静电防护管理规范最新版.docx

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静电防护管理规范最新版

文件修订履历

版次

V1.1

V1.2

V1.3

V2.1

V2.2

V2.3

V2.4

V2.5

V2.6

V3.0

部门

CS部

有√

√

份数

1目的

防止静电对静电敏感器件造成早期损坏或缩短使用寿命；使ESD防护工作具有较强的可操作性。

2适用范围

从静电敏感器件进货到产品形成的全过程

3定义

3．1静电放电（ESD）

处于不同电位的两个物体之间，由于直接接触或者电场感应导致的电荷传输。

3．2静电敏感器件（ESDS）

在常规处理、测试或运输中可能会受到静电场或者静电放电损害的分立器件、集成电路或组件。

3．3静电的发生及带电

3．3．1静电的定义：

物质是由分子组成，分子是由原子组成，原子是构成一切化学元素的最小微粒，

由带正电的原子核和带负电的围绕原子核旋转的电子组成。

在正常状况下，原子所带的正负电荷相等，所以对外表现出电中性。

但是在某种条件下，当物质原子中的这种电平衡状态被打破，丢失或获得电子，物质即由电中性状态改变为带电状态。

丢失电子，则表现为带正电；获得电子，则表现为带负电。

这种物体表面所带过剩或不足的相对静止不动电荷，称之为静电。

3．3．2静电的产生：

静电的产生有多种，这里主要讲述与电子制程紧密相关的接触起电、感应起电、剥离起电、摩擦起电；其它如：

粉体带电、液体静电、气体带电、飞沫带电、喷出带电在此不进行讲述。

3．3．2．1接触起电：

当两种物质接触时，其间距小于2.5×10-8cm时在其间即发生电子的转移，界面两侧出现大小相等，符号相反的两种电荷

3．3．2．2感应起电：

它是导体在外部静电场作用下，在不同部位表面感应出不同符号的电荷

3．3．2．3剥离起电：

两个接触非常紧密的物质，在外力作用下突然分开，由于剥离的原因使物体带电

3．3．2．4摩擦起电：

由于摩擦生热，热使离子（电子）的活性增加，容易向其他物体转移

3．3．3静电的危害

3．3．3.1对人体产生电击：

带了电的人体接近接地体时，会由于静电放电产生的瞬间冲击电流流过人体某一部位而引起电击。

或者是原来不带电的人体接近一个带电物体时，带电物体对人体放电而引起的电击。

3．3．3.2对电子组件的损坏：

对组件的损坏大体可分为两种失效模式：

一、突发性完全失效即一次性击穿、烧毁，产品在拿取、传递、作业时由于静电放电造成的产品完全破坏，永久失效；二、潜在性缓慢失效即静电放电使产品造成毫无规律可循的潜在性失效，导致其可靠性下降。

