50公斤定向凝固炉技术协议.docx
《50公斤定向凝固炉技术协议.docx》由会员分享，可在线阅读，更多相关《50公斤定向凝固炉技术协议.docx（18页珍藏版）》请在冰豆网上搜索。
50公斤定向凝固炉技术协议
一．型号说明与主要技术指标
概述：
ZG－0.05LB半连续真空感应熔炼定向炉主要用于各类高温合金、铁基、镍基合金、钴基合金及某些有色金属及其合金在真空状态或惰性气体保护下，利用中频感应加热的原理进行真空熔化、真空浇铸、冷却锭模。
本套电炉为三室半连续真空感应熔炼炉，分为加料室、熔炼室、锭模室（冷却室）。
加料室用于向炉内加入炉料。
熔炼室完成感应熔炼、锭模加热、浇铸成型。
熔炼室与锭模室之间设有真空隔离阀，锭模室用于取放锭模，冷却锭模。
电炉型号：
ZG－0.05LB
表示真空表示半连续生产
表示感应加热表示为立式结构
表示额定容量（以吨计）
2．主要技术指标：
熔炼炉技术参数：
额定容量：
50kg
炉体直径：
1600mm
熔炼环境：
真空或惰性气体状态。
最高温度：
1750℃
熔炼工作温度：
1600-1700℃
极限作真空度：
≤6.67X10-3Pa（空炉、冷态、未通水）
熔炼工作真空度：
≤6.67X10-2Pa
中频电源：
IGBT-160
电源功率：
160KW
电源频率：
2500Hz
熔化速度：
50Kg/30分钟
温度测量范围：
700-1800℃
温度测量方式：
光学红外测温仪：
美国雷泰MR1SBSF型双比色红外线测温仪
接触式测温-热电偶浸入钢液面（B型规）（用于校正）
温度控制：
温控闭环
控制系统：
PLC触摸屏
浇注方式：
液控倾翻坩埚
模壳材质：
三氧化二铝
模壳重量：
50公斤（含沙箱）
加热温度：
≤1700
锭模数量：
1个
锭模长度：
Φ400*Y550，
3．锭模加热炉：
加热方式：
电阻加热
发热材料：
石墨
加热温度：
1700℃
加热炉电源：
可控硅调压电源
电源功率：
80KW
电源频率：
1000Hz
4．真空系统数据
熔炼室抽空指标：
极限真空压力≤6.67X10-3Pa
工作真空度≤0.1Pa
漏气率≤4Pa/h
浇锭室抽空指标：
极限真空压力﹤1×10-1
工作真空度1Pa
漏气率≤5Pa/h
抽空时间≤20min
加料室抽空指标：
极限真空压力﹤1Pa
工作真空度0.5-1Pa
漏气率≤5Pa/h
抽空时间≤10min
真空系统配置：
熔炼室：
KT-600油扩散泵1台,ZJP-600罗茨泵1台，H-150机械泵1台.
锭模室：
H--150机械泵1台ZJP-600罗茨泵1台
每套真空系统配置气动真空阀门、真空管道、密封、真空测量仪器、真空表。
5．电力要求：
低压配电：
3相/接地/中性
电源电压：
380VAC±5%,50Hz
设备总功率：
300KW
变压器容量：
350KVA
控制电压（内部产生）：
24VDC
7.冷却水参数
冷却设备：
FB-750闭式冷却塔
水质：
冷却水：
软水喷淋水自来水
冷却水量：
20m3/h（循环量）
最高进水温度5℃-35℃；
出水温度<55℃.
