、變壓器等）的支架。
·在EB電源内，加強扭緊電力回路部品（繼電器、調節阀、SCR部件等）。
·在EB電源下部，加強扭緊高壓回路部品（變壓器、調節阀、電容等）。
·在EB電源下部，確認烘焙板上安裝電阻（10W、1/2W）的支架。
·在EB電源下部，加強扭緊天板上固定着的螺絲釘。
·在EB電源下部，加強扭緊二極管固定在天板上的螺絲釘。
·在EB電源下部，確認二極管与空心電阻器的連接的銅線的安裝情況。
·在EB電源的ST-AS10F内，加強扭緊氖气電纜的連接部分。
（4）電子槍電源的連接
1連接入力電源
·把入力電源連接于電子槍電源的端子盤[R][S][T]。
·確認入力電源（3相200V）的配電盤上安裝的電流斷路開關的容量。
JST-3F…40A以上
JST-10F…60A以上
JST-16F…100A以上
2EB電源与EB操作盤間的連接情況
·連接導線[W1]与導線[W2]。
·連接操作盤用的地線（5.5sq綠色）。
3EB電源与真空槍體間的連接情況
·把COIL電纜連接到低壓導入端子。
·連接EMSN回路線（22sq紅色）。
·把高壓電纜（W4）連接於高壓導入端子。
※不要把高壓電纜与其它信號的電纜束在一起。
※不要忘記安裝高壓導入端子的白色密封圈。
4連接EB操作盤与真空槍體的控制盤。
·連接聯鎖裝置的電纜。
（參照下圖）
·連接GUNON電纜。
（參照下圖）
※有關聯鎖裝置、GUNON電纜的連接情況，请參照操作說明書（P4-32）。
·連接外部信號接線柱（EXTⅠ、EXTⅡ、EMISSON）。
※有關外部信號接線柱的連接情況，請參照操作說明書（P4-32、33）。
5確認地線的連接情況
·確認地線与真空槍體的連接情況。
（接地電阻10Ω以下）。
·確認EB電源与真空槍體間EMSN導線（22sq紅色）的連接情況。
·確認EB電源与EB操作盤間地線（5.5sq綠色）的連接情況。
※有關地線的連接情況，请參照下頁接線圖与操作說明書（P4-12）。
6
全部安裝EB電源的控制板。
（5）確認低壓的接線
1拆卸電子槍電源背面的[COIL]接線柱。
2測量線圈的電阻值
·拆下EB電源背面的[COIL]接線柱，使用万用表測量接線柱間的電阻值。
·接線柱的插頭編號[C]~[D]…大約1Ω
·接線柱的插頭編號[E]~[F]…大約1Ω
·接線柱的插頭編號[C]~[A][B][E][F]…無限大
·接線柱的插頭編號[E]~[A][B][C][D]…無限大
※電阻值異常的狀況下，请檢查下列情況
a.檢查線圈的接線部位是否有与其它顔色導線的壓着端子接觸。
a.檢查線圈的導線是否有傷痕或被損傷的情況。
3測量線圈与地線間的電阻值情況
·拆下EB電源背面的[COIL]的插座，使用万用表檢測接線柱插頭与地線間的電阻值。
接線柱的插頭編號[C]~地線
接線柱的插頭編號[D]~地線全部都是無限大
接線柱的插頭編號[E]~地線
接線柱的插頭編號[F]~地線
※電阻值異常的狀況下，請檢查下列情況
a.檢查線圈接線部位的壓着端子是否有与密封套接觸
b.檢查密封套是否有夾住与電子槍本體間的接線。
c.檢查線圈的導線是否有傷痕或被損傷的情況。
電子槍電源（前面）
（6）通電測試
1電流斷路開關調爲ON。
·配電盤的電流斷路開關調向ON。
·電子槍電源前面的NFB調向ON。
·NFB爲ON後，確認下列項目
b.確認電子槍電源前面的白色指示燈的點燈情況
c.確認電子槍電源前面的紅色指示燈的點燈情況
