电转夹头真空镀膜PVD过程效果确认报告.docx
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电转夹头真空镀膜PVD过程效果确认报告
电转夹头真空镀膜PVD过程效果确认报告
编制
审核
批准
确效日期
1.概述
本确认报告是根据PVD过程确认方案的要求进行确认和评价所得出的结论。
2.适用范围
本方案适用本公司生产的电转夹头产品（产品编号：
L02M）PVD过程的确认。
3.确认时间周期
a）设备时间周期
确认项目
实际完成时间
安装确认
2020年3月23日
运行确认
2020年3月27日
性能确认
2020年3月16日
b）辅助仪器较准日期
项目
设备、
仪器编号
仪表名称
仪表编号
校验有效期
1
温湿度计
ILGAM003
2019.12.22-2020.12.21
2
X射线荧光光普仪
OQLM006
2019.12.22-2020.12.21
3
盐雾测试机
GYWSY001
2019.12.22-2020.12.21
4
维克氏硬度仪,
GDWYS002
2019.12.22-2020.12.21
4.确认的记录
4.1.安装确认
4.1.1安装确认记录
a）文件资质的检查
安装确认检查表
文件名称
文件编号
保存部门
是否符合
PVD作业指导书
MWI-Y-004
MIM制造部
是
产品合格证
N/A
N/A
N/A
真空镀膜机维护保养
MWI-Y-004
MIM制造部
是
镀膜机使用原厂手册
MWI-Y-027
QS
是
人员培训记录
QP-027
烧结部
是
检查人
覆核人
安装确认评价表
项目
描述
检查结果
完成情况
检查结果
1
记录设备供应商信息、设备/配件型号、设备工厂编号
已完成
符合
2
随附的操作手册和程序
已完成
符合
3
确认设备安装处预留有足够的空间用以生产以及设备的维护、调节和清洁等
已完成
符合
4
确认设备正常运行所需的环境温度、湿度及电压、电流公司是否能够满足要求。
已完成
符合
5
检查PVD设备是否符合生产要求。
已完成
符合
6
确认所有的正常生产操作所必须的其它配件都准备妥当并安装准确。
已完成
符合
7
确认主电路开关存在、有标识并运行正常。
已完成
符合
8
确认设备预维修保养方案已准备完毕。
已完成
符合
9
确认设备操作者已接受相关培训并给有相关培训记录
已完成
符合
检查结论及偏差说明：
真空镀膜设备安装是否完整可靠
检查人
覆核人
4.1.2安装确认结论
安装确认结论：
通过对设备相关资料的评审，TS-1600LJM真空镀膜机设备（设备编号：
A002660）符合要求，可进行PVD过程确认。
确认小组：
日期：
4.2.运行确认
4.2.1.运行确认记录
根据产品的外观要求，识别出气体流量/电压为影响产品外观及附着力及耐腐蚀性质量的重要因素。
根据以往工作经验，预估该因素可能的范围值。
根据产品生产要求和经验设定相关参数的范围：
项目
范围
氮气流量
490-500CC
电压
115-120
氩气流量
35-40CC
时间
1200
1）根据已经估计的范围值，按照中间/上/下极限值进行试行和确认。
项目
氮气流量
电压
氩气流量
时间
参数一
495
118
38
1200
参数二
500
120
40
1200
参数三
490
115
35
1200
2）通过变量的方法，按照确定的参数，对每个参数都进行测试，每次填写测试记录，评价其结果。
a）外观检查：
通过目视观察；
合格标准：
产品齿形完整，产品颜色均匀一致符合样品色泽；表面无断裂、变形、毛刺、刮伤、漏镀、发黑、生锈、脏污、缺料等现象，为可接受标准。
试验号
参数
检验结果
1
参数1
外观OK
2
参数1
外观OK
3
参数1
外观OK
4
参数1
外观OK
5
参数1
外观OK
6
参数2
外观OK
7
参数2
外观OK
8
参数2
外观OK
9
参数2
外观OK
10
参数2
外观OK
11
参数3
外观OK
12
参数3
外观OK
13
参数3
外观OK
14
参数3
外观OK
15
参数3
外观OK
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