3．4绝缘体与导体

3．4.1绝缘体

绝缘体具有大表面电阻率，一般大于或等于1011Ω。

产生静电时即使接地电荷也不会泄放到大地，物体仍处于带电状态。

如：

普通塑料制品、乙烯等

3．4．2导静电体

导体一般表面电阻率≥102Ω和＜105Ω范围，电荷具有良好的流动性，进行接地电荷会大量流向大地，造成大电流而损坏电子元器件或击伤人体。

3．5防静电材料定义

3.5.1根据防静电材料的导电性能，可分为静电绝缘、耗散、导电、屏蔽四种。

静电绝缘材料：

表面电阻率≥1011Ω；

静电耗散材料：

表面电阻率≥105Ω和＜1011Ω；

静电导电材料：

表面电阻率≥102Ω和＜105Ω；

静电屏蔽材料：

表面电阻率＜102Ω；

3.5.2ESD防护项目的表面电阻的要求

工作表面、存放架、电动车、手推车、周转箱、物料盒、周转架、地板、服装、鞋子、椅子等表面电阻为104—1010Ω；

包装材料（如：

胶袋、胶带、胶纸、包装纸、吸塑品等）的表面电阻为：

105≤R＜1011Ω。

3．6静电发生源

3．6．1人：

人是最大的静电发生源。

人在作业过程中的任何操作都可能使人的皮肤、头发、衣服等带上静电。

3．6．2环境：

地板、工作台面、仪器设备等都是静电发生源。

3．6．3材料：

生产中的一些原材料、生产辅助材料、包装材料等也可能是静电发生源。

表1常见物体的静电发生序列

序号

材料

序号

材料

空气

棉布

人手

钢

兔毛

木材

玻璃

琥珀

云母

硬橡胶

头发

镍、铜

尼龙

黄铜、银

羊毛

聚脂人造纤维

丝绸

聚乙烯

铝

聚丙烯

纸

聚氯乙烯

＋

3．7漏电

测试工具如电批、电视机、功放、示波器；由于使用220V电进行供电，会产生对地的漏电；漏电电压较低，不会超出供电电压；不会像静电那样具有几千伏的电压；但漏电电流较强，进行可靠设备接地后要求漏电电压AC小于1V。

3．8电子元器件的静电耐压

表2一些器件类型的静电敏感电压值

器件类型

耐静电放电电压（V）

器件类型

耐静电放电电压（V）

VMOS

30-1800

运算放电器

190-2500

MOSSEFT

100-200

JEFT

140-1000

PROM

100

STTL

300-2500

GaAsFET

100-300

SCL

680-1000

CMOS

250-2000

DTL

380-7000

HMOS

50-500

肖特基二极管

300-3000

E/DMOS

200-1000

双极型晶体管

380-7000

ECL

300-2500

石英压电晶体器件

<10000

4职责

4.1工程部确定静电防护控制点、区域和控制要求；

4.2电子仓负责静电敏感器件出库前的静电防护,IQA部负责静电敏感器件检验时的静电防护,生产车间负责生产过程中的静电防护；非生产物料仓库管理员负责对修理位和烧录IC位等使用工具，如镊子、烧录笔，防静电支架，防静电衣帽，防静电手套，指套等来料进行ESD抽检，静电衣帽每次抽检5%，静电手套/指套每次抽检1%，工具、支架等每次抽检10%，抽检结果记录在《防静电物料验收记录表》中。

4.3工程部动力设备室负责对接地主干线的检测和维护,防静电地板表面电阻，防静电地板接地电阻的检测，每半年一次检测；各部门负责本部门静电地线与设备地线的检验和维护；

4.4工厂各车间日常点检、周点检工作由生产车间指定人员（一般由各生产线多能工或车间ESD专员）进行，生产线月点检由各车间/部门ESD专员在每月中旬进行，记录在《生产线ESD月点检表》中，车间主任/部门长审核确认，工程部、部品部、IQC、PMC仓库ESD专员由各车间主任/部门长指定；

4.5IQA部负责制造中心ESD防护措施的抽检抽查；

4.5.1对于一级EPA区域，需要定期的进行周度稽查、月度稽查、季度稽查、年度稽查；对于二级EPA区域，需要定期的进行月度稽查、季度稽查、年度稽查。

检查与测量采用合适的仪器和方法、同时记录予以保存（记录保存时间：

1年），使之与ISO9000的要求相符合。

4.6静电防护的控制点和区域

电子仓库（包含IC房）、工程部分析室、IQA首件检验房、机芯生产车间、C/SKD车间、IQC机芯检验房、IQC部品检验房、SMT/PCB车间、总装车间与静电敏感器件相关的工位及修理工位；