d.確認電子槍電源的A部件的[OFF]的指示燈的點燈情況
e.確認電子槍電源的FAN的整個回轉情況
※電子槍電源前面的紅色指示燈不點燈時，由於入力電源
的相弄錯，交換入力電源的[R]相与[T]相。
2A部件[POWERON]
·電子槍電源A部件的[POWERON]的開關調向ON。
·開關調向ON後，確認[POWERON]指示燈的點燈情況。
·開關調向ON後，確認EB操作盤的[OFF]的指示燈的點燈情況。
3確認聯鎖裝置的動作情況
·確認EB操作盤的[PS]指示燈的點燈情況。
[PS]指示燈滅燈時，確認電子槍電源A部件的[FUSE（P）][FUSE（MG）][DOOR]的點燈情況。
·確認EB操作盤的[V]指示燈的點燈情況。
[V]灭燈時，確認槍體内真空的聯鎖裝置情況。
·確認EB操作盤的[W]指示燈的點燈情況。
[W]指示燈滅燈時，確認電子槍冷卻水的聯鎖裝置的情況。
·確認EB操作盤的[AUX]指示燈的點燈情況。
[AUX]指示燈滅燈時，確認槍體的控制板等的聯鎖裝置的情況。
4設定FIL切換開關
A部件的FIL選擇[￠0.8]（上側）的開關（紅色）。
⑺光束的調整
1槍體的確認
·確診槍體的真空度（2×10-2Pa以下）。
·確認電子槍、hearth的冷卻水的流量。
2EB操作盤的確認
·EB操作盤的ACCADJ-VRA（VR-15）完全向左旋轉。
·EB操作盤的EMI-VR旋轉到最小值（0）。
·EB操作盤的X、Y位置旋轉到中央的位置。
·EB操作盤的X、Y掃描完全向左旋轉。
·EB操作盤的EXT/INTL切換開關調爲[INTL]側。
3FIL動作測試
·EMI電流表的RANGE切換開關選擇爲[Ⅱ]。
·EB操作盤[FIL]旋扭旋轉爲ON。
·慢慢旋轉EMⅠ-VR，EB操作盤EMⅠ電流表設定爲150mA，3-5分鐘鎢絲退火如果，放出grid部的氣體。
·慢慢旋轉EMⅠ-VR到MAX，確認EB操作盤EMⅠ電流表的指示大約在270mA。
※EMⅠ電流表指示在0~約180mA時，A部件的FIL的切換開關變爲￠0.55側（下側）。
那時，A部件的FIL切換開關切換爲￠0.8側（上側）。
·FIL動作確認後，必須把EMⅠ-VR由最小值（0）調爲[OFF]。
4FIL動作的確認
·EMⅠ-VR旋轉到0~MAX時，確認FIL警報器無點燈。
※FIL警報器點燈時，需考慮爲FIL回路斷線，檢查銅線（壓着端子）、gridassembly（钨鎢絲安裝部位）的鬆弛程度。
·EMI電流表的指示值爲200mA以上時，確認實質上鎢絲點燈的明暗度。
※EMⅠ表振動而實質上鎢絲的明亮度不够時，需考慮爲EIL回路的短路，檢查銅線、gridassembly的安裝情況以及鎢絲的變形狀況。
5ACC動作檢測
·負責人確認使用的是加速電壓（ACC）。
金屬系列物質的情況下使用-10KW，而氧化物的情況下使用-6KW比較多。
·再次確認槍體的真空度（2×10-2Pa以下）。
·EB操作盤MODE-SELECT選擇開關[ACC]。
·EB操作盤[ACC]調爲ON。
·把電流表調爲任意值（如：
10KW），調整EB操作盤ACCADJ-VR。
·EB操作盤調爲ON後，確認ACC警報器無點燈加速電壓正常。
（EMⅠ電流表無偏轉）
※ACC警報器點燈的情況下，檢查高壓部分（銅線、gridassembly）的狀況。
6ST-AS10F部件的檢測
·EB操作盤[ACC調爲ON。
·確認ST-AS10F部件的[POWER]指示燈（綠色）的點燈情況。
