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半导体物理学第七版完整答案

第一章习题

Ec(k)和价带极大值附近

1•设晶格常数为a的一维晶格,导带极小值附近能量

能量Ev(k)分别为:

 

Ec(K)

=h2k2

3mo

h2(kkJ2

mb

E/(k)

h2k2i

6mo

3h2k2

mb

 

 

(1)禁带宽度;

(2)导带底电子有效质量;

(3)价带顶电子有效质量;

(4)价带顶电子跃迁到导带底时准动量的变化

解:

(1)

2.晶格常数为的一维晶格,当外加102V/m,107V/m的电场时,试分别计算电子自能带底运动到能带顶所需的时间。

kk

解:

根据:

fqEh—得t-

tqE

补充题1

分别计算Si(100),(110),(111)面每平方厘米内的原子个数,即原子面密度

(提示:

先画出各晶面内原子的位置和分布图)

Si在(100),(110)和(111)面上的原子分布如图1所示:

补充题2

式中a为晶格常数,试求

(1)布里渊区边界;

(2)能带宽度;

(3)电子在波矢k状态时的速度;

(4)能带底部电子的有效质量m;;

(5)能带顶部空穴的有效质量m;

k2n—时,E(k)有极小值

a

所以布里渊区边界为k(2n1)—

a

⑵能带宽度为E("“Ax丘你仏

2ma

(4)电子的有效质量

2n*

能带底部k所以mn2m

a

 

所以能带顶部空穴的有效质量

mp

且mpmn,

2m

 

半导体物理第2章习题

1.实际半导体与理想半导体间的主要区别是什么?

答:

(1)理想半导体:

假设晶格原子严格按周期性排列并静止在格点位置上,实际半导体中原子不是静止的,而是在其平衡位置附近振动。

(2)理想半导体是纯净不含杂质的,实际半导体含有若干杂质

(3)理想半导体的晶格结构是完整的,实际半导体中存在点缺陷,线缺陷和面缺陷等。

2.以As掺入Ge中为例,说明什么是施主杂质、施主杂质电离过程和n型半导体。

As有5个价电子,其中的四个价电子与周围的四个Ge原子形成共价键,还剩余一个电子,同时As原子所在处也多余一个正电荷,称为正离子中心,所以,一个As原子取代一个Ge原子,其效果是形成一个正电中心和一个多余的电子.多余的电子束缚在正电中心,但这种束缚很弱,很小的能量就可使电子摆脱束缚,成为在晶格中导电的自由电子,而As原子形成一个不能移动的正电中心。

这个过程叫做施主杂质的电离过程。

能够施放电子而在导带中产生电子并形成正电中心,称为施主杂质或N型杂质,掺有施主杂质的半导体叫N型半导体。

3.以Ga掺入Ge中为例,说明什么是受主杂质、受主杂质电离过程和p型半导体。

Ga有3个价电子,它与周围的四个Ge原子形成共价键,还缺少一个电子,于是在Ge晶体的共价键中产生了一个空穴,而Ga原子接受一个电子后所在处形成一个负离子中心,所以,一个Ga原子取代一个Ge原子,其效果是形成一个负电中心和一个空穴,空穴束缚在Ga原子附近,但这种束缚很弱,很小的能量就可使空穴摆脱束缚,成为在晶格中自由运动的导电空穴,而Ga原子形成一个不能移

动的负电中心。

这个过程叫做受主杂质的电离过程,能够接受电子而在价带中产生空穴,并形成负电中心的杂质,称为受主杂质,掺有受主型杂质的半导体叫P型半导体。

4.以Si在GaAs中的行为为例,说明IV族杂质在III-V族化合物中可能出现的

双性行为

Si取代GaAs中的Ga原子则起施主作用;Si取代GaAs中的As原子则起受主作用。

导带中电子浓度随硅杂质浓度的增加而增加,当硅杂质浓度增加到一定程度时趋于饱和。

硅先取代Ga原子起施主作用,随着硅浓度的增加,硅取代As原子起受主作用。

5.举例说明杂质补偿作用。

当半导体中同时存在施主和受主杂质时,

(1)ND>>NA

因为受主能级低于施主能级,所以施主杂质的电子首先跃迁到NA个受主能级

上,还有ND-Na个电子在施主能级上,杂质全部电离时,跃迁到导带中的导电电子的浓度为n=Nd-Nao即则有效受主浓度为NAeff〜Nd-Na

(2)NA>>ND

施主能级上的全部电子跃迁到受主能级上,受主能级上还有N-Nd个空穴,它们可接受价带上的NN-Nd个电子,在价带中形成的空穴浓度p=Na-Nd.即有效受王浓度为NAeff〜NA-Nd