进水压力0.15—0.3MPa;
三、主要配置及功能：
配置形式：
本电炉为立式结构，分为三室即加料室，熔炼铸锭室、锭模室（冷却室）。
加料室：
向炉内加入金属，在加料室和熔炼室之间设有插板阀。
熔炼室和锭模室均为立式结构。
熔炼室和锭模室中间用真空翻板阀隔开。
配套真空系统、液压系统、气动系统、真空中频电源、锭模加热系统、锭模垂直移动系统、电气控制系统、冷却系统构成完整设备。
熔炼炉：
由炉体、炉盖、炉盖升降移动机构、加料装置、观察视窗、测温系统、感应线圈、熔炼坩埚、法兰。
密封结构组成。
。
锭模室系统：
由锭模室、锭模冷却设备、锭模移动机构、炉门等组成。
锭模加热系统：
加热炉、晶闸管电源、降压变压器、屏蔽装置、测温装置、锭模固定座。
锭模移动装置：
锭模垂直移动装置，锭模旋转定位装置。
真空系统：
主真空系统和辅助真空系统。
抽真空、真空度测量、测漏。
液压系统：
驱动炉盖开闭、倾炉浇铸、真空阀开关等。
液压站、油管、油缸等。
充气系统：
向炉内充入惰性气体。
中频电源：
IGBT-120-2.5K（Hz）中频电源
电控系统：
控制电、气、油、水、真空系统、机械动作系统控制。
水冷却系统：
冷却炉体、中频电源、水冷电缆，真空泵等。
水压、水温监测报警。
四.ZG-0.05L半连续式真空感应熔炼炉的结构
ZG-0.05L半连续式真空感应熔炼炉主要由：
真空熔炼炉体、感应线圈、真空系统、中频电源、电控装置、测温等辅助功能系统、水冷却系统等组成组成。
4.1熔炼炉体系统：
熔炼炉体由主炉盖、炉体、炉盖升降移动机构等组成。
4.1.1炉盖：
炉盖采用内壁及法兰为奥氏体不锈钢外壁为碳钢中间通冷却水的双层水冷蝶形封头结构式；炉盖上设置有加料系统、测温装置（红外线测温和热点偶测温）、观察视窗、隔热挡板等。
4.1.2炉盖升降移动机构
炉盖升降移动机构由炉盖顶起油缸、手动平移系统等组成，通过炉盖升降移动机构先利用液压升降系统把炉盖顶起，再通过手动平移机构把炉盖移开。
4.1.3主加料装置
为实现连续操作，设有加料装置，加料室位于炉盖的正上方，加料内为加料斗，加料斗采用卷扬机升降，打开加料室的侧门，将金属料加入料斗内，关闭加料室侧门，对加料室抽真空。
加料室和熔炼炉炉盖之间采用双向密封插板阀隔开，加料室真空泵和熔炼室真空度达到平衡，两室之间的插板阀打开，料斗落下，将金属料加入坩埚内，料斗复位回到加料室，关闭两室之间的插板阀，完成加料。
4.1.4观察视镜
炉盖上装有二套视察视窗，双层石英隔热玻璃，能观察到炉内的各个有效位置，同时可供二个人观察炉内熔炼状况、测温、捣料。
加料。
浇铸等工作状况。
4.1.5测温装置：
配置红外线测温和热电偶测温两种测温装置。
红外线实时在线测温，热电偶进行校正。
红外线测温配置美国雷泰MR1SBSF型双比色红外线测温仪。
测温范围700-1800℃.
热电偶测温为即时测温，可以对红外线测温仪进行校正。
热电偶测温使用超高温钨铼热电偶，测温范围为0～2000℃，其结构为单层保护管，保护管选用Ø10厚壁钼管,热偶丝采用￠0.5mmWRe5/26，D分度热偶丝。
热电偶测温装置为电动操作。
4.1.6捣料装置
捣料装置是为了防止在熔炼过程中，金属出现“搭桥现象”或者形成“盖帽”现象。
4.1.7取样装置
熔炼过程中可以在不破坏熔炼室真空的情况下，多次取少量样品进行成份分析化验。
4.2.1熔炼室炉体
ZG-0.05LB半连续式真空感应炉的熔炼炉体内为奥氏体不锈钢，外壁及加强筋为Q235碳钢，内外炉壁之间通冷却水的双层立式水冷结构，炉体内外壁之间有加强筋，足够刚度和强度，抽负压不会变形，安全可靠。
炉壳制造所用材料经过探伤无裂纹、焊接性能好、受热不易变形、渗气率低。
为了方便熔炼炉室内部设备和感应线圈的维护，熔炼室炉体侧面有炉门，炉门上开有法兰口，安装进电主轴，感应线圈安装在进电主轴炉门内侧炉室，炉门外侧安装倾转液压缸，进电主轴为空心同轴，之间通水，和感应线圈形成循环回路。