4.7工程部动力设备室负责对静电手环、电烙铁、电批等工、治具进行发放、管理、维修；

4．8防静电手环、防静电鞋、防静电衣帽、防静电手套；

4．8.1由各生产线指定专人每天进行点检和目视；同时将每个测试结果记录在《静电手环点检表》，《静电鞋点检表》等日常点检相关表格及《目视检查表》中；

4．8.2对点检中发现的不良静电手环要求立即进行更换；同时记录在《ESD测试NG处理记录表》中；

4．8.3对点检中个别员工皮肤干臊引起接触电阻高使测试不通过的，可在作业员与静电手环金属片接触的皮肤处涂抹润肤保湿霜，2小时涂一次；

4．9电批、螺丝机、电烙铁

由各生产线指定专人每天进行点检；同时将每个测试结果记录在《工具、仪器设备点检表》中；

4．10防静电衣帽、手套、鞋，防静电胶皮，防静电周转箱

由各生产线指定专人每周进行点检；其中防静电衣帽、手套要求在不穿着时测试表面电阻，穿着时测试表面电压，同时将每个测试结果记录在相应周点检表中；

4．11仪器、设备、机架、治具、工具、周转车，包装袋

由各生产线指定专人每月进行点检；同时将每个测试结果记录在《生产线ESD月点检表》中；

4．12相对湿度

由各车间或部门指定专门的人员点检，同时将每个测试结果记录在《温度及湿度点检记录表》中；

4.13SMT/PCB车间ESD地板

由工程部设备室进行点检，并同时将点检的结果记录在《ESD地板点检表》里。

4．14《目视检查表》由生产线指定专员每班完成并做好相应记录；

4．15以上测试过程中，如发现不良，需要更换或修理的静电损耗品，如静电手环、防静电衣帽，周转车/箱，输送板/带，各类仪器等，需要记录在《ESD测试NG处理记录》中，ESD月度审查作为其中一项进行监控。

4.16ESD培训

所有操作或有可能接触ESD敏感器件、组件或产品的人员ESD敏感器件都必须进行ESD培训。

同时为确认防静电培训的效果，参加ESD培训的员工需要通过防静电知识的考核,为了促进员工防静电知识的不断提升，需要对参加培训的员工进行培训、考核过程。

由于产品静电防护涉及的部门很多，人员的级别也相差很大，培训的对象有管理层、操作层，因此，为了保证培训效果应分层次确定培训目标并制定相应培训教材。

培训计划应确定静电防护培训类型和频率、方法和具体技巧，培训计划还应包括用于检查学员理解及培训是否合适的检查方法。

员工培训记录要求保留至少一年，并规定这些记录存放何处。

为了保证培训效果，培训与认证应分为：

初级培训和考核、周期性培训和考核、提高培训和考核、特殊培训和考核。

✧操作层培训和考核：

由车间静电管理员每半年对所有在线作业进行一次静电培训和考核。

✧管理层培训和考核：

由公司静电管理人员每半年对所有在线作业进行一次静电培训和考核。

✧提高培训和认证：

由于工种变化或者转到新的部门，如从非EPA转移到EPA，从低等级EPA转移到高等级EPA（如从二级EPA转移到一级EPA）等，需要适应新环境ESD控制要求进行提高培训与认证。

✧特殊培训和认证：

由于企业要对静电防护体系进行日常维护，需要每一个部门（或EPA区域）确定一名ESD负责人（或由接口人执行），各个部门需要对ESD责任人或稽查人员提供特殊培训与认证，或由公司ESD主管部门对所有ESD责任人员、稽查人员提供特殊培训与认证。

5工作流程

（静电防护流程目录）

5.1人员防静电标准?

5.2修理台、组件加工台、生产作业台面防静电标准?

5.3周转箱、物料盒防静电标准?

5.4周转车防静电标准?

5.5防静电袋、防静电胶纸防静电标准?

5.6工具、治具、机架防静电标准?

5.7温湿度标准?

5.8防尘膜作业标准?

5.9静电地接地规则?

5.10设备地接地规则?

5.11防静电材料编码规则?

5.12工厂防静电措施检测方法?