·確認ST-AS10F部件的[E-REV]指示燈（紅色）無點燈。
7預熱電流的調整
·確認EB操作盤的EMⅠ-VR調爲最小值（0）。
·選擇EB操作盤的EMI電流表RANGE切換開關爲[I]。
·EB操作盤[ACC][FIL]調爲ON。
·EB操作盤的EMⅠ-VR爲0時，調整EB操作盤的VR-16，使光束稍微偏移。
※出貨時ACC＝10KV，調整預熱電流爲1mA。
注意事項：
因爲，在ACC＝6~8KV時,VR-16在調整前預熱電流電流量大。
[特別是低功率的材料（MgF2等）
（8）光束位置的調整
1EB操作盤的X、Y位置旋扭旋轉到中央。
·EB操作盤的X、Y掃描旋扭旋轉到最左邊（最小）。
·EB操作盤ACC、FIL調爲ON，光束稍微偏出，確認光束的位置。
2光束位置比hearth中心偏向內側時
·加強磁性…選擇細的磁性調整棒
擴大磁性調整板与本體間的空隙
3光束位置比hearth中心偏向FIL侧時
·减弱磁性…選擇粗的磁性調整棒
縮小磁性調整棒与本體間的空隙
※光束位置調整要領
首先，變更磁性調整棒，使光束位置与hearth中心附近保持一致，
＜X位置動作幅度＞
然後，調整磁性調整棒，使光速与hearth中心保持一致。
（9）位置的調整
1X位置的動作確認
·選擇EB操作盤MODE-SELECT的開關[XP]。
·EB操作盤的X位置的旋扭向右旋轉，光束向FIL側（前面）移動。
那時，確認電流表上指示值由0~右（+）側偏移。
·EB操作盤的X位置的旋扭向左旋轉，光束向向內側移動。
那時，確認電流表上指示值由0~左（-）側偏移。
2X位置動作幅度的調整
·EB操作盤的X位置旋扭向左右完全旋轉時，光束从hearth中心向hearth端（前後方向）運動時，調整EB操作盤VR-11（XP-GAIN）。
·調整後，EB操作盤的X位置的旋扭回復到中央位置。
3Y位置的動作確認
·選擇EB操作盤MODE-SELECT的開關[YP]。
·EB操作盤的Y位置的旋扭向右旋轉時，光束向右側移動。
那時，確認電流表的指示向右（+）側移動。
·EB操作盤的Y位置的旋扭向左旋轉時，光束向左側移動。
那時，確認電流表的指示向左（-）側移動。
4Y位置動作幅度的調整
·EB操作盤的Y位置的旋扭向左右完全旋轉時，光束从hearth中心向hearth端（左右方向）運動時，調整EB操作盤VR-13（YP-GAIN）。
·調整後，EB操作盤的Y位置的旋扭回復到中央位置。
（10）掃描振幅的調整
1X掃描動作的確認
X掃描的旋扭
·選擇EB操作盤MODE-SELECT開關[XS]。
·EB操作盤的X掃描旋扭由0~向右完全旋轉。
那時，確認電流表的指示由0~右側偏轉。
2X掃描振幅的調整
·由於光束向X方向（前後方向）擴展，如擴展到hearth端，
最左邊（最小）最右邊（最大）
調整EB操作盤VR-12（XS-GAIN）。
·調整後，EB操作盤的X掃描旋扭回復到最左邊（最小）。
3Y掃描動作的確認
·EB操作盤MODE-SELECT選擇開關[YS]。
·EB操作盤的Y掃描旋扭由0~右完全旋轉。
＜Y掃描動作幅度＞
那時，確認電流表的指示由0~右側偏移。
4Y掃描振幅的調整
·由於光束向Y方向（左右方向）擴展，如向hearth端擴展，
調整EB操作盤VR-14（YS-GAIN）。
·調整後，EB操作盤的Y掃描旋扭回復到最左側（最小）。
（11）功率的測試
1槍體内狀況的確認
·確認擋板的有無、打開与閉合的狀況