主轴旋转和感应线圈倾转的液压缸也安装在炉门上，可以随炉门的开启转动。
主轴和中频电源之间采用柔性水冷电缆连接，可以自由伸缩动作。
当需要对感应线圈更换坩埚或者炉内进行维护时，打开炉门，线圈旋出炉外，方便操作。
另外炉体侧面预留有保温炉热电偶测温接口三个、充气阀接口。
4.2.2真空感应熔炼炉感应器：
感应线圈是由扁圆形T2紫铜管制成的多匝圆柱形，匝与匝间有3－5毫米的间隙，通过它们外围的绝缘板来固定位置，感应线圈和进出电极间的连接是用两个螺母来连接的，拆卸方便，既能保证良好的导电，又能保证可靠的真空密封。
感应线圈经过打压实验，保证安全不漏水，并且经过多次绝缘处理，具有良好的绝缘性能，可耐大电流冲击，不会产生真空下放电现象。
线圈中间放置坩埚，线圈与坩埚之间采用打结材料打结，厚度20－30mm，以免线圈碰着导电性坩埚造成短路，另外也防止线圈直接受坩埚的热幅射，在线圈的底部焊有四块支撑板，用来支托坩埚的。
4.2.3倾炉机构与转动电极：
50公斤真空感应熔炼线圈倾翻为手控液压倾动，能够前倾100°、后倾10°，炉外操作液压控制按钮，油缸倾转熔炼炉，翻转速度可调可控安全可靠。
4.3转动电极及倾炉机构：
转动电极是一转动的同心导电的密封装置，具有导电通水的双重功能，在炉子的外面，电流是从中频电源的电容器组，沿着导电铜排传导的。
导电铜排能负载几千安培的强大电流。
导电铜排一端连接中频电源，一端与空心导电主轴连接将电流通入真空熔室内的感应线圈，冷却水通过导电主轴的空心进入线圈形成称一个循环回路，带给感应线圈。
导电主轴和炉体之间采用真空骨架密封，保证了真空炉室的密封性。
4.2.4水冷电缆：
真空熔炼炉使用水冷电缆，将中频电源与进电转轴连接。
电缆通水冷却。
水冷电缆是炉体与振荡回路铜排相连接的软导线。
本套设备共用4根水冷电缆，每根2.0米左右。
为了减少水冷电缆的损耗，电缆采用了侧引线形式。
水冷电缆从电炉的侧面引出以使其长度达到最短。
水冷电缆的接头采用可拆卸结构可以方便的拆开。
内部通过焊接方式与铜绞线连接。
这种方式联接牢固，接触电阻小。
水冷电缆的外套管采用夹布橡胶管。
这种胶管不易燃烧，强度好。
，它可以承受0.45Mpa水压而不泄漏或破裂。
橡胶管经过长期使用后会老化，这时就要进行更换。
这种可拆卸结构不需要破坏内部的铜绞线，只需要拆开接头上的螺栓就可以方便的更换外部,接头内部采用斜锥面密封和导电。
当上紧接头螺栓时，自然就会起到了既导电又密封的作用。
4.2.5液压系统
液压系统主要由液压站和液压缸，液压油管，操作控制手柄等组成。
为感应线圈倾转，炉盖提升提供动力，液压站由油箱、叶片泵，油路，集成块连接，电磁换向阀，溢流阀等及管路附件，限位行程开关等组成。
电液连锁控制的液压系统，每个执行元件都能在调定速度范围内正常工作。
各执行缸装有缓冲装置，电液连锁自动控制环节完善，以保证运动动作正确，平稳可靠。
坩埚倾转浇注采用液压手操作手柄来控制浇注和复位。
液压油为＃46抗耐磨液压油。
4.3、锭模加热电炉：
加热炉技术参数
加热方式：
感应加热
发热材料：
石墨
加热温度：
1700℃
加热炉电源：
可控硅调压电源
电源功率：
80KW
温度均匀性：
25℃
锭模加热炉是用来对模具进行加热的电炉，为电阻加热炉，用石墨发热体，最高工作温度1800度，为了保证型壳的浇铸时要求的温度，加热炉结构从内到为依次：
屏蔽层内部为石墨碳毡，外层为5层不锈钢，最外层为石棉绝缘隔热材料。
炉壳为不锈钢材质，起到保温坚固的作用。
加热炉的上方开设直径100mm圆孔，放置浇铸漏斗。
为了保证加热对模壳加热的均温性，加热炉分三段控制，设置3个测温点，测温采用热电偶测温仪。
加热炉电源为可控硅调压电源，调整加热炉的温度，升温、降温、恒温。
5.真空翻板阀门
