芯片可靠性测试.docx
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芯片可靠性测试
芯片可靠性测试
质量(Quality)和可靠性(Reliability)在一定程度上可以说是IC产品的生命,好的品质,长久的耐力往往就是一颗优秀IC产品的竞争力所在。
在做产品验证时我们往往会遇到三个问题,验证什么,如何去验证,哪里去验证,这就是what,how,where的问题了。
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解决了这三个问题,质量和可靠性就有了保证,制造商才可以大量地将产品推向市场,客户才可以放心地使用产品。
本文将目前较为流行的测试方法加以简单归类和阐述,力求达到抛砖引玉的作用。
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Quality就是产品性能的测量,它回答了一个产品是否合乎SPEC的要求,是否符合各项性能指标的问题;Reliability则是对产品耐久力的测量,它回答了一个产品生命周期有多长,简单说,它能用多久的问题。
所以说Quality解决的是现阶段的问题,Reliability解决的是一段时间以后的问题。
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知道了两者的区别,我们发现,Quality的问题解决方法往往比较直接,设计和制造单位在产品生产出来后,通过简单的测试,就可以知道产品的性能是否达到SPEC的要求,这种测试在IC的设计和制造单位就可以进行。
相对而言,Reliability的问题似乎就变的十分棘手,这个产品能用多久,whoknows?
谁会能保证今天产品能用,明天就一定能用?
为了解决这个问题,人们制定了各种各样的标准,如
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MIT-STD-883EMethod1005.8
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JESD22-A108-A
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EIAJED-4701-D101
等等,这些标准林林总总,方方面面,都是建立在长久以来IC设计,制造和使用的经验的基础上,规定了IC测试的条件,如温度,湿度,电压,偏压,测试方法等,获得标准的测试结果。
这些标准的制定使得IC测试变得不再盲目,变得有章可循,有法可依,从而很好的解决的what,how的问题。
而Where的问题,由于Reliability的测试需要专业的设备,专业的器材和较长的时间,这就需要专业的测试单位。
这种单位提供专业的测试机台,并且根据国际标准进行测试,提供给客户完备的测试报告,并且力求准确的回答Reliability的问题
在简单的介绍一些目前较为流行的Reliability的测试方法之前,我们先来认识一下IC产品的生命周期。
典型的IC产品的生命周期可以用一条浴缸曲线(BathtubCurve)来表示,如图所示
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Region(I)被称为早夭期(Infancyperiod)。
这个阶段产品的failurerate快速下降,造成失效的原因在于IC设计和生产过程中的缺陷;
Region(II)被称为使用期(Usefullifeperiod)。
在这个阶段产品的failurerate保持稳定,失效的原因往往是随机的,比如EOS,温度变化等等;
Region(III)被称为磨耗期(Wear-Outperiod)。
在这个阶段failurerate会快速升高,失效的原因就是产品的长期使用所造成的老化等。
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认识了典型IC产品的生命周期,我们就可以看到,Reliability的问题就是要力图将处于早夭期failure的产品去除并估算其良率,预计产品的使用期,并且找到failure的原因,尤其是在IC生产,封装,存储等方面出现的问题所造成的失效原因。
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下面就是一些ICProductLevelreliabilitytestitems
●>Robustnesstestitems
ESD,Latch-up
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对于Robustnesstestitems听到的ESD,Latch-up问题,有很多的精彩的说明,这里就不再锦上添花了。
下面详细介绍其他的测试方法。
●>Lifetestitems
●?
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EFR,OLT(HTOL),LTOL
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EFR:
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EarlyfailRateTest
Purpose:
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评估工艺的稳定性,加速缺陷失效率,去除由于天生原因失效的产品。
Testcondition:
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在特定时间内动态提升温度和电压对产品进行测试
FailureMechanisms:
材料或工艺的缺陷包括诸如氧化层缺陷,金属刻镀,离子玷污等由于生产造成的失效
Reference:
具体的测试条件和估算结果可参考以下标准
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MIT-STD-883EMethod1015.9
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JESD22-A108-A
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EIAJED-4701-D101
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HTOL/LTOL:
High/LowTemperatureOperatingLife
Purpose:
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评估器件在超热和超电压情况下一段时间的耐久力
Testcondition:
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125?
C,1.1VCC,动态测试
FailureMechanisms:
电子迁移,氧化层破裂,相互扩散,不稳定性,离子玷污等
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Reference:
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简单的标准如下表所示,125?
C条件下1000小时测试通过IC可以保证持续使用4年,2000小时测试持续使用8年;150?
C测试保证使用8年,2000小时保证使用28年。
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125?
C?