5.13静电检测主要仪器使用说明?

5.14防静电管理?

5.1人员防静电标准

5．1．1对于可接触到静电敏感元器件或有机会接触到静电敏感元器件的作业员需配戴防静电手环、坐式作业须坐防静电椅；

5．1．2SMT、PCB车间员工需配戴防静电手环、穿防静电衣、戴防静电帽、穿防静电鞋；

5．1．3机芯装配、总装盖上盖前所有岗位（包含盖上盖工序）、机芯加工投入位、总装修理位员工需配戴防静电手环、穿防静电衣、戴防静电帽。

总装从机芯投入到打上盖前的所有作业员必须戴防静电袖套（穿短袖工衣时可以不用戴，长袖工衣必须戴）；

5．1．4C/SKD、仓库、IQC、工程分析人员接触静电敏感元器件时（如：

直接接触IC、MOS元件、加工好的PCBA、机芯等）需配戴防静电手环，当没有静电地线时应戴防静电手套进行作业，但是不能长时间接触静电敏感器件；

5．1．5带静电手环注意事项

5．1．5．1员工在作业前必须先测试所佩带的防静电腕带是合格的,方可开始作业；

5．1．5．2作业时,防静电腕带戴在不影响作业的一只手上；

5．1．5．3一定要使防静电腕带紧贴到手腕皮肤；不能戴在手套、衣袖上

5．1．5．4不能使防静电腕带拉长超过弹性限度,防止将内部导线拉断；

5．1．5．5当防静电腕带因汗、灰等变脏时会影响接触效果,要清洁金属接触部位；

5．2修理台、组件加工台、生产作业台面（如面壳组件加工台、SMT炉后检查台、PCB测试台、炉后分板台、皮带线拉体加工台）防静电标准

5.2.1根据/设备接地标准

设备/工具名称

接地要求

接地电阻

对地漏电电压

接地作用

电批

外壳直接接设备地

＜4Ω

Vac＜1V

防止漏电损伤电子元器件

电烙铁

外壳直接接设备地或设备地之间接150KΩ±10%的电阻进行限流

＜4Ω

Vac＜1V特殊岗位要求：

开机芯保护点的漏点电压需控制在Vac＜0.3V

电源插座

电源插座接地孔应接设备地

＜4Ω

功放、电视、示波器、信号发生器、带灯放大镜

外壳直接接设备地

＜4Ω

Vac＜1V

CRT显示器、示波器

屏要用防静电屏保覆盖,且接设备地，接设备地的位置选在电视的右下角

＜4Ω

Vac＜1V

电视机接地图：

5．2．2台面要求铺设静电胶皮

台面材质

静电要求

接地标准

作业台面金属材料

需在台面上铺设绝缘胶皮或其它绝缘层

1.防静电胶皮铺在绝缘胶皮或其它绝缘层上，每2米需接接地线扣（内含1MΩ电阻）1个，与防静电地线连接，或可通过接地铜片直接接防静电地线

2.金属台面需注意防静电胶皮接地扣不能与台面短路。

（即造成设备地与静电地短路）；

作业作业木质材料

防静电胶皮直接铺在台面上

每2米需接接地线扣（内含1MΩ电阻）1个，与防静电地线连接，或可通过接地铜片直接接防静电地线；

修理台金属架

接设备地

接地电阻＜4Ω。

需注意防静电胶皮接地扣不能与台面短路。

（即造成设备地与静电地短路）

5．3周转箱、物料盒防静电标准

静电耗材

表面电阻

表面电压

作用

备注

防静电周转箱

104~1010Ω

＜150V

用于PCBA、半导体电子元器件、机芯周转的周转箱要求使用防静电周转箱或使用中性的纸箱进行周转，检测到不良马上进行更换并记录到《ESD测试NG处理记录》中；

防静电物料盒、金属物料盒不能用锡箔纸包，一般的不防静电的物料盒且离静电敏感器件距离较近（如机芯固定位装螺丝的物料盒；修理位的不防静电的物料盒）的应用锡箔纸包，用锡箔纸包了的物料盒不能用来装静电敏感器件（如IC等）。