·確認铝製环圈等覆蓋在光學控制器、擋板轴、防護封套、傳感器、燈絲等的無污染情況。
※因加大EMI電流，蒸鍍材料溶解，而槍體内就变髒。
※加大EMI電流時，務必由負責人確認
2功率的測試
·旋轉EB操作盤EMI-VR時，確認EMI電流表的指示值向上，試用材料被加熱。
ＥＭＩ-ＶＲ
ＥＭＩ電流（3F）
ＥＭＩ電流（10F）
ＥＭＩ電流（16F）
０.０
０ｍＡ
０ｍＡ
０ｍＡ
１.０
８０ｍＡ
１００ｍＡ
１６０ｍＡ
５.０
４００ｍＡ
５００ｍＡ
８００ｍＡ
１０.０
８００ｍＡ
１０００ｍＡ
１６００ｍＡ
·功率測試EMI電流值，由試用材料的材質、形狀等決定
ZrO2SiO2（顆粒）等…100~200mA
Ta2O5TiO2等…200~300mA
MgF2等…10~15mA
※在不清楚是如種蒸鍍材料的情況下，由負責人確認EMI電流的大小位置。
（12）外部信號操作的測試
1外部信號操作狀況的確認
·EB操作盤的EXT/INTL切換開關切換爲[EXT]側。
a.在開關外部信號操作的情況下，EB操作盤的SW外部切換開關（白色）調向上側。
b.在EMI電流外部信號操作的情況下，EB操作盤的EMI外部切換開關（藍色）調向上側。
c.在掃描、位置外部信號操作的情況下，EB操作盤的SP外部切換開關（紅色）調向上側。
※有關外部信號的接線柱，請參照操作說明書（P4-32、33）
2EMI電流外部信號操作測試
·在EMI電流外部信號操作的情況下，按下列操作
a.EB操作盤的EXT/INTL切換開關調爲[EXT]側。
b.EB操作盤的EMI外部切換開關（藍色）調爲上側。
c.EB操作盤的[ACC][FIL調爲ON。
d.把信號插入EB操作盤背面的[EMISSION]的接線柱。
[EMISSION]接線柱④號接線插頭…0~10V
[EMISSION]⑤號接線插頭…GND
e.改變EB操作盤背面的[EMISSION]接線柱的信號連接，確認EMI電流如下列變化。
外部信号設定信号
ＥＭＩ電流（3F）
ＥＭＩ電流（10F）
ＥＭＩ電流（16F）
０.０Ｖ
０ｍＡ
０ｍＡ
０ｍＡ
－１.０Ｖ
８０ｍＡ
１００ｍＡ
１６０ｍＡ
－２.５Ｖ
２００ｍＡ
２５０ｍＡ
４００ｍＡ
－５.０Ｖ
４００ｍＡ
５００ｍＡ
８００ｍＡ
－７.５Ｖ
６００ｍＡ
７５０ｍＡ
１２００ｍＡ
－１０.０Ｖ
８００ｍＡ
１０００ｍＡ
１６００ｍＡ
③EMI-FINE回路測試
·使用EMI電流外部信號操作[FINE]的情況下，如下列操作
f.拔出EB操作盤内活動插頭[J24]。
g.把[FINE]信號插入EB操作盤背面的[EXTI]的接線柱。
※有關[FINE]信號的接線情況，請參照操作說明書（P4-32）
h.EMI電流外部信號操作的情況，同上。
i.
調整EB操作盤的VR-9的任意值（一般調整爲1/5狀態）
④外部信號操作的測試
·根據外部信號的操作，確認其正常動作。
※在客戶處，根據外部信號的情況，確認操作動作的全部項目。
確認作業內容，促進与客戶負責人的協商。
（13）附屬品的確認
①確認附屬品
鎢絲（PB438124△4）1盒
操作說明書1本
附屬工具1套
保險絲1套
外部信號用插座3個（未使用時）
遠程BOX加長電纜線1根（未使用時）
磁性調整棒（3根）1套
※同時使用或切換使用的情況下，鎢絲、插座、電纜線、磁性調整棒爲双倍使用。
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