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150?
C
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1000hrs?
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4years?
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8?
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years
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2000hrs?
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8years?
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28years
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具体的测试条件和估算结果可参考以下标准
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MIT-STD-883EMethod1005.8
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JESD22-A108-A
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EIAJED-4701-D101
●>Environmentaltestitems
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PRE-CON,THB,HAST,PCT,TCT,TST,HTST,SolderabilityTest,
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SolderHeatTest
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PRE-CON:
PreconditionTest
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Purpose:
模拟IC在使用之前在一定湿度,温度条件下存储的耐久力,也就是IC从生产到使用之间存储的可靠性。
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TestFlow:
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Step1:
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SAM(ScanningAcousticMicroscopy)
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Step2:
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Temperaturecycling
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-40?
C(orlower)~60?
C(orhigher)for5cyclestosimulateshippingconditions
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Step3:
Baking
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Atminimum125?
Cfor24hourstoremoveallmoisturefromthepackage
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Step4:
Soaking
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Usingoneoffollowingsoakconditions
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-Level1:
85?
C/85%RHfor168hrs(多久都没关系)
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-Level1:
85?
C/60%RHfor168hrs(一年左右)?
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-Level1:
30?
C/60%RHfor192hrs(一周左右)
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Step5:
Reflow
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240?
C(-5?
C)/225?
C(-5?
C)for3times(Pb-Sn)?
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245?
C(-5?
C)/250?
C(-5?
C)for3times(Lead-free)?
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*chooseaccordingthepackagesize
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FailureMechanisms:
封装破裂,分层
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Reference:
具体的测试条件和估算结果可参考以下标准
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JESD22-A113-D
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EIAJED-4701-B101
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THB:
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TemperatureHumidityBiasTest
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Purpose:
评估IC产品在高温,高压,偏压条件下对湿气的抵抗能力,加速其失效进程
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Testcondition:
85?
C,85%RH,1.1VCC,Staticbias
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FailureMechanisms:
电解腐蚀
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Reference:
具体的测试条件和估算结果可参考以下标准
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JESD22-A101-D
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EIAJED-4701-D122
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HAST:
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HighlyAcceleratedStressTest
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Purpose:
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评估IC产品在偏压下高温,高湿,高气压条件下对湿度的抵抗能力,加速其失效过程
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Testcondition:
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130?
C,85%RH,1.1VCC,Staticbias,2.3atm
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FailureMechanisms:
电离腐蚀,封装密封性
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Reference:
具体的测试条件和估算结果可参考以下标准
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JESD22-A110
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PCT:
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PressureCookTest(AutoclaveTest)
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Purpose:
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评估IC产品在高温,高湿,高气压条件下对湿度的抵抗能力,加速其失效过程
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Testcondition:
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130?
C,85%RH,Staticbias,15PSIG(2atm)
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FailureMechanisms:
化学金属腐蚀,封装密封性
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Reference:
具体的测试条件和估算结果可参考以下标准
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JESD22-A102
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EIAJED-4701-B123
*HAST与THB的区别在于温度更高,并且考虑到压力因素,实验时间可以缩短,而PCT则不加偏压,但湿度增大。
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TCT:
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TemperatureCyclingTest
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Purpose:
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评估IC产品中具有不同热膨胀系数的金属之间的界面的接触良
率。
方法是通过循环流动的空气从高温到低温重复变化。
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Testcondition:
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ConditionB:
-55?
Cto125?
C
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ConditionC:
-65?
Cto150?
C
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FailureMechanisms:
电介质的断裂,导体和绝缘体的断裂,不同界面的分层
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Reference:
具体的测试条件和估算结果可参考以下标准
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MIT-STD-883EMethod1010.7
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JESD22-A104-A
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EIAJED-4701-B-131
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TST:
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?
ThermalShockTest
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Purpose:
?
?
评估IC产品中具有不同热膨胀系数的金属之间的界面的接触良
率。
方法是通过循环流动的液体从高温到低温重复变化。
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Testcondition:
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ConditionB:
-55?
Cto125?
C
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ConditionC:
-65?
Cto150?
C
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FailureMechanisms:
电介质的断裂,材料的老化(如bondwires),导体机
械变形
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Reference:
具体的测试条件和估算结果可参考以下标准
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MIT-STD-883EMethod1011.9
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JESD22-B106
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EIAJED-4701-B-141
*TCT与TST的区别在于TCT偏重于package的测试,而TST偏重于晶园的测
试
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HTST:
HighTemperatureStorageLifeTest
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Purpose:
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评估IC产品在实际使用之前在高温条件下保持几年不工作条件
下的生命时间。
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Testcondition:
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150?