(3)NANd时,

不能向导带和价带提供电子和空穴,称为杂质的高度补偿

6.说明类氢模型的优点和不足。

优点:

基本上能够解释浅能级杂质电离能的小的差异,计算简单

缺点:

只有电子轨道半径较大时,该模型才较适用,如Ge•相反,对电子轨道半

径较小的,如Si,简单的库仑势场不能计入引入杂质中心带来的全部影响。

7.锑化铟的禁带宽度Eg=,相对介电常数r=17,电子的有效质量

m;=,m为电子的惯性质量,求①施主杂质的电离能,②施主的弱束缚电子基态轨道半径。

8.磷化傢的禁带宽度Eg=,相对介电常数r=,空穴的有效质量n*p=,mo为电子的惯性质量,求①受主杂质电离能;②受主束缚的空穴的基态轨道半径。

1.计算能量在E=E到EEC

100

2m丄2

之间单位体积中的量子态数

第三章习题和答案

2•试证明实际硅、锗中导带底附近状态密度公式为式(3-6)

3.当E-Ef为,4koT,1OkoT时,分别用费米分布函数和玻耳兹曼分布函数计算电

子占据各该能级的概率

费米能级

费米函数

玻尔兹曼分布函数

4k°T

10k°T

4.画出-78°C、室温(27°C)、500°C三个温度下的费米分布函数曲线,并进行比

较。

5.禾U用表3-2中的m*n,m*p数值,计算硅、锗、砷化傢在室温下的2,N以及本

征载流子的浓度。

6.计算硅在-78°C,27°C,300°C时的本征费米能级,假定它在禁带中间合理吗?

Si的本征费米能级,Si:

mn1.08m0,mp0.59m0

EcEv3kTmp

所以假设本征费米能级在禁带怖合理,,特别是温度不太高的情况下。

0.0072eV

当「195K时,kT!

0.016eV,3kTIn0.59m0

41.08m0

7.①在室温下,锗的有效态密度Nk1019C3mkTN^=01(519cm3,试求锗的载流子有

17.

级,并假定杂质是全部电离,再用算出的的费米能级核对一下,上述假定

是否在每一种情况下都成立。

计算时,取施主能级在导带底下的面的。

10.以施主杂质电离90%乍为强电离的标准,求掺砷的n型锗在300K时,以杂质电离为主的饱和区掺杂质的浓度范围。

11.若锗中施主杂质电离能E=,施主杂质浓度分别为N=1014cm3j及

10cm3。

计算①99%fe离;②90%t离;③50%t离时温度各为多少?

12.若硅中施主杂质电离能E=,施主杂质浓度分别为1015cm-3,10cm-3。

计算

①99%fe离;②90%t离;③50%t离时温度各为多少?

13.有一块掺磷的n型硅,N=1015cm3,分别计算温度为①77K;②300K③500K;

④800K时导带中电子浓度(本征载流子浓度数值查图3-7)

14.计算含有施主杂质浓度为ND=91015cm-3,及受主杂质浓度为1016cmi,的硅在

33K时的电子和空穴浓度以及费米能级的位置。

15.掺有浓度为每立方米为1022硼原子的硅材料,分别计算①300K;②600K时

费米能级的位置及多子和少子浓度(本征载流子浓度数值查图3-7))

16.掺有浓度为每立方米为1023砷原子和立方米51022铟的锗材料,分别计算①300K;②600K时费米能级的位置及多子和少子浓度(本征载流子浓度数值查图3-7)。

1.621013

18.掺磷的n型硅,已知磷的电离能为0.044eV,求室温下杂质一半电离时

费米能级的位置和浓度。

19.求室温下掺锑的n型硅,使EF=(EC+ED)/2时锑的浓度。

已知锑的电离能为。

20.制造晶体管一般是在高杂质浓度的n型衬底上外延一层n型外延层,再在外延层中扩散硼、磷而成的。

(1)设n型硅单晶衬底是掺锑的,锑的电离能为,300K时的Ef位于导带下面处,计算锑的浓度和导带中电子浓度。

(2)设n型外延层杂质均匀分布,杂质浓度为1015cm3,计算300K时Ef的位置及电子和空穴浓度。

(3)在外延层中扩散硼后,硼的浓度分布随样品深度变化。

设扩散层某一深度处硼浓度为1015cm3,计算300K时Ef的位置及电子和空穴浓度。

(4)如温度升到500K,计算③中电子和空穴的浓度(本征载流子浓度数值查图3-7)。

21.试计算掺磷的硅、锗在室温下开始发生弱简并时的杂质浓度为多少?

