检查成绩表.docx

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检查成绩表

M/QERCZ8230367-06

A版

FT-CZ2408BZ单晶炉检查成绩表

客户

编号

検　査　者　　　　　　　　　　

审　　　核　　　　　　　　　　

日期　　　　　　　　　　

上海汉虹精密机械有限公司

合格证

FT-CZ2408BZ单晶炉（编号），经上海汉虹精密机械有限公司品质部检验合格，准予出荷。

上海汉虹精密机械有限公司

FT-CZ2408BZ单晶炉检查成绩表

序号

检查

项目

检查方法

示意图

允许值

实测值

1

提

升

机

构

行

程

提升上炉筒至上极限位置,用直尺测量上炉筒与隔离阀距离

290±5mm

提升炉盖至上极限位置测量炉盖与中炉筒法兰面距离。

290±5mm

提升中炉筒至上极限位置,用直尺测量中炉筒下法兰面与炉底盘法兰面距离。

11000-20mm

2

坩

锅

行

程

手动操作面板上C/L的Up/Down方向键,使坩埚上升或下降到极限位置,测量坩埚轴上平面与炉底盘上平面的距离。

4250-5mm

2750-5mm

3

坩锅

回转

精度

在软件界面上设定坩锅轴低速回转

2rpm、5rpm、10rpm

用秒表分别测量其实际转速

±3%

4

坩锅升降精度

在软件界面上设定坩锅轴上升速度0.1mm/min、0.2mm/min、0.3mm/min用秒表分别测量其实际速度

±3%

FT-CZ2408BZ单晶炉检查成绩表

序号

检查项目

检查方法

示意图

允许值

实测值

5

籽晶绳上极限

操作手动操作面板上S/LHI的UP方向键按钮分别以速度300mm/min、400mm/min上升籽晶绳，在籽晶夹头下端面与观察窗口下母线平齐时，记录软件界面上籽晶位置读数，再继续上升籽晶夹头到上极限,记录下读数,计算两次读数的差值。

295±

10mm

6

籽晶绳下极限

操作手动操作面板上的SeedDown按扭，使籽晶绳下降，在下极限位置时，测量籽晶夹头上端面偏离炉盖法兰面的距离,重复操作测量三次取其最大值。

42±

10mm

7

籽晶

回转

精度

在软件界面上设定籽晶轴回转

2rpm、10rpm、15rpm

用秒表分别测量其实际转速

±3%

8

籽晶上升精度

在软件界面上设定籽晶轴上升速度0.5mm/min1.0mm/min、2mm/min用秒表分别测量其实际速度

±3%

FT-CZ2408BZ单晶炉检查成绩表

序号

检查项目

检查方法

示意图

允许值

实测值

9

籽

晶

绳

对

中

在籽晶夹头上装上锥形对中工具，籽晶绳下降接近刻度盘（不能碰到），籽晶绳转速12rpm时，目测锥形工具头部偏离刻度盘中心的刻度

≤φ5mm

10

到

达

真

空

度

打开主泵阀门抽真空，再打开手动阀，抽真空待真空压力传感器读数稳定时，是否小于3Pa（22.5mTorr），再关闭主阀1小时看压力读数上升值。

≤3Pa

（22.5mTorr）

11

保

压

试

验

≤6Pa/Hr

（45mTorr/Hr）

12

上

炉

腔

压

力

打开主泵抽真空，打开炉盖上的Ar阀门控制炉腔内压力在2.67Kpa（20Torr）左右，关闭隔离阀，打开上炉腔Ar阀门，充Ar气到内腔压力为101.3Kpa（760Torr），

关闭上炉腔Ar气，打开辅泵抽真空，确认其内腔最小压力，按上述要求重复测量三次其最大值作为测量值。

≤0.67KPa

（5Torr）

FT-CZ2408BZ单晶炉检查成绩表

序号

检查项目

检查方法

示意图

允许值

实测值

13

空

烧

时

炉

腔

外

侧

温

度

调整阀门的大小保证冷却水总流量小于350L/min，进出水管压差在0.2Mpa以上，进水压力在0.3-0.35Mpa之间，进水温度小于25℃的条件下，按照功率从30KW到135KW逐步加热，按图示测量点，用红外线温度计测量各处的温度。

≤50℃

14

炉

体

表

面

温

升

≤35℃

FT-CZ2408BZ单晶炉检查成绩表

序号

检查项目

检查方法

示意图

允许值

实测值

15

Ar

气

流

量

打开Ar气阀门调节其压力在0.2Mpa左右，点操作界面上PROCESSGASOPERRATAION设定ArFLOW流量分别为40、100、120、150、200SLM计算显示器上Ar流量的读数与其设定流量的最大差值。

±3SLM

16

安

全

阀

动

作

试

验

关闭隔离阀，上炉筒和炉盖分别充Ar直到主真空管道和辅泵真空管道上安全阀打开，分别记录压力计读数的最大值

825±25Torr

（110±3KPa）

FT-CZ2408BZ单晶炉检查成绩表

序号

检查项目

检查方法

示意图

允许值

实测值

1

Ingot外径差

用游标卡尺测量各个截面直径，取最大差值（测量截面距两端20mm）

3

≤±2mm

2

Ingot扭曲

用直尺测量如图所示等晶线扭曲

≤3mm

3

DF率

有效长度部分占实际长度部分的百分比

注:

由于材料或非设备本身原因所造成的不达标，不属于上范围

实际长度

有效长度

≥80%

3