C
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FailureMechanisms:
化学和扩散效应,Au-Al共金效应
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Reference:
具体的测试条件和估算结果可参考以下标准
?
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MIT-STD-883EMethod1008.2
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?
JESD22-A103-A
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EIAJED-4701-B111
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?
SolderabilityTest
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Purpose:
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评估ICleads在粘锡过程中的可考度
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TestMethod:
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1.蒸汽老化8小时
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2.侵入245?
C锡盆中5秒
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FailureCriterion:
至少95%良率
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Reference:
具体的测试条件和估算结果可参考以下标准
?
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MIT-STD-883EMethod2003.7
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JESD22-B102
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SHTTest:
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SolderHeatResistivityTest
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Purpose:
?
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评估IC对瞬间高温的敏感度
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TestMethod:
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侵入260?
C锡盆中10秒
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FailureCriterion:
根据电测试结果
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Reference:
具体的测试条件和估算结果可参考以下标准
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?
MIT-STD-883EMethod2003.7
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EIAJED-4701-B106
>Endurancetestitems
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?
Endurancecyclingtest,Dataretentiontest
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?
EnduranceCyclingTest
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?
Purpose:
?
?
评估非挥发性memory器件在多次读写算后的持久性能
?
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TestMethod:
?
?
将数据写入memory的存储单元,在擦除数据,重复这个过
程多次
?
?
Testcondition:
室温,或者更高,每个数据的读写次数达到100k~1000k
?
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Reference:
具体的测试条件和估算结果可参考以下标准
?
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?
MIT-STD-883EMethod1033
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?
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?
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?
?
DataRetentionTest
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?
?
Purpose:
在重复读写之后加速非挥发性memory器件存储节点的电荷损失?
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?
Testcondition:
?
?
在高温条件下将数据写入memory存储单元后,多次读取验
证单元中的数据
?
?
FailureMechanisms:
150?
C
?
?
Reference:
具体的测试条件和估算结果可参考以下标准
?
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?
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?
MIT-STD-883EMethod1008.2
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?
MIT-STD-883EMethod1033
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在了解上述的IC测试方法之后,IC的设计制造商就需要根据不用IC产品的
性能,用途以及需要测试的目的,选择合适的测试方法,最大限度的降低IC测
试的时间和成本,从而有效控制IC产品的质量和可靠度。
BasicFAFlows
EveryexperiencedfailureanalystknowsthateveryFAisunique.NobodycantrulysaythatheorshehasdevelopedastandardFAflowforeveryFAthatwillcomehisorherway.?
?
FA'shaveatendencyofdirectingthemselves,witheachsubsequentstepdependingontheoutcomeofthepreviousstep.
?
?
TheflowofanFAisinfluencedbyamultitudeoffactors:
thedeviceitself,theapplicationinwhichitfailed,thestressesthatthedevicehasundergonepriortofailure,thepointoffailure,thefailurerate,thefailuremode,thefailureattributes,andofcourse,thefailuremechanism.?
?
Nonetheless,FAisFA,soitisindeedpossibletodefinetoacertaindegreea'standard'FAflowforeveryfailuremechanism.?
?
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ThisarticleaimstogivethereaderabasicideaofhowtheFAflowforagivenfailuremechanismmaybestandardized.'Standardization'inthiscontextdoesnotmeandefiningastep-by-stepFAproceduretofollow,butratherwhattolookforwhenanalyzingfailuresdependingonwhattheobservedorsuspectedfailuremechanismis.
?
?
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?
BasicDie-levelFAFlow
?
?
1)FailureInformationReview.Understandthoroughlythecustomer'sdescriptionofthefailure.?
?
Determine:
a)thespecificelectricalfailuremodethatthecustomerisexperiencing;b)thepointoffailureorwherethefailurewasencountered(fieldormanufacturinglineandatwhichstep?
);c)whatconditionsthesampleshavealreadygonethroughorbeensubjectedto;andd)thefailurerateobservedbythecustomer.
?
?
2)FailureVerification.Verifythecustomer'sfailuremodebyelectricaltesting.?
?
Checkthedatalogresultsforconsistencywithwhatthecustomerisreporting.
?
?
3)ExternalVisualInspection.Performathoroughexternalvisualinspectiononthesample.?
?
Noteallmarkingsonthepackageandlookforexternalanomalies,i.e.,missing/bentleads,packagediscolorations,packagecracks/chip-outs/scratches,contamination,leadoxidation/corrosion,illegiblemarks,non-standardfonts,etc.
?
?
4)BenchTesting.Verifytheelectricaltestresultsby