真空熔炼室与锭模室之间设置直径为650mm水冷高真空翻板阀将熔炼室和锭模室隔开，形成2个独立的真空室。
翻板阀靠炉体外液压油缸为动力源。
水冷翻板阀的阀盖的翻转靠四连杆机构实现，在阀门打开或关闭的过程中，阀板的运动有一个翻转过程。
能翻转90°角度。
使得阀盖面向炉壁，这样做的优点1、是节省空间，有利于锭模的上下运动。
2、避免密封圈受到高温烘烤，保护了密封圈。
3、熔炼过程中喷溅的金属掉落在阀盖上，不会影响阀门的开启和关闭。
6、锭模室：
锭模室是取放锭模的过度室也是冷却室，位于熔炼室下方，通过水冷翻板阀和熔炼炉相连，锭模室炉体内为奥氏体不锈钢，外壁及加强筋为Q235碳钢，内外炉壁之间通冷却水的双层立式水冷结构。
锭模室背面开有真空泵接口，正面是炉门。
炉门是锭模出入锭模室的通道，底部为锭模升降机构连接口。
模具室炉门也为双层水冷结构，手动开启关闭。
炉门上有观察视窗，可以观察模具室内的工作情况。
锭模内有冷却锭模的冷却设备，模具浇铸完成后，降落到锭模室的冷却舱内进行快速冷却。
冷却装置由上部分活动冷却仓、下部分固定冷却仓和冷却仓盖三部分组成。
冷却仓外壁、底部和盖上均焊有冷却水环。
冷却仓直径500mm,最高高度600mm，铜材质焊接成圆筒装，锭模降下落入冷却仓内，冷却仓通低温水冷却，通过控制冷却水流速和水温达到快速冷却的目的。
锭模冷却后，冷却仓上部的活动部分下降落下，锭模升降结构将冷却的锭模升起到适当高度，打开模具室炉门，使用专用锭模车将锭模移出模具室。
为了达到更快更好的冷却效果，冷却仓的循环水采用工业制冷水机供水。
7、锭模升降机构
锭模升降结构输送浇铸模具到熔炼室，浇铸完成后将浇铸好的锭模取回锭模室的冷却仓。
定位升降机构由垂直升降水冷轴和两根升降螺旋丝杆组成，升降丝杆为锭模升降机构提供升降动力，另外垂直升降水冷轴两侧有两道导轨，用于导向定位，保持垂直升降轴运动平稳。
工作过程：
将Al203模壳放入铸锭室内的升降装置顶端的座架上，固定稳当，关闭锭模室炉门，打开熔炼室和锭模室之间的翻板阀，锭模升降机构垂直升起，穿过熔炼室和锭模之间的翻体将锭模送人熔炼室内的保温炉炉腔内，锭模移动结构主轴旋转45度，将装有模壳的模壳座架放置在加热内的模具平台上，升降轴与模具座机分离。
升降轴降下回到锭模室内，关闭熔炼炉和锭模室之间的翻板阀。
对真空室抽真空，向加热炉输送功率对模壳进行加热。
模壳在加热炉内加热到1700℃，在1600℃高温下保温2个小时，然后对模壳进行浇铸，浇铸完毕，浇铸好的锭模在加热炉内停留20分钟，打开熔炼室和锭模室之间的翻板阀，升降主轴升起，将浇铸好的模具从加热炉内去下，以5mm/min的速度缓慢降下，降落的同时，主轴顶端向锭模底部吹氩气。
浇铸好的锭模降下进入锭模室内的冷却仓，关闭冷却仓盖，冷却仓周围通冷水冷却，将锭模冷却到400-500℃，打开锭模室炉门，用专用工具将锭模取出。
完成工作，
8、真空机系统：
为了能在整个熔炼过程中，达到良好的工作真空度，本套设备有三组真空系统配置。
真空熔炼炉室真空系统采用三级泵配置。
冷态极限真空度可以达到6.67X10-3Pa。
熔炼室真空系统由1台KT-600油扩散泵，1台ZJP-600罗茨泵和1台H－150滑阀机械泵，￠600冷阱、气动高真空阀门、真空测量等部分组成。
锭模室真空系统配置为一台H－150旋片机械泵，一台ZJP-600罗茨泵。
加料室真空配置一台2X-30机械泵。
用于真空主加料时对加料室抽真空。
真空阀门均为气动阀门，电气控制。
其结构简单、可靠，并能有效地防止灰尘影响密闭封。
该真空系统具有分段检测设置和电器保护系统，并有断水保护装置，从而大大地提高了运行的安全性。
真空测量部分主要由复合真空计和真空压力表，规管及相应附件组成，并配有数字式复合真空计，直接读取真空室真空压强，低真空规管全部使用ZJ-27型金属电阻规管，电离规管采用ZJ-52T.