防静电物料盒

104~1010Ω

＜150V

5．4周转车防静电标准

静电耗材

表面电阻

表面电压

作用

备注

防静电周转车

104~1010Ω

＜150V

用于PCBA、机芯周转的周转车要求使用防静电材料制作的周围车进行周转，；接地铁链的按《目视检查表》要求进行确认

防静电周转车点检统一由SMT车间完成，车子必须有铁链接地，铁链不能生锈、或者悬空

5．5防静电袋、防静电胶纸防静电标准

半导体元器件供应商供货要求使用防静电材料（一般使用防静电的聚乙烯）包装；防静电袋的使用寿命和防静电效果会随时间而消失,原则上为一次性使用。

对重复使用的防静电袋要求在使用前进行防静电测试，合格后才能投入使用。

测试标准表面电阻要求在105≤R＜1011Ω；

5．6工具、治具、机架防静电标准

5．6．1通常情况要求测试机架使用防静电材料进行制作，表面电阻要求在104~1010Ω，镊子、烧录笔等工具必须使用木质材料或防静电材料，不能使用金属材料；

5．6．2如果使用一般不防静电材料（如有机玻璃）制作，必须采取防静电措施，如需在测试机架上加防静电胶皮或包锡箔纸并实施接地；或者喷防静电液使其表面电阻达到104~1010Ω。

5.6.3要求静电敏感器工装和夹具等要求加强接地，接地电阻应小于4欧姆。

5．7相对湿度，温度标准：

1级标准20-28℃相对湿度（RH）：

45%~75%，适用于PCB/SMT/机芯车间，2级标准10-28℃相对湿度（RH）：

30%~75%，适用于各总装装配车间，每工作日采集2次数据，具体时间为上、下班次各一次。

控制方法参见5.14.6

5．8防尘膜作业标准：

各个电子仓库、车间在对静电敏感器件做防尘处理时，要确保防尘膜不能直接和静电敏感器件接触，需先在静电敏感器件上盖上防静电材料，然后再围防尘膜。

5．9静电地线接地规则：

用于静电手环、静电席等接地

5．9．1对于台面防静电胶皮无静接地扣的，静电地线串接有150kΩ+10%电阻（规格2W以上）；对于台面防静电胶皮有静接地扣的，静电地线可以串接150kΩ+10%电阻（规格2W以上），也可以不用；

5．9．2三相插座接地：

内置接地，用于三相电源插头的接地；

5．10设备接地规则：

用于生产线上的仪器设备接地。

5．10．1接地位置：

优先顺序由高到低依次为：

设备仪器的后面、左侧、前面（设备仪器后面可以接地的都必须接在后面，后面不能接地的则可以选择左侧或者前面）

5．10．2接地线规格要求:

总干线使用1.5mm2的黄绿线;连接仪器设备支线使用0.5mm2的黑线或AV线；

所有连接电源主线的设备、仪器、工具等，都必须可靠地和电源系统安全地线相连接。

5.10.4静电敏感器件及其组件的加工设备、测试仪器、工具、装备（如测试设备仪器、SMT系列设备、波峰焊机、烘烤箱、成型系列设备、电批、电烙铁等）有可靠接地；电批、电烙铁要求加强接地，所有与静电敏感物品接触的用电设备没有出现漏电的情况。

5.10.5EPA区的防静电接地只允许使用并联接地，而串联接地是一种不可接受的接地方式。

5．10．3接地方法：

5.10.3.1接地线在设备地线上绕接约2cm（紧密缠绕）如图所示，再采取焊接方式，直接将连接点用锡焊接起来，接点更加牢靠。

5.10.3.2接地线可以直接使用鳄鱼夹夹在设备地线上;