22.利用上题结果,计算掺磷的硅、锗的室温下开始发生弱简并时有多少施主发生电离?

导带中电子浓度为多少?

第四章习题及答案

1.300K时,Ge的本征电阻率为47cm,如电子和空穴迁移率分别为

3900cm2/(和1900cm2/(。

试求Ge的载流子浓度。

解:

在本征情况下,npni,由1/

2.

试计算本征Si在室温时的电导率,设电子和空穴迁移率分别为1350cnT/(和500cnT/(。

当掺入百万分之一的As后,设杂质全部电离,试计算其电导率。

比本征Si的电导率增大了多少倍?

知,室温下Si的本征载流子浓度约为ni1.01010cm

本征情况下,

质全部电离后,Ndni,这种情况下,查图4-14(a)可知其多子的迁移率为

2

800cm/(

 

比本征情况下增大了

3.电阻率为10.m的p型Si样品,试计算室温时多数载流子和少数载流子浓度。

解:

查表4-15(b)可知,室温下,10.m的p型Si样品的掺杂浓度Nk约为

1.51015cm3,查表3-2或图3-7可知,室温下Si的本征载流子浓度约为

ni1.01010cm3,Nani

4.的Ge单晶,掺有10-9kg的Sb,设杂质全部电离,试求该材料的电阻率

n=(,Ge的单晶密度为cmi,Sb原子量为。

解:

该Ge单晶的体积为:

V0.1100018.8cm3;

5.32

Sb掺杂的浓度为:

9

3.2101000cCCL"23一ccc"143

Nd6.02510/18.88.4210cm

121.8

查图3-7可知,室温下Ge的本征载流子浓度ni21013cm3,属于过渡区

5.500g的Si单晶,掺有10-5g的B,设杂质全部电离,试求该材料的电阻率p=500cm/(,硅单晶密度为cm,B原子量为。

解:

该Si单晶的体积为:

V誣214.6cm3;

2.33

B掺杂的浓度为:

5

Na4.5106.0251023/214.61.171016cm3

10.8

查表3-2或图3-7可知,室温下Si的本征载流子浓度约为ni1.01010cm3

因为Nani,属于强电离区,pNa1.121016cm3

6.设电子迁移率(VS),Si的电导有效质量m=,加以强度为104V/m的电场,

试求平均自由时间和平均自由程解:

由nqjL知平均自由时间为

me

由于电子做热运动,则其平均漂移速度为

平均自由程为

7.长为2cm的具有矩形截面的G样品,截面线度分别为1mm和2mm掺有1022m3受主,试求室温时样品的电导率和电阻。

再掺入51022m3施主后,求室温时样品的电导率和电阻。

解:

Na1.01022m31.01016cm3,查图4-14(b)可知,这个掺杂浓度下,

Ge的迁移率Up为1500cm2/(,又查图3-7可知,室温下Ge的本征载流子浓度

山21013cm3,Nani,属强电离区,所以电导率为

电阻为

掺入51022m3施主后

总的杂质总和NiNdNa6.01016cm3,查图4-14(b)可知,这个浓度下,

2

Ge的迁移率Un为3000cm/(,

电阻为

8.截面积为圆柱形纯Si样品,长1mm接于10V的电源上,室温下希望通过的电流,问:

1样品的电阻是多少?

2样品的电阻率应是多少?

3应该掺入浓度为多少的施主?