熔炼室的真空系统扩散泵管道上装有充气阀，充气阀是向真空室充入气体的开关装置，通过管道与压缩气体连接可以向真空室内充入惰性气体。
放气阀是破真空使用，安装在炉盖上，电动操作放气。
锭模室真空系统的充气阀和放气阀都安装在真空管道上。
电动控制。
熔炼室真空系统和锭模室真空系统独立控制，独立测量。
真空测量使用ZDF―Ⅲ型系列电阻/电离复合真空计。
粗真空用真空表测量显示。
气动阀门需要压缩空气为动力，压缩空气0.6MPa.
9、真空感应炉电气设备主要由中频熔炼电源和电气控制系统组成。
中频电源
中频电源是向线圈提供中频功率的装置，中频电源有隔离变压器、整流、逆变、电容补偿四大部分组成。
本套设备采用IGBT电源
电源参数
电源型号：
IGBT-160-2.5KS
电源功率：
160KW
电源频率：
2500Hz
输入电源电压：
380V±10%
输入相数：
３相
输入电源频率：
50Hz
输出中频电压：
185-375V
电气控制系统：
PLC控制系统，触摸屏操作，模拟整个真空熔炼工艺过程显示。
电控系统功能：
机械动作控制：
炉盖升降、倾炉，锭模的垂直升降，旋转动作、热电偶测温操作。
真空系统控制：
真空泵的操作、真空阀门的操作。
充、放气阀门的操作。
中频电源控制：
功率输送、温度控制、电流、电压、频率显示。
温度控制：
熔炼炉温度测量，加热炉温度测量、温度显示。
扩散泵油温测量显示、水温测量、温度记录。
冷却系统控制。
冷却水控制、流量监测报警。
安全报警系统。
过流、过压保护、水压不足报警。
各种操作都可以实现自动和手动两种操作。
10、冷却系统
ZG－0.05LB半连续式真空感应熔炼炉的水冷系统分为三大部分，即中频电源冷却系统、炉体部分冷却系统和真空机组冷却系统。
中频电源冷却：
包括对可控硅、电抗器、隔离变压器、水冷电缆冷却。
炉体冷却：
包括对炉体、炉盖、炉门、锭模室冷却、感应线圈等冷却
真空系统冷却：
包括对滑阀真空泵、罗茨泵、有扩散泵、冷阱冷却、
全部冷却水系统均设有水温、水压显示和超限、缺水报警装置，以保证设备的安全运行。
全套设备冷却水循环流量20t/h，采用FB-750闭式冷却塔冷却.
1.水质要求：
总硬度不大于10度（CaO容量〈10mg当量〉；
溶解性固体<300mg/L；
PH值7—8.5；
悬浮性固体<10mg/L；
碱度<60mg/L；
可溶性Si02<6mg/L；
电导率<500us/cm；
2.供水系统：
最高进水温度<35℃；
最低进水温度>5℃；
进水压力0.15—0.3MPa;
出水温度<55℃.