5.10.3.3鳄鱼夹的连接线必须使用焊接或工具压接方式，不可以直接缠绕在上面；

5.10.3.4接地线连接仪器、工具的一端，须使用线耳焊接或工具压接或绑定的方式，将其固定在仪器、工具的螺丝下面；

5.10.3.5接地线连接电视的一端，使用AV线插在电视的端子上，另一端接设备地上使用鳄鱼夹或直接焊接方式，不可以缠绕；

5.11防静电材料编码规则

5.11．1所有的防静电胶皮、防静电胶箱、接地扣、防静电椅子、防静电周转车，防静电周转架等需要进行编码管理，以便于检验记录使用；

5.11．2编码规则

5.11．2．1编码共9-10位数代表，123-4567890如：

AVA-JDK001为一车间001号接地扣1、2位为AV厂，固定不变；3位为车间（如：

一车间为A；二车间为B；三车间为C；四车间为D；五车间E；CKD车间为F；试产为G;PDVD车间为H；仓库为K；OQA检查房为O;IQC为I；六车间为J等）；4、5、6位为部品类型（防静电胶皮为JDP，防静电胶箱为JDX，防静电椅子为JDY，接地扣为JDK，拉板为JDB等）；7、8、9、10位为部品的编号数量，从001开始累垒加。

5.11．2．2标签使用料号为:

71-AV0000-T02尺寸为40MM*15MM的贴纸,可以打印和手写,字体要工整,清晰,不易擦除/掉色.

如图：

5.12工厂防静电措施检测方法

5．12.1防静电腕带的检测

5．12．1．1将防静电腕带的地线夹夹住静电测试仪的鳄鱼夹上,同时将另一只不佩带防静电腕带的手按在“PRESSHERE”上（静电TESTER上的白色按键）；戴防静电手环的手进行左右摇动2-3秒

5．12．1．2若绿色“PASS”指示灯一直亮,则表明佩带防静电腕带良好；红色“LOW”或“HIGH”指示灯亮,则表明所佩带防静电腕带未戴好或有故障；如红色与绿色灯交替闪烁表面防静电腕带未戴好或接触不良。

5．12．1．3测量必须保证在上班的前半个小时完成即可（上午8：

30前、下午14：

00前、晚上19：

00前）

5．12．1．4在测试中发现有故障的防静电腕带由作业员交给线长处理,并要求立即更换，并登记在《ESD测试NG处理记录》中

5．12．2电烙铁漏电测试

在热工作状态下用万用表测量烙铁头与电源地的漏电电压和接地电阻,测量值记录在相对应的点检表里；（万用表一支表笔接设备地线，一支表笔接烙铁上锡面）

5．12．3电批漏电测试

在工作转动状态下用万用表测量电批头或调整环金属壳与电源地的漏电电压和接地电阻；（万用表一支表笔接设备地线，一支表笔接电批头上或调整环金属壳）

5．12．4测试仪器、机架漏电测试

在工作状态下用万用表测量测试机架、测试仪器与电源地的阻抗＜4Ω,AC电压1V以下；（万用表一支表笔接设备地线，一支表笔接测试仪器外壳、测试机架输出端口地）

5．12．5防静电胶皮、胶箱、胶袋、防静电车的检测（静电耗材）

5．12．5．1使用表面电阻测试仪测试表面电阻在104~1010Ω。

表面电阻测试仪底部与被测试物体平行接触，按住红色PUSHSTART键进行测试。

测试时人体不许接触被测物体，测试环境选择在被测物体所处的作业现场，指示灯直接显示阻值，当指示灯不再跳动时方可读取数据。

按照此方法测试被测物体表面至少2个不同位置。

对于局部表面电阻不合格的视为不合格。

（测试平台要选择静电耗散表面）

5．12．5．2使用表面电压测试仪表测试表面电压

直接用表面电压测试仪

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