解:

①样品电阻为R

V10100

I0.1

②样品电阻率为

Rs1000.001d

1cm

l0.1

③查表4-15(b)

知,室温下,电阻率1cm的n型Si掺杂的浓度应该为

51015cm3。

9.试从图4-13求杂质浓度为1016cm3和1018cm3的Si,当温度分别为-50°C和

+150°C时的电子和空穴迁移率。

解:

电子和空穴的迁移率如下表,迁移率单位cm/(

浓度

温度

.卫-3

10cm

1018cm3

-50OC

+150°C

-50OC

+150^

电子

2500

750

400

350

空穴

800

600

200

100

10.试求本征Si在473K时的电阻率。

解:

查看图3-7,可知,在473K时,Si的本征载流子浓度n5.01014cm3,在

这个浓度下,查图4-13可知道un600cm2/(Vs),up400cm2/(Vs)

11.截面积为10-3cm,掺有浓度为1013cm3的p型Si样品,样品内部加有强度为103V/cm的电场,求;

1室温时样品的电导率及流过样品的电流密度和电流强度。

2400K时样品的电导率及流过样品的电流密度和电流强度。

解:

1查表4-15(b)知室温下,浓度为1013cm3的p型Si样品的电阻率为

2000cm,则电导率为1/5104S/cm。

电流密度为JE51041030.5A/cm2

电流强度为IJs0.51035104A

2400K时,查图4-13可知浓度为1013cm3的p型Si的迁移率约为

Up500cm2/(Vs),则电导率为pqup10131.60210195008104S/cm

电流密度为JE81041030.8A/cm2

电流强度为IJs0.81038104A

12.试从图4-14求室温时杂质浓度分别为1015,1016,1017cm3的p型和n型

Si样品的空穴和电子迁移率,并分别计算他们的电阻率。

再从图4-15分别求他们的电阻率。

浓度(cm3)

1015

1016

1017

n型

P型

n型

P型

n型

P型

迁移率(cm2/()(图4-14)

1300

500

1200

420

690

240

电阻率p(Q.cm)

电阻率p(Q.cm)(图4-15)

14

硅的杂质浓度在1015-1017cm3范围内,室温下全部电离,属强电离区,nNd或

pNa

13.掺有1016硼原子cm3和91015磷原子cm3的Si样品,试计算室温时多数载流子和少数载流子浓度及样品的电阻率。

解:

室温下,Si的本征载流子浓度ni1.01010/cm3

有效杂质浓度为:

NaNd1.110169101521015/cm3门匚,属强电离

多数载流子浓度pNaNd21015/cm3

2

少数载流子浓度nni

Po

11020

5104/cm3

21015

总的杂质浓度Ni

NaNd

21016/cm3,查图4-14(a)知,

Up多子400cm2/Vs,un少子1200cm2/Vs

电阻率为

14.截面积为、长为1cm的n型GaAs样品,设Un=8000cm?

/(VS),n=1015cm-3,

试求样品的电阻。

解:

—肿砧0.78.cm

nqun1602101108000

电阻为R-0.781/0.61.3

s

15.施主浓度分别为1014和1017cm3的两个Ge样品,设杂质全部电离:

①分别计算室温时的电导率;

②若于两个GaAs样品,分别计算室温的电导率

解:

查图4-14(b)知迁移率为

施主浓度

样品

—14-3

10cm

—17-3

10cm

Ge

4800

3000

GaAs

8000

5200

Ge材料,

浓度为1014cm3,

nqun

1.602

10-19

11014

4800

0.077S/cm

浓度为1017cm3,

nqun

1.602

10-19

11017

3000

48.1S/cm

GaAs材料,

浓度为1014cm3,

nqun

1.602

10-19

11014

8000

0.128S/cm

浓度为1017cm3,

MUn

1.602

10-19

11017

5200

83.3S/cm

16.分别计算掺有下列杂质的Si,在室温时的载流子浓度、迁移率和电阻率:

1硼原子31015cm3;

2硼原子1016cmf+磷原子1016cm-3

3磷原子1016cm-3+硼原子1016cm

4磷原子31015cm3+傢原子11017cm3+砷原子11017cm3。

解:

室温下,Si的本征载流子浓度①1.01010/cm3,硅的杂质浓度在1015-1017cm-3

范围内,室温下全部电离,属强电离区

①硼原子31015cm3

查图4-14(a)知,

480cm2/Vs

②硼原子

1016cm-3+磷原子

16-3

10cm

PNa

Nd(1.31.0)