为了加快浇铸好的锭模在模具室的冷却速度和达到良好的冷却效果，冷却仓的冷却水可以单独设置一个冷却设备，采用工业制冷水机来给冷却仓供应冷水。
进水温度低，加快冷却速度。
ZG-0.05LB半连续式定向真空感应炉供货清单
序号
项目名称
规格及说明
数量
熔炼炉部分
1
炉盖
含视窗、测温、加料等
1套
2
熔炼室炉体
含侧炉门ZG-0.05LB
1套
3
主加料装置
隔热挡板、加料室、侧门、翻板阀、料斗
1套
4
捣料装置
1套
5
测温系统
美国雷泰MR1SBSF型双比色红外线
1套
热电偶测温W-Re5/26热电偶丝钼保护管
1套
6
观察视窗
多孔旋转式
2套
7
炉盖提升机构
液压
1套
8
倾炉机构
液压缸旋转轴
1套
9
液压系统
液压站、油缸、油管有水分离器
1套
10
进电转轴
装配式结构
1套
11
感应熔炼炉
ZG-0.05LB
1套
12
中频电源
IGBT-160-2.5K含补偿电容
1套
13
温度控制系统
温控闭环
1套
14
水冷电缆
1套
加热炉部分
1
炉体
不锈钢炉体
1套
2
发热体
石墨发热体
1套
3
隔热屏蔽层
石墨碳毡保温石棉防散热保护罩
1套
4
可控硅调压电源
80KW
1套
5
降压变压器
1套
6
三点测温
热电偶测温
1套
7
加热炉控制系统
控温
1套
8
锭模固定座
1套
9
浇铸流槽
1套
真空系统
1
滑阀机械泵
H-150
1台
2
罗茨真空泵
ZJP-600
1台
3
油扩散泵
KT-600
1台
4
气动挡板阀GDQ600
1套
5
气动挡板阀GDQ250
1套
6
气动挡板阀GDQ150
1套
7
DN250不锈钢波纹管
1套
8
DN150不锈钢波纹管
1套
9
DN100不锈钢波纹管
1套
10
电磁带充气阀DDC-Y100
1套
11
充气阀
向炉内充气
1套
12
放气阀
2套
13
真空计
ZDF―Ⅲ型系列电阻/电离复合真空计
1套
14
规管
ZJ-52T电阻规ZJ-27电离规
2支
15
真空管道
3套
16
不锈钢波纹管道
3套
17
真空泵支架
2套
翻板阀
1
￠600四连杆翻板阀
1套
2
翻板阀冷却
1套
3
炉外液压缸
1套
4
翻板阀控制系统
1套
锭模室
1
锭模室炉体
直径mm高度mm内壁不锈钢
1套
2
炉门
炉门含有观察窗
1套
3
真空系统
罗茨泵
ZJP-600
1台
滑阀机械泵
H-150
1台
GDQ200气动挡板阀
1套
DN200直通管道
1套
DN100直通管道
1套
电磁带充气阀DDC-Y100
1套
DN100直角弯头
1套
充气阀
向炉内充气
1套
放气阀
1套
真空计
ZDF―Ⅲ型系列电阻/电离复合真空计
1套
规管
ZJ-52T电阻规ZJ-27电离规
1套
真空表
1套
4
冷却仓
冷却仓盖
（含冷却管）
1套
仓盖启闭装置
1套
冷却仓上壳
1套
冷却仓下壳
1套
上冷却仓升降移动装置
1套
工业制冷水机
1套
5
水冷连接材料
1套
模壳垂直升降机构
1
模壳座
1套
2
隔热层
1套
3
丝杠
1套
4
导向杆
2套
5
承重主轴
1套
6
转向电机
1套
7
吹氩气系统
1套
8
流量控制计
1套
9
阀门
1套
10
气管
1套
冷却系统
1
FB-750闭式冷却塔
1套
2
分水器（闭式）
2套
3
集水器（闭式）
2套
4
耐压胶皮管
30米
5
￠18胶皮管
100米
6
￠21胶皮管
100米
7
￠50胶皮管
100米
8
水压表
全套
9
流量计
1套
10
水温表
1套
11
热电偶测水温
1套
电气控制系统
1
电气控制柜
1套
2
真空熔炼炉工艺流程模拟
1套
3
PLC控制系统
1套
4
触摸屏操作
1套
其它
1
取锭模专业小车
1套
2
气动系统
油水分离器气管三通接头等等
1套
3
工作平台
标准型材焊接
1套
4
专用工具
1套
5
图纸
地基图设备总图纸电气图纸等
全套
6
文献资料
设备使用说明书、维护手册等
全套
备品配件
序号
项目名称
规格及说明
数量
1
坩埚
特制
2个
2
打结料
2袋
3
耐火胶泥
2袋
4
水玻璃
50L
5
石棉布
1卷
6
石棉板
2块
7
热偶丝
￠0.5mmWRe5/26，D分度热偶丝
5对米
8
保护管
2根
9
磁珠
若干
10
流槽
1个
11
中频电源控制板
1块
12
视窗玻璃
24块
1套
13
密封圈
整套设备
1套
14
备用感应线圈
1套
15
扩散泵真空油
1桶
16
罗茨泵真空油
1桶
17
机械泵真空油
升级会员 