16,3

10/cm

153

310/cm

2nin

P

11020

3.31^/cm

NiNa

Nd2.31016/cm3,查图

4-14(a)知,

2

350cm/Vs

③磷原子

1016cm-3+硼原子1016cm

Nd

Na(1.31.0)1016/cm3

153

310/cm

2

ni

n

黑3・3104/cm3

Ni

Na

Nd2.31016/cm3,查图

4-14(a)知,

1000cm2/Vs

④磷原子

31015cm3+傢原子11017cm3+砷原子11017(

'-3cm

nNd1

NaNd231015/cm3,p尤3.3

n310

4,3

10/cm

NiNa

173

Nd1Nd22.0310/cm,查图4-14(a)知,

2

n500cm/Vs

 

 

17.①证明当UnUp且电子浓度n=nJUp,;Un,pup时,材料的电导率最小,

并求min的表达式。

2

nqun

nniUp/Un,pmUu/Up

解:

pqupnqun丄qUp

n

dn.2

令-0(-VUpUn)0

dnn

因此,nUp/Un为最小点的取值

②试求300K时Ge舔口Si样品的最小电导率的数值,并和本征电导率相比较

查表4-1,可知室温下硅和锗较纯样品的迁移率

Si:

min2qnjUUup「21.602101911010.14505002.73107S/cm

Ge:

min2qni,uUuP21.602101911010380018008.38106S/cm

18.1nSB的电子迁移率为(VS),空穴迁移率为(VS),室温时本征载流子浓度为1016cm3,试分别计算本征电导率、电阻率和最小电导率、最大电导率。

什么导电类型的材料电阻率可达最大。

解:

iqndUpUn)1.60210191.61016(75000750)194.2S/cm

借用17题结果

当nn(Up/Un,pn^Uu/Up时,电阻率可达最大,这时n口,750/75000pn「.75000/750,这时为P型半导体。

19.假设S?

i中电子的平均动能为3k°T/2,试求室温时电子热运动的均方根速度。

如将Si置于10V/cm的电场中,证明电子的平均漂移速度小于热运动速度,

设电子迁移率为15000cm/(VS).如仍设迁移率为上述数值,计算电场为104V/cm时的平均漂移速度,并与热运动速度作一比较,。

这时电子的实际平均漂移速度和迁移率应为多少?

20.试证G的电导有效质量也为

第五章习题

1.在一个n型半导体样品中,过剩空穴浓度为1013cm空穴的寿命为100us。

计算空穴的复合率。

6.画出p型半导体在光照(小注入)前后的能带图,标出原来的的费米能级和光照时的准费米能级。

7.

Ec

Ef

界作用,少数载流子全部被清除,那么在这种情况下,电子-空穴对的产生率是

多大?

(e=e)。

13.室温下,p型半导体中的电子寿命为=350us,电子的迁移率

Ec

Un=3600cm2/(Vs)。

试求电子的扩散长度。

14.设空穴浓度是线性分布,在3us内浓度差为1015cm3,up=400cm/(Vs)。

试计算空穴扩散电流密度。

15.在电阻率为1cm的p型硅半导体区域中,掺金浓度N=1015cm3,由边界稳定注入的电子浓度(n)o=101°cm3,试求边界处电子扩散电流。

16.一块电阻率为3cm的n型硅样品,空穴寿命p=5us,在其平面形的表面处有

稳定的空穴注入,过剩浓度(p)=1013cm3。

计算从这个表面扩散进入半导体内部的空穴电流密度,以及在离表面多远处过剩空穴浓度等于1012cm3?

17.光照1cm的n型硅样品,均匀产生非平衡载流子,电子-空穴对产生率为1017cm3s-1。

设样品的寿命为10us,表面符合速度为100cm/s。

试计算:

(1)单位时间单位表面积在表面复合的空穴数。

(2)单位时间单位表面积在离表面三个扩散长度中体积内复合的空穴数。

18.一块掺杂施主浓度为21016cm3的硅片,在920°C下掺金到饱和浓度,然后经

氧化等处理,最后此硅片的表面复合中心1010cm2。

1计算体寿命,扩散长度和表面复合速度。

2如果用光照射硅片并被样品均匀吸收,电子-空穴对的产生率是1017cm3s-1,

试求表面的空穴浓度以及流向表面的空穴流密度是多少?

第六章答案

第七章答案

1、求Al-Cu、Au-Cu、W-AI、Cu-Ag、Al-Au、Mo-W、Au-Pt的接触电势差,并标出电势的正负。

解:

题中相关金属的功函数如下